畢業(yè)論文_薄膜制造技術(shù)與工藝的研究-資料下載頁
2025-06-06 13:58本頁面
【正文】 ｍｅｎｔ ｏｆ ｐｏｒｏｕｓ ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ ｂｙ ｃｏ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ［Ｊ］． Appl． Surface Sci．，2021，２５３：４８５３ ４８５９． ［８］ ＢＡＲＴＨＥＬＥＭＹ Ｅ，ＡＬＢＥＲＴ Ｓ，ＶＩＧＲＥＵＸ Ｃ， et al．．Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ ｏｎ ｔｈｅ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｔｅ Ｇｅ ｔｈｉｃｋ ｆｉｌｍｓ ｄｅｐｏｓｉｔｅｄｂｙ ｃｏ ｔｈｅｒｍａｌ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ［Ｊ］． J． NonCrystalline Solids，2021，３５６：２１７５ ２１８０． ［９］ ＴＳＡＩ Ｒ Ｙ， ＨＵＡ Ｍ Ｙ．Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ， ｏｐｔｉｃａｌ， ａｎｄ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ ｃｏｅ ｖａｐｏｒａｔｅｄ ＴｉＯ２ ＭｇＦ２ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ｆｉｌｍｓ［Ｊ］． Appl． Opt．，１９９６，３５（２５）：５０７３ ５０７ 16 ９． ［１０］ ＮＩＫＬＡＳＳＯＮ Ｇ Ａ，ＣＲＡＩＧＨＥＡＤ Ｈ Ｇ．Ｏｐｔｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｃｏｄｅｐｏｓｉｔｅｄ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｓｉｌｉｃｏｎ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ｆｉｌｍｓ［Ｊ］． Appl． Opt．，１９８３，２２（８）：１２３７ １２４０． ［１１］ 宮大為，付秀華，耿似玉，等．紅外雙波段激光濾光膜的研制［Ｊ ］．中國光學(xué)，2021，４（ ３）：２９３ ２９８．ＧＯＮＧ Ｄ Ｗ，ＦＵ Ｘ Ｈ，ＧＥＮＧ Ｓ Ｙ，et al．．Ｄｅｓｉｇｎ ａｎｄ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ ｏｆ ｉｎｆｒａｒｅｄ ｄｏｕｂｌｅ ｗａｖｅｂａｎｄ ｌａｓｅｒ ｆｉｌｔｅｒ ｆｉｌｍｓ ［Ｊ］． Chi nese Optics，2021，４（３）：２９３ ２９８．（ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ） ［１２］ 賈潔，鄭華，耿濤，等．ＰＨＥＭＴ 歐姆接觸的雙源共蒸技術(shù)［Ｊ］．電子與封裝，2021，７（１１）：３５ ３８．ＪＩＡ Ｊ，ＺＨＥＮＧ Ｈ，ＧＥＮＧ Ｔ， et al．．Ｔｈｅ ｃｏ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｏｆ ｏｈｍｉｃ ｃｏｎｔａｃｔ ｉｎ ＧａＡｓ ＰＨＥＭＴ ［Ｊ］． ElectronicsPackaging，2021，７（１１）：３５ ３８．（ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ） ［１３］ 沈自才，王英劍，范正修，等．線性共蒸法制備漸變折射率薄膜的光學(xué)特性分析［Ｊ］．中國激光，2021，３２（６）：８２９ ８３４．ＳＨＥＮ Ｚ Ｃ，ＷＡＮＧ Ｙ Ｊ，ＦＡＮ ＺＨ Ｘ， et al．．Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｏｐｔｉｃａｌ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ ｇｒ ａｄｉｅｎｔ ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ ｉｎｄｅｘ ｃｏａｔｉｎｇｓ ｐｒｅ ｐａｒｅｄ ｂｙ ｌｉｎｅａｒ ｃｏ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ［Ｊ］． Chinese J． Lasers，2021，３２（６）：８２９ ８３４．（ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ） ［１４］ 張立超，高勁松．長春光機所深紫外光學(xué)薄膜技術(shù)研究進展［Ｊ］．光學(xué) 精密工程，2021，２０（１１）：２３９５ ２４０１．ＺＨＡＮＧ Ｌ ＣＨ，ＧＡＯ Ｊ Ｓ．Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｓ ｏｆ ＤＵＶ ｃｏａｉｎｇ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ｉｎ ＣＩＯＭＰ ［Ｊ］． Opt． Precision Eng．，2021，２０（１１）：２３９５ ２４０１．（ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ） ［１５］ 趙妙，周代兵，譚滿清，等．雙源電子束蒸發(fā)制備 Ｓｉ／ＳｉＯ２光學(xué)薄膜的工藝［Ｊ］．半導(dǎo)體學(xué)報，2021，２７（９）：１５８６ １５８９．ＺＨＡＯ Ｍ，ＺＨＯＵ Ｄ Ｂ，ＴＡＮ Ｍ Ｑ， et al．．Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｓｉ／ＳｉＯ２ ｏｐｔｉｃａｌ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｂｙ ｄｏｕｂｌｅ ｓｏｕｒｃｅ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ ｅｖａｐｏｒａ ｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇ ｙ［Ｊ］． Chinese J． Semiconductors，2021，２７（９）：１５８６ １５８９．（ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ） ［１６］ 寧曉陽，杭凌俠，郭峰，等．ＳｉＯ２／ＴｉＯ２變折射率光學(xué)薄膜制造技術(shù)研究［Ｊ］．表面技術(shù)，2021，４０（６）：５８ ６１．ＮＩＮ Ｘ Ｙ，ＨＡＮＧ Ｌ Ｘ，ＧＵＯ Ｆ， et al．．Ｒｅｓｅａｒｃｈ ｔｈｅ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｏｆ ＳｉＯ２／ＴｉＯ２ ｎｏｎｌｉｎｅａｒ ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ ｉｎｄｅｘ ｏｐｔｉｃａｌ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ［Ｊ］． Surface Technology，2021，４０（６）：５８ ６１．（ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ） ［１７］ 衛(wèi)耀偉，劉志超，陳松林．ＴｉＯ２ ／Ａｌ２Ｏ３薄膜的原子層沉積和光學(xué)性能分析［Ｊ］．中國光學(xué)，2021，４（２）：１８８ １９５．ＷＥＩ Ｙ Ｗ，ＬＩＵ ＺＨ ＣＨ，ＣＨＥＮ Ｓ Ｌ．Ｏｐｔｉｃａｌ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ ＴｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ ａｎｄ ｔｈｅｉｒ ａｔｏｍｉｃ ｌａｙｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｓ［Ｊ］． Chinese Optics，2021，４（２）：１８８ １９ ５．（ｉ 17 ｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ） 致謝 我的畢業(yè)論文是在 陳書劍 老師的精心指導(dǎo)和大力支持下完成的，他淵博的知識開闊的視野給了我深深的啟迪，論文凝聚著他的血汗，他以嚴(yán)謹(jǐn)?shù)闹螌W(xué)態(tài)度和敬業(yè)精神深深的感染了我對我的工作學(xué)習(xí)產(chǎn)生了深淵的影響，在此我向他表示衷心的謝意這三年來感謝 武漢 職業(yè)技術(shù)學(xué)院 電子信息 工程系的老師對我專業(yè)思維及專業(yè)技能的培養(yǎng)，他們在學(xué)業(yè)上的心細(xì)指導(dǎo)為我工作和繼續(xù)學(xué)習(xí)打下了良好的基礎(chǔ)，在這里我要像諸位老師深深的鞠上一躬！特別是我的 畢業(yè)設(shè)計陳 老師，雖然他不是我的 輔導(dǎo)員 ，但是在這三年來，在思想以及 生活上給予我鼓舞與關(guān)懷讓我走出了很多失落的時候，“明師之恩，誠為過于天地，重于父母”，對 陳 老師的感激之情我無法用語言來表達，在此向吳老師致以最崇高的敬意和最真誠的謝意！ 感謝這三年來我的朋友以及 光電 12302 班的四十多位同學(xué)對我的學(xué)習(xí)，生活和工作的支持和關(guān)心。三年來我們真心相待，和睦共處，不是兄弟勝是兄弟！正是一路上有你們我的求學(xué)生涯才不會感到孤獨，馬上就要各奔前程了，希望你們有好的前途，失敗不要灰心，你的背后還有 光電 12302 班這個大家庭！ 最后我要感謝我的父母，你們生我養(yǎng)我，縱有三世也無 法回報你們，要離開你們出去工作了，我在心里默默的祝福你們平安健康，我不會讓你們失望的，會好好工作回報社會的。
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