pecvd操作手冊word版-資料下載頁
2025-03-23 13:25本頁面
【正文】 備中沒有妥善地密封好，就會有微波泄露的危險。這有可能危及你的身體健康。微波泄露極限根據(jù)現(xiàn)代科學(xué)的知識和目前各個國家的調(diào)查研究結(jié)果總結(jié)，在正常的操作條件下，（5Mw/cm178。）的強度。同時在“特殊操作”的標(biāo)志下，（100Mw/m178。）的強度。因此我們推薦定期地使用微波泄露探測器檢查微波發(fā)射的輻射情況。警告！請閱讀以下的安全操作說明，否則有可能導(dǎo)致對設(shè)備的損壞或操作者的人身安全的威脅！該設(shè)備只能由經(jīng)過訓(xùn)練的操作者操作！開始工作之前請檢查所有需要的部件都存在并且都是正確的型號！安裝結(jié)束后和每次設(shè)備維護(hù)后對設(shè)備進(jìn)行微波泄露檢測以防止系統(tǒng)產(chǎn)生危險的微波輻射。（閱讀第一章的安全操作手冊，以及微波發(fā)生器生產(chǎn)商另外提供的操作手冊?。?6 備配件 介紹當(dāng)你從Rothamp。Rau公司訂購備配件時，請注明一下所列出的信息。1） 你的設(shè)備的型號和部件編號2） 序列號（如果有）3） 部件編號和部件的描述（如果可以） 備配件清單以下所列出的備配件清單是整個等離子反應(yīng)生產(chǎn)線所用的備配件。部件數(shù)量部件編號圖解LPS1微波等離子體發(fā)射源模塊143401沉積罩（材料：不銹鋼）143415前罩（等離子體發(fā)射源使用）243420沉積罩固定器443421特殊工具A（更換沉積罩時使用）143422微波發(fā)射頭（MW）電源MX4000D110LL243403快速水管連接頭443417小型微波發(fā)射頭MH2000S215BB包括電子HV連接電纜（前端：長度，18m）（后端：長度，16m）243402連接電纜（微波發(fā)射頭（MW）電源174。小型微波發(fā)射頭）（前端：長度，18m）（后端：長度，16m）243423同軸電纜二極管243418同軸電纜243419微波發(fā)射頭Feed through（真空法蘭 DN100）（包括Viton O型密封圈和微波密封件，長度：375mm）243424聚氯丁橡膠Viton O型密封圈（936mm）243412卡口鎖定機械裝置243414緩沖塞（真空測試）243433聚四氟乙烯PTFE 環(huán)型止推軸Thrust Collar（緩沖塞使用）（直徑：342mm）243434特殊工具B（更換卡口鎖定裝置）143425MW施波器（包括同軸R26波導(dǎo)適配器，同軸連接器，微波密封件長度：155mm，聚四氟乙烯PTFE托盤厚度：3mm）243426聚四氟乙烯（PTFE）方形密封墊243410短切割塊243427MW輻射保護(hù)143428冷卻氣體管道適配器143432銅質(zhì)天線243416玻璃石英管（長度：1130mm）143406銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)軸143429鋁杯罩243413聚四氟乙烯PTFE托盤（厚度：2mm, 3mm）24340943408聚氯丁橡膠Viton O型密封圈443411鋁質(zhì)環(huán)型止推軸承（Thrust Collar）243405聚四氟乙烯（PTFE）環(huán)型止推軸承（Thrust Collar）443407表5：備配件清單 7 推薦備配件以下的表格是Rothamp。Rau公司通過生產(chǎn)過程中積累的經(jīng)驗總結(jié)出來的推薦使用的備配件清單。然而，除了積累的經(jīng)驗所總結(jié)的這些清單，其他部件也隨時有可能出現(xiàn)損壞，你可以根據(jù)第6章的編號和描述等信息向Rothamp。Rau公司定購。我們建議生產(chǎn)商常備SINA系列型號的部件和易消耗部件以盡可能地縮短機器停機時間，以下所列出的部件是對備配件清單的補充。描述推薦數(shù)量備注LPS1微波等離子體發(fā)射源1不是絕對需要多備但防止意外情況發(fā)生（氣體管道泄露或其他類似情況）MW施波器（同軸R26波導(dǎo)適配器）2如果銅質(zhì)天線由于維護(hù)不當(dāng)（長時間不清洗或者安裝不正確）而不能拆除時也許需要更換這個備件銅質(zhì)天線6要定期檢查腐蝕情況等離子體發(fā)射源沉積罩3需經(jīng)常清洗等離子體發(fā)射源前罩6需經(jīng)常清洗卡口鎖定機械裝置6每次更換石英管時，維護(hù)之前準(zhǔn)備好該套件鋁制杯罩6每次更換石英管時，維護(hù)之前準(zhǔn)備好該套件銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)軸3每次更換石英管時，維護(hù)之前準(zhǔn)備好該套件聚四氟乙烯PTFE托盤20每次更換石英管時，維護(hù)之前準(zhǔn)備好該套件聚四氟乙烯（PTFE）環(huán)型止推軸承（Thrust Collar）40每次更換石英管時，維護(hù)之前準(zhǔn)備好該套件鋁質(zhì)環(huán)型止推軸承（Thrust Collar）20每次更換石英管時，維護(hù)之前準(zhǔn)備好該套件聚氯丁橡膠Viton O型密封圈200每次更換石英管時，維護(hù)之前準(zhǔn)備好該套件表6：補充的推薦備配件清單28
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