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年產(chǎn)300萬單晶硅拋光片、60萬硅外延片項目環(huán)評報告-資料下載頁

2025-02-26 21:03本頁面
  

【正文】 15 氟化物 20 ≤ 10 10 廢水處理設(shè)施總排出口設(shè)有 氟化物 、 PH 值的自動監(jiān)控儀表,并設(shè)有常規(guī)化學分析儀器,定時檢測水中有害成分,監(jiān)控生產(chǎn)廢水處理效果。 具體廢水工藝流程見圖 43。 銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 26 污泥處理 回用處理系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)產(chǎn)生的污泥自流到污泥 槽 進行污泥的濃縮脫水,脫 水的對象是污泥中的空隙水,濃縮的目的是為了減少污泥體積 。濃縮后的污泥由泵送入到廂式壓濾機,脫水的泥餅裝袋 后 委托處理。 污泥濃縮池、 貯泥罐、廂式壓濾機產(chǎn)生的濾液經(jīng)過濾液儲池收集后泵入綜合廢水調(diào)節(jié)池。 含氟廢水 廢水調(diào)節(jié)池 沉淀槽 混凝反應槽 HF 調(diào)節(jié)池 出水槽 自動過濾帶 酸性廢水 堿性廢水 一般廢水 混凝反應槽 中間水槽 沉 淀槽 Ca(OH)H2SO4 、PAC、 PAM P1 P2 P3 P4 污泥槽 外運處理 壓濾機 達標排放 研磨廢水 拋光廢水 沉淀池 圖 43 廢水處理工藝流程圖 Na(OH)H2SO4 、PAC、 PAM 銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 27 真州污水處理廠概況 真州污水處理廠一期工程設(shè)計規(guī)模為 萬 t/d,主要接納生活污水和工業(yè)廢水。真州污水處理一期工程已在 2021 年 10 月建成投入試運行。 真州污水處理廠服務范圍主要包括儀征主城區(qū)、汽車工業(yè)園、揚州化學工業(yè)園(管道路以東)、儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)(包括船舶工業(yè)園)等范圍。 真州污水處理廠廢水處理工藝采用改良的 A2/O 工藝,污泥處理采用一體化帶式濃縮脫水機。工藝流程見圖 44。真州污水處理廠 尾水處理達到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》 (GB189182021)中的一級 B 標準后排入長江儀征段。 其工藝主要特點如下 :① 污染物去除效率高 ,運行穩(wěn)定 。② 采用 A2/O 工藝 ,可將經(jīng)過一級物理處理后的污水、通過厭氧、缺氧、好氧的三個生物處理過程,將水中的 BOD、 COD、 SS、氨氮、磷酸鹽同時去除; ③ 污泥沉降性能好; ④ 能較好的耐受沖擊負荷; ⑤ 出水水質(zhì)穩(wěn)定。 建設(shè)項目在污水收集范圍之內(nèi)。建設(shè)項目廢水排 放量為 ,僅為污水處理廠一期規(guī)模的 %,在其處理能力之內(nèi)。本項目廢水經(jīng)廠區(qū)自建廢水處理設(shè)施處理后各項污染物濃度均低于接管標準限值。目前儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的污水管網(wǎng)正在積極建設(shè)中,計劃在建設(shè)項目投產(chǎn)前將全部完工并投入使用,本項目建設(shè)期為一年,與污水處理廠處理廢水及儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水管網(wǎng)建設(shè)能夠銜接。 