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特氣控制系統(tǒng)ppt課件-資料下載頁

2025-05-01 12:11本頁面

　　

【正文】 UTO PURGE (PREPURGE) FINISH CHANGE NEW CYLINDER THEN PRESS ACK.. BUTTON NO POST PURGE FINISH PROCESS (INSTALL ESV) YSE YSE CONFIRM LOAD CELL (NEW or OLD OPEN CYLINDER LOW DELIVERY PRESSUREamp。HIGH DELIVERY PRESSURE (DO YOU WANGT TO PROCESS OR STANDBY? SELECT PROCESS or STANDBY PROCESS PROCESS STANDBY STANDBY ● 前吹掃：１）放空（圖一）開ＶＧＳ → ＬＰＶ－ＲＥＧ－ＨＰＩ２）通ＰＮ２關ＬＰＶ－ＨＰＩ → 開ＰＧＩ３）抽真空開ＶＧＳ → ＨＰＶ圖一 ● 后吹掃： 1 )Pigtail Fitting檢漏２）通ＰＮ２吹掃關ＬＰＶ－ＨＰＩ → 開ＰＧＩ３）抽真空開ＶＧＳ → ＨＰＶ４）保壓 ? VMB/VMP Valve Manifold Box Valve Manifold Panel THANK S！

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