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特氣控制系統(tǒng)ppt課件-文庫吧資料

2025-05-07 12:11本頁面

　　

【正文】作步驟：三 .手動氣柜更換鋼瓶操作步驟：要求 PN2鋼瓶的出口壓力 80+/10PSI。 13 選擇供氣或備用。 11 如果是液態(tài)類氣體需要輸入皮重和切換壓力 “ 凈重 ” 確認(rèn)。 9 進(jìn)行后吹掃，完成循環(huán)次數(shù)。 7 更換鋼瓶，結(jié)束后按 “ 下一步 ” 。 5 進(jìn)行預(yù)吹掃，完成設(shè)置的循環(huán)次數(shù)。 3 確認(rèn)鋼瓶手動閥已經(jīng)關(guān)閉，按 “ 確認(rèn) ” 。（依照 L鋼瓶為例） 1 選擇需要更換的鋼瓶，按 “ 更換鋼瓶 ” 后按 “ 確認(rèn) ” 。 17緩慢調(diào)節(jié) Regulator調(diào)壓閥的二次壓力至供氣壓力。 15 Regulator調(diào)壓閥 shutoff及測試。 13 Repair Leak test維護(hù)后泄漏測試，按 “ ACK”確認(rèn)。 10 Auto leak test自動檢漏測試 11 Manual leak test手動檢漏測試，按 “ ACK”確認(rèn)。 8 Cylinder change更換鋼瓶，按 “ ACK”確認(rèn)。 6 LCylinder shutoff test，執(zhí)行 process Gas removal置換。 4 選擇 “ terminate purge”按 “ Yes”。 2 輸入 password，按確認(rèn)。特氣系統(tǒng)控制 2022年 9月 20日 ■ 特氣系統(tǒng)控制特氣系統(tǒng)控制氣柜 VMB/VMP PLC 盤面電磁閥氣動閥 GAS CYLINDER SENSOR

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