pvd開發(fā)基礎(chǔ)講義ppt課件-資料下載頁(yè)
2025-02-21 12:30本頁(yè)面
【正文】 降機(jī)將轉(zhuǎn)盤推入鍍膜機(jī)中 PVD工藝流程 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 產(chǎn)品被推入到鍍膜機(jī)后 ﹐ 剩下的主要任務(wù)也是最核心的工作就是調(diào)機(jī) PVD工藝流程 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 PVD鍍膜機(jī) 預(yù)備真空 ﹐ 開分子泵 開空壓機(jī) ﹐ 循環(huán)水系統(tǒng) 充入 Ar氣破真空 加熱烘烤 抽真空 ﹐ 濺射鍍膜 離子轟擊清洗腔體及基材 1 2 3 4 5 6 調(diào)機(jī)流程： PVD工藝流程 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 對(duì)濺射鍍膜一般用氬作入射離子，原因有 : 1)經(jīng)濟(jì) 。 2)可避免與靶材起化學(xué)反應(yīng)。 濺射 清 洗的作用 1）對(duì)靶的預(yù)濺射 。熱壓靶材含有大量的 氣體，濺射沉積中會(huì)對(duì)膜層構(gòu)成污染，埋在沉積膜 中。預(yù)濺射可以使這些氣體得到釋放后被抽走。 b. 對(duì)一個(gè)純金屬靶來說，它的表面會(huì)有一層氧化物，要想獲得純金屬膜，必須將這層氧化物去掉； c. 對(duì)合金或化合物靶，也必須作預(yù)濺射，使靶 面露出新材料。 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 在預(yù)濺射時(shí)，在靶面的正前方應(yīng)有一個(gè)活動(dòng)擋 板擋住基片使其免遭污染。 2）襯底的預(yù)處理 或適當(dāng)?shù)某龎m處理； ，如果將基片接負(fù)電位，利用輝 光放電，氣體離子可對(duì)基片進(jìn)行轟擊實(shí)現(xiàn)濺射清洗： 一可清除表面的吸附氣體、各種污染物和氧化物； 二可 除掉粘附力弱的淀積粒子； 三可使其表面增加活性使沉積膜與基片之間的附著力增加 。 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 鍍膜后通過輸送線 ﹐ 流至下掛區(qū) ﹐由下掛人員拿取到下掛臺(tái)下掛。 PVD工藝流程 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 全檢 PVD工藝流程 S專案前蓋 檢驗(yàn) 拋光面 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 PVD后處理 點(diǎn)膠 抗指紋油 固定產(chǎn)品于治具 PVD工藝流程 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 涂勻抗指紋油 用布 涂勻 用棉棒醮取 丙酮擦去拋 光面溢油 UV處理 PVD工藝流程 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 終檢 PVD工藝流程 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 /白點(diǎn) /臟污 掉膜 /白點(diǎn) /臟污是 PVD最常見的問題 ﹐ 主要原有 ﹕ a. 工件清洗不干淨(jìng) b. 清洗干淨(jìng)工件被二次污染 c. 水質(zhì)太差 ﹐ 臟污均勻復(fù)蓋與工件表面 ﹐ 肉眼看不到 ﹐ PVD后大片掉膜 d. PVD工藝和鍍膜機(jī)故障 PVD產(chǎn)品常見問題 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 要避表面殘留臟污和氧化皮清洗不掉 ﹐ 可采取以下措施 ﹕ /加長(zhǎng)清洗時(shí)間 要避免工件被二次污染 ﹐ 可采取以下措施 ﹕ /口罩 ﹑ 清潔 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 工藝 洗靶功率或時(shí)間不夠 ﹐ 鍍膜時(shí)首先沉積在工件上 的不是靶材金屬 ﹐ 而是靶材的氧化物 /碳化物 /氮化 物 ﹐ 或者是氧化物 /碳化物 /氮化物和靶金屬的混合 物 ﹐ 這些化合物和基材的附著力很差 ﹐ 在其上沉 積膜層 ﹐ 嚴(yán)重時(shí)出爐就大片掉膜。 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 a. 工件局部臟污 ﹐ 離子轟擊時(shí)會(huì)產(chǎn)生電打花 b. 工件在掛具上位置超寬碰到小車擋板 ﹑ 滅弧罩 ﹑擋板等 c. 小車擋板變形碰到工件 d. 掛具變形工件碰到擋板 制工部 PVD社團(tuán)系列教材 咨詢電話： 21236 歡迎咨詢交流
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