進 水 圖 44 真州污水處理廠廢水處理工藝流程圖 改良 A2/O 曝氣池 泥餅外運 回 流 鼓風機房 紫外線殺毒 沉渣外運 粗 格 柵 進 水 泵 房 沉 砂 池 細 格 柵 二 沉 池 接 觸 消 毒 池 出水至長江儀征段 排 江 泵 房 污泥泵房 儲泥 濃縮脫水間 剩余 污泥 銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 28 因此從接收水量、接管標準、時間和管網(wǎng)布設(shè)等方面綜合考慮,本項目廢水排入真州污水處理廠是可行的。 噪聲污染防治措施評述 ① 選用低噪聲設(shè)備; ② 設(shè)置減振、隔振基礎(chǔ):對有振動的設(shè)備設(shè)置減振臺、隔振基礎(chǔ)以 減少噪聲產(chǎn)生和傳遞; ③ 隔聲、吸音處理:對空壓機組、冷凍機組產(chǎn)生高噪聲的設(shè)備,設(shè)置隔音門窗,墻面采取吸音板。以減少噪聲的對外傳播。此外,采用封閉式廠房、隔聲墻壁,隔聲墻壁、隔聲窗等措施隔離噪音,利用建筑物隔聲減輕污染;同時在廠區(qū)加強綠化也可降低噪聲對裝置區(qū)外的影響。經(jīng)上述治理后可有效的減少各類噪聲源在廠區(qū)內(nèi)外的擴散,降低噪聲對環(huán)境造成的污染,廠區(qū)附近環(huán)境噪聲基本能達到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標準》中的 Ⅲ 類標準。 固體(廢液)污染防治措施評述 建設(shè)項目產(chǎn)生的固體廢物種類主要包括硅片表面處理產(chǎn)生的廢有機溶劑、廢活性炭、 表面處理廢物(廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿)、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英以及生活垃圾等,固體廢物產(chǎn)生總量為 1961t/a。 本項目根據(jù)各種固體廢物的產(chǎn)生來源、組成及性質(zhì),對照《國家危險廢物名錄》,將固體廢物分為危險廢物和一般固體廢物。再依據(jù)其可利用情況,分別采取與之相應的處理 /處置措施。具體方案如下: ( 1)危險廢物 :對屬于國家規(guī)定危險廢物之列的固體廢物,必須委托有資質(zhì)的處置單位進行妥善處理。其中 廢有機溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混 酸、廢堿、含氟污泥屬于危險廢物 ,應按照危險廢物處置的有關(guān)規(guī)定,委托具有相應資質(zhì)的單位進行無害化處理。 ( 2)一般固體廢物: 廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英 等具有一定再利用價值的廢物,由相應的廢品回收部門進行收購;對員工辦公與生活中產(chǎn)生的生活垃圾,在廠內(nèi)定點收集儲存,按照當?shù)丨h(huán)境保護和衛(wèi)生管理部門的要求統(tǒng)一處置。 通過上述措施,擬建項目產(chǎn)生的各種固體廢物的處置 /處理率達到了100%,沒有直接外排。 銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 29 非正常排放防范措施 ( 1)對廢水處理裝置進水水質(zhì)進行常規(guī)監(jiān)測,及時調(diào)整運行參數(shù),確保穩(wěn)定達標 。 ( 2)加強安全管理,建立崗位責任制,避免因管理不當、操作失誤等,造成不達標排放。 ( 3)對水泵、閥門等定期檢修維護,防止跑、冒、滴、漏。 ( 4)對各種化學藥品的儲存與使用,要嚴守管理制度與操作要求,嚴防泄露、著火等意外事故,消除安全隱患 ( 5)制定定時巡檢制度,對污水、廢氣處理設(shè)施非正常情況及時發(fā)現(xiàn)、及時處理,盡量減少污染物外排。 綠化 綠化在防治污染保護環(huán)境方面起著特殊作用。綠色植物具有吸附塵埃、吸收 CO NO SO凈化空氣、減弱噪聲、調(diào)節(jié)溫度濕度、改善小氣候的功能。