pecvd操作手冊(cè)word版-在線瀏覽
2025-05-10 13:25本頁面
【正文】 …………… 20配表目錄表1：安全符號(hào)的描述 ……………………………………………………………………………………… 3表2：不同等離子體長度（）的Si3N4沉積所用的典型的微波功率（MWPower） …………… 7表3：裝配部件的功能表 ………………………………………………………………………………… 17表4：石英玻璃管的規(guī)格 ………………………………………………………………………………… 19表5：備配件清單 …………………………………………………………………………………………… 22表6：補(bǔ)充的推薦備配件清單 …………………………………………………………………………… 27 1 安全指示 介紹該手冊(cè)包含了LPS1線型微波等離子體發(fā)射源的安裝，操作和維護(hù)的指導(dǎo)。 安全標(biāo)志警告!這個(gè)標(biāo)志表明有對(duì)人的生命和健康有明確的傷害和損傷的危險(xiǎn)。）的強(qiáng)度。警告!這個(gè)標(biāo)志表明有熱的表面警告!這個(gè)標(biāo)志表明有電擊的風(fēng)險(xiǎn)注意安全！佩戴安全護(hù)目鏡！注意安全！穿著安全手套！注意安全！佩戴防護(hù)面具！ 2 描述 概要由于電子空穴對(duì)再次結(jié)合而造成的硅片表面的缺陷被一層薄薄的氮化硅所覆蓋（鈍化）后可以增加太陽能電池的效率。微波等離子體具有一些顯著而突出的等離子體特性，如當(dāng)離子和電子層低于10個(gè)電子伏特（eV）時(shí)的高帶電性水平（high charge carrier concentrations），這種等離子十分適合于需要不能有明顯離子沖擊的薄膜沉積技術(shù)。原理上說，在大規(guī)模等離子生產(chǎn)中有四種方法介入等離子體。同軸系統(tǒng)激活在石英管上的表面波，可以產(chǎn)生高度均勻的微波等離子體。該優(yōu)勢技術(shù)應(yīng)用在Rothamp。圖1：線型微波的圖解和部件圖（英文注釋見第6章中的備配件清單） 線型微波等離子體發(fā)射源類型圖2表現(xiàn)的是一個(gè)典型的線型微波等離子體發(fā)射源，在科技文獻(xiàn)中常被稱為“二極等離子線”（DuoPlasmaline），因?yàn)樵摪l(fā)射源的兩端各有一個(gè)微波發(fā)射器。安置2個(gè)或更多的線型等離子體發(fā)射源平行排列在一起可以還可以獲得更高的沉積率。圖3：配備一個(gè)石英管的LPS1型微波等離子體發(fā)射源的典型斷面圖在科技文獻(xiàn)中所描述的LPS1型等離子體發(fā)射源和“等離子體線”式發(fā)射源之間最大的區(qū)別是前者附加的磁力系統(tǒng)，這為發(fā)射源帶來了兩個(gè)方面的優(yōu)勢。2） 盡管磁場的強(qiáng)度與ECR狀態(tài)（87mT）有很大距離,但它還是大大增強(qiáng)和穩(wěn)定了石英管外部的導(dǎo)體等離子體。圖4：線型微波等離子體產(chǎn)生的原理 圖4表現(xiàn)的是等離子體帶電體密度（Charge Carrier density）n(z)是如何取決于Z方向（等離子體軸）中等離子體發(fā)射源兩端輸入微波功率的量。同樣的，在只有右微波發(fā)射器打開至微波功率P2位置時(shí)也會(huì)有同樣的現(xiàn)象發(fā)生。現(xiàn)在讓我們研究一下圖4所示的情況。如圖4a)所示，P1+P2 Popt 兩端的微波功率必須持續(xù)增加直到達(dá)到圖4b)中所示的情況（P1+P2 Popt），這樣才能達(dá)到總的等離子曲線的均等。 因此，輸入的微波功率是由所選擇的工藝氣體和石英管的長度決定的，表2總結(jié)了所需的微波功率（見峰值功率，Ppeak）I=400600mmI=600800mmI=8001000mm微波峰值功率（kW）平均微波功率（kW）允許最高平均微波功率（kW）表2：不同等離子體長度（）的Si3N4沉積所用的典型的微波功率（MWPower）根據(jù)表2所示，1米長的線型等離子體發(fā)射源兩端各需要最高將近4kW的微波功率，然而這大大超過了一個(gè)石英管所能允許的最大微波功率的值（石英管會(huì)有熱變形的風(fēng)險(xiǎn)）。圖5：以時(shí)間為函數(shù)的典型的脈沖微波等離子體打開的時(shí)間以ton 表示，關(guān)閉的時(shí)間以toff表示，由于這些時(shí)間均可以毫秒計(jì)算，因此可以產(chǎn)生1Hz到1000Hz之間的脈沖頻率。微波峰值功率Ppeak 的計(jì)算值是在產(chǎn)生一個(gè)均等的等離子體的效果下特定的值（見圖4的討論）。此外，通過這個(gè)方法可以保證在相對(duì)較高的峰值功率水平下，微波功率的平均值可以保持在石英管發(fā)熱極限之下。圖6表現(xiàn)了該效果。圖6右邊的圖顯示了在給定的條件下，即50Hz的頻率下，如何通過改變微波脈沖的長度來控制沉積率。1 （進(jìn)水溫度為20186。英寸直徑）氨氣（NH3） 接頭套管式氣體管道連接（188。沉積罩前沉積罩冷卻水供應(yīng)（進(jìn)水口）冷卻水供應(yīng)（出水口）氣體供應(yīng)（氨氣）氣體供應(yīng)（硅烷）氣體供應(yīng)（硅烷）硅烷氣體吹淋頭冷卻水系統(tǒng)磁力系統(tǒng)圖8：SiNA型LPS1線型等離子體發(fā)射源 5 設(shè)備維護(hù)開始設(shè)備維護(hù)之前，停止設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)并關(guān)閉加熱器。在打開反應(yīng)倉，開始設(shè)備維護(hù)之前，讓所有加熱部件冷卻。因此須佩戴安全護(hù)目鏡當(dāng)進(jìn)行設(shè)備維護(hù)時(shí)佩戴適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)手套以防止被熱的部件燙傷或被破碎的石英管割傷。超聲波清洗）。）（5） 之后，使用抹布和異丙醇清除所有的微粒 等離子體發(fā)射源的清洗等離子體發(fā)射源需要定期維護(hù)，特別是出氣口的氣孔會(huì)附著物質(zhì)。（1） 使用真空吸塵器將所有微粒清除干凈（2） 使用金屬線刷或砂紙清洗嚴(yán)重污染的不能拆卸的部件，使用真空吸塵器清除過程中產(chǎn)
高考資料相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1