ecvd質(zhì)量檢驗員培訓(xùn)-資料下載頁
2025-01-10 11:18本頁面
【正文】 式中， r r2分別是外界介質(zhì) 膜和膜 硅界面上的菲涅爾反射系數(shù)；△為膜層厚度引起的位相角。 ????????c os21c os2212221212221rrrrrrrrR鍍膜 PECVD ?分別表示為 ： nnnnr???001sisinnnnr???002nd04????鍍膜 PECVD ? n0， n和 nsi分別為外界介質(zhì)、膜層和硅的折射率；?0是入射光的波長； d是膜層的實際厚度； nd為膜層的光學(xué)厚度。 ? 當波長為 ?0的光垂直入射時，如果膜層光學(xué)厚度為 ?0的四分之一，即 nd=?0/4,則可得 : 202020 )(sisinnnnnnR????鍍膜 PECVD ? 為了使反射損失減到最小，即希望 R0=0,就應(yīng)有： ? 由上式就可求得給定波長為 ?0所需減反射膜的折射率，而最佳膜層光學(xué)厚度是該波長的四分之一，此時反射率最小，接近于零。 sinnn 0? 鍍膜 PECVD ? 但當波長偏離 ?0時，反射率都將增大。因此，為了使電池輸出盡可能增加，應(yīng)先取一個合理的設(shè)計波長 ?0。這需要考慮兩個方面，即太陽光譜的成分和電池的相對光譜響應(yīng)。 鍍膜 PECVD ? 外層空間太陽光譜能量的峰值在波長 ，地面太陽光譜能量的峰值在波長 ；而硅太陽電池的相對響應(yīng)峰值在波長 ～ 。 ? 取設(shè)計波長為 ，則恰當?shù)臏p反射膜的光學(xué)厚度應(yīng)為 。帶這一厚度減反射膜的硅太陽電池，由肉眼看來應(yīng)呈深藍色。 鍍膜 PECVD ? 對于減反射膜應(yīng)取得折射率，由于取 ?0＝ ，硅的折射率 nsi=,因此如果電池直接暴露在真空或大氣中使用，最匹配的減反射膜折射率為n=≈。 ? 實際應(yīng)用中，電池在做成組件時，大多采用硅橡膠封裝。所以，對于減反射膜來說，外界介質(zhì)將是硅橡膠，其折射率約為 ，在這種情況下，最匹配的減反射膜折射率應(yīng)為 sinnn 0? ???鍍膜 PECVD ? 鍍膜不良造成的影響 色差嚴重，影響外觀，直通合格率低 氮化硅膜厚差異大，造成燒結(jié)過程中銀穿透氮化硅程度不均勻，串聯(lián)電阻增大，填充因子低，效率上不去 謝謝！
高考資料相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1