因此,在加強 “三廢 ”治理的 同時,搞好綠化環(huán)境,美化廠容,改善勞動條件,增強職工健康,提高工作效率具有積極的作用。 1:綠化原則 在廠區(qū)綠化設(shè)計中,主要以喬、灌木以及草地相結(jié)合的自然式布局為主,其主要優(yōu)點為:利用多種植物在空間上的配合,可以充分吸收塵埃,吸收 CO NO SO2 等氣體,削減污染物的排放量,有效的減弱噪聲:充分發(fā)揮多種植物在形體、姿態(tài)、色彩等多方面美學特征,通過和諧、對比、變化、統(tǒng)一等原則,有機結(jié)合,體現(xiàn)樹木群落的整體美。 喬木、灌木、草地組合遵循以下幾放面的協(xié)調(diào)與統(tǒng)一: ( 1)樹木的大小 喬木與灌木均有大小之分,各種 樹又表現(xiàn)不同的高矮尺度。 喬、灌木的妥善搭配,可使樹叢具有豐富的層次感。在配置中要綜合考慮整體中各樹木的平、立面關(guān)系,不同高度的樹木做到錯落有致。 ( 2)常綠與落葉 常綠樹可以穩(wěn)定地保持廠區(qū)四季綠貌。落葉樹一般季相特色比較明顯,尤其是花木和一些入秋后葉色呈黃、橙、紅、紫等色彩的樹種,在落葉后銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 30 仍具有優(yōu)美姿態(tài)。發(fā)揮常綠與落葉之所長,結(jié)合它們的高矮尺度合理組合。 ( 3)樹木的栽植 樹木栽植有孤植、對植、列植、從植和群植、林植等多種。其中以列植、從植和群植方式為主,在具體應用中根據(jù)具體情況結(jié)合起來應用。 ( 4)草地 的配置 廠區(qū)綠化中鋪植草坪是一項重要的、具有普遍意義的綠化項目。廠區(qū)中裸露的地面(道路除外)應全部用草皮覆蓋。 2.綠化方案 廠區(qū)綠化采用集中與分散相結(jié)合的方式進行。 ( 1)廠區(qū)空地較多,采用集中綠化方式,大片空地以裝飾性草坪為主。該類草種的選擇,應具有低矮、枝密葉細和本身生長整齊的特點,且以常綠草種作為理想。常用種類有天鵝絨芝草、野牛草、羊胡子草等。在草坪中間孤植、對植、列植、從植一些高大的喬木,主要起點綴作用,可以采用開花喬木并具有顯著色彩效果的樹種,如合歡、玉蘭、泡桐、木棉、巨紫荊等都是喬木觀花樹種; 著色率較高的樹種有:紫薇、紅楓、紫葉李、楓香、三角楓、黃櫨、銀杏、柿樹、黃連木、烏桕、池杉、重陽木、石楠、白蠟等。 ( 2)道路兩旁綠化以種植行道樹為主,考慮在道路兩側(cè)種植高大喬木。形成行列式的林蔭道。在廠區(qū)主干道兩側(cè),還種植綠籬、灌木,形成多層次觀賞景觀。主干道可以選用棕櫚、櫸樹、香樟等為骨干,輔之以女貞、廣玉蘭等常綠喬木。中層可選用珊瑚、紫薇、月季等開花灌木,地層草坪綠化。廠外主干道種植鉆天揚、白樺、云杉。車間人行道兩側(cè)采用側(cè)柏、小葉黃楊等綠籬進行綠化,亦可設(shè)置條帶花池,種植季節(jié)性花卉。生活次干道選用香樟 、合歡、梧桐等園林樹種,輔之以夾竹桃、紫薇等灌木及草本花卉等植物。 ( 3)在辦公生活區(qū)周圍種植景觀樹,樹種選用紫穗槐、垂柳或側(cè)柏等。并布置花壇、花架,種植四時花草,沿步行小道兩側(cè)設(shè)植綠籬,花卉在整個廠區(qū)中的應用不如樹木和草坪那樣廣泛,只是做重點裝飾的材料,但在辦公生活區(qū)布置比重應大一些。其布置方式有規(guī)則式和自然式兩種,規(guī)劃銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 31 時又分為花壇、花境、花臺等幾種方式。一般用一、二年生草花和宿根性花卉,不同花卉應彼此參差交錯,疏密相間,并注意景觀的層次要求。 ( 4)廠區(qū)邊界以種植高大喬木為主,上層應以高大楊樹、槐樹、水 杉等為主,中層以女貞、廣玉蘭等常綠喬木為主,輔之以梧桐、紫荊、金絲桃等,低層以結(jié)縷等草皮綠化。 建設(shè)項目綠化面積約占總占地面積的 %。 排污口規(guī)范化設(shè)置 ( 1)廢水排放口規(guī)范化設(shè)置 本新建項目廢水包括生活污水和生產(chǎn)廢水,生活污水排入污水廠,生產(chǎn)廢水經(jīng)自建污水處理站處理達標后排入污水廠。