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特氣控制系統(tǒng)ppt課件(完整版)

  

【正文】 ox Valve Manifold Panel THANK S! 。 7 關(guān)閉 L盤(pán)面上所有氣動(dòng)閥件,打開(kāi) L鋼瓶手動(dòng)閥,調(diào)節(jié) Regulator的壓力使之滿足工藝設(shè)備的供氣壓力。 二 .半自動(dòng)氣柜和全自動(dòng)氣柜更換鋼瓶操作步驟: 三 .手動(dòng)氣柜更換鋼瓶操作步驟 : 要求 PN2鋼瓶的出口壓力 80+/10PSI。 7 更換鋼瓶,結(jié)束后按 “ 下一步 ” 。 17緩慢調(diào)節(jié) Regulator調(diào)壓閥的二次壓力至供氣壓力。 8 Cylinder change更換鋼瓶,按 “ ACK”確認(rèn)。特氣系統(tǒng)控制 2022年 9月 20日 ■ 特氣系統(tǒng)控制 特氣系統(tǒng)控制 氣柜 VMB/VMP PLC 盤(pán)面 電磁閥 氣動(dòng)閥 GAS CYLINDER SENSORS 易燃易爆: SIH4/H4/B2H6/ ASH3/PH3 無(wú)毒: AR/HE/CF4/N2O/ C2F6/SF6/O2HE 有毒: CL2/HBR/NH3/ NF3/SIH2CL2/BCL3 設(shè)備 LAM 易燃易爆: SIH4/H4/B2H6/ ASH3/PH3 有毒: CL2/HBR/NH3/ NF3/SIH2CL2/BCL3 無(wú)毒: AR/HE/CF4/N2O/ C2F6/SF6/O2HE AMEM TCPM AMS101 MRC CVD
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