特氣控制系統(tǒng)ppt課件(參考版)
2025-05-04 12:11本頁面
【正文】 HIGH DELIVERY PRESSURE (DO YOU WANGT TO PROCESS OR STANDBY? SELECT PROCESS or STANDBY PROCESS PROCESS STANDBY STANDBY ● 前吹掃： １）放空（圖一） 開ＶＧＳ → ＬＰＶ－ＲＥＧ －ＨＰＩ ２）通ＰＮ２ 關(guān)ＬＰＶ－ＨＰＩ → 開ＰＧＩ ３）抽真空 開ＶＧＳ → ＨＰＶ 圖一 ● 后吹掃： 1 )Pigtail Fitting檢漏 ２）通ＰＮ２吹掃 關(guān)ＬＰＶ－ＨＰＩ → 開ＰＧＩ ３）抽真空 開ＶＧＳ → ＨＰＶ ４）保壓 ? VMB/VMP Valve Manifold Box Valve Manifold Panel THANK S！ 。 10 按 “ 供氣開關(guān) ” 或 “ 備用開關(guān) ” 。 8 緩慢完全打開鋼瓶手動閥，回 1/4圈。 7 關(guān)閉 L盤面上所有氣動閥件，打開 L鋼瓶手動閥，調(diào)節(jié) Regulator的壓力使之滿足工藝設(shè)備的供氣壓力。檢漏通過后進(jìn)行 Pigtail后吹掃。 4 執(zhí)行更換鋼瓶的過程。 2 打開低壓放空的左抽空開關(guān)（ V3L、 V4L、 V7L），使之管道內(nèi)氣體完全放空，然后關(guān)閉此閥，同時關(guān)閉 Regulator。 二 .半自動氣柜和全自動氣柜更換鋼瓶操
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1