按《江蘇省排污口設(shè)置及規(guī)范化整治管理辦法》 [蘇環(huán)控( 97) 122 號 ],建設(shè)項目廠區(qū)的排水體制必須實施“雨污分流”制,公司設(shè)一個廢水總排放口, 一個 雨水排放口。同時排污口必須進行規(guī)范化建設(shè),便于采樣、監(jiān)測,并設(shè) 置排污口標志。 ( 2)廢氣排氣筒(煙囪)規(guī)范化設(shè)置 建設(shè)項目廢氣排放口必須進行規(guī)范化建設(shè),按要求裝好標志牌,廢氣排氣筒高度應符合國家大氣污染物排放標準的有關(guān)規(guī)定。 ( 3)固定噪聲污染源規(guī)范化標志牌設(shè)置 固定噪聲污染源對邊界影響最大處,應設(shè)置噪聲監(jiān)測點,根據(jù)上述原則并兼顧廠界形狀在邊界上設(shè)置噪聲監(jiān)測點同時設(shè)置標志牌。 ( 4)固體廢物貯存(處置)場所規(guī)范化設(shè)置 露天貯存工業(yè)固體廢物的,應當設(shè)置專用的貯存設(shè)施或堆放場地;并根據(jù)實際情況采取苫布遮蓋或適時灑水等,以防二次揚塵污染。固體廢物貯存(處置)場所應在醒目處設(shè) 置標志牌。 環(huán)保投資及“三同時” 建設(shè)項目環(huán)保投資清單見表 42;污染治理措施“三同時”見表 43。 銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 32 表 42 環(huán)保投資清單 污染源 環(huán)保設(shè)施名稱 環(huán)保投資 (萬元) 效 果 進 度 廢 水 廢水處理系統(tǒng) 100 達到標準要求 主體工程同時建成 廢 氣 有機廢氣吸附系統(tǒng) 200 達標排放 酸堿廢氣洗滌系統(tǒng) 特種廢氣洗滌系統(tǒng) 設(shè)備自帶 噪 聲 隔聲、采用低噪 設(shè)備、防震基礎(chǔ)等 100 廠界達標 固體廢物 外委處理、堆放場地 10 零排放 綠化 樹木、草坪等 150 綠化率為 % 分析監(jiān)測 水質(zhì)檢測儀器、設(shè)備 4 滿足有關(guān)要求 與廢水處理 設(shè)施同步 排污口整治 流量計、 COD 在線監(jiān)測儀、排污口標志 4 與廢水、廢氣等 處理設(shè)施同步 管網(wǎng)建設(shè) 生產(chǎn)廢水管網(wǎng) 8 與廠區(qū)基建同步 合 計 576 表 43 “三同時”驗收表 序號 名 稱 驗收內(nèi)容 處理效果 1 水污染防 治設(shè)施 生產(chǎn)廢水 經(jīng)廠內(nèi) 廢水 處理站 經(jīng)過有效預處理后 與生活污水進入真州污水處理廠統(tǒng)一處理 。 達到污水廠的接管標準 2 大氣污染防治設(shè)施 有機廢氣采用活性炭吸附,去除效率達到80%; 酸 、 堿廢氣采用填充式洗滌塔進行凈化處理,去除率達到 90%、 95%; 特性廢氣采用濕式外延清洗器處理,去除 率達到相應要求, 排氣筒高度滿足要求。 滿足有關(guān)標準要求。 3 噪聲污染防治措施 選用低噪聲設(shè)備,并按照工業(yè)設(shè)備安裝的有關(guān)要求安裝。對振動源采取減震、隔聲措施,通過建筑物阻隔、綠化等減聲降噪。 廠界達標 4 固體廢物治理措施 危險固廢委托有資質(zhì)的單位進行處理,一般工業(yè)固體廢物由相應單位回收利用,生活垃圾按照環(huán)衛(wèi)部門要求處置。 零排放 5 綠化措施 在廠內(nèi)四周、道路兩側(cè)、生產(chǎn)廠房、宿舍等 周圍種植樹 木、鋪設(shè)草坪等。 綠化 面積 51979 6 應急預案 編制環(huán)境風險應急預案文檔,落實應急預案 中的軟、硬件
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