【正文】 ①注意設備選型及安裝。設計中盡量選用加工精度高、運行噪聲低的設備。在安裝時，對風機、水泵、真空泵、空壓機、切片機等高噪聲設備須采取減震、隔震措施；對風機、水泵、真空泵、空壓機等設備安裝時采用消聲措施，并分別設置于專用的輔助用房內(nèi)，對上述輔助用房的四周墻壁采用吸聲材料進行鋪設，同時少設門窗，設備工作時應保持門窗關閉；冷卻水循環(huán)系統(tǒng)安裝時建議在其內(nèi)部設置適量的軟體材料，盡量減少水流落差造成的低頻噪聲。②車間四周墻壁上窗戶均使用雙層隔聲窗，生產(chǎn)時盡量少開啟門窗，采用換氣扇進行通風換氣。③重視整體設計。盡量將高噪聲設備盡量布置在生產(chǎn)車間的中部，而主要生產(chǎn)車間布置在整個廠區(qū)的中部。④根據(jù)高噪聲設備的分布，在設備上方安裝吸聲吊頂。⑤平時生產(chǎn)中加強對各設備的維修保養(yǎng)，對其主要磨損部位及時加添潤滑油，必要時應及時更換。⑥在南北側廠界設置2m高的非鏤空圍墻，廠界內(nèi)側設置寬約5m的綠化隔離帶，種植喬木為主，輔以灌木等。預計采取上述措施后及車間墻壁的阻隔，本項目噪聲不會對周邊聲環(huán)境造成不利影響。(2)廢水本項目廢水包括生產(chǎn)廢水和生活污水。其中生產(chǎn)廢水又分為含氟廢水和不含氟廢水：其中含氟廢水包括單晶硅腐蝕工藝廢水（包括超聲波清洗、清洗、高純水浸泡廢水、甩干廢水），酸霧及堿霧吸收廢水，以廢水形式排放的廢酸及廢堿（主要包括堿腐蝕+酸洗工藝中產(chǎn)生的廢堿及后道浸泡廢水）；不含氟廢水包括單晶硅棒去頭尾、切方設備冷卻水及切片后的清洗廢水，在硅片研磨生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的研磨、清洗廢水，高純水制備過程中產(chǎn)生的RO濃水及反沖洗酸堿廢水，設備間接冷卻水。這部分廢水中設備間接冷卻水為清潔水，可直接排放。根據(jù)本項目廢水產(chǎn)生情況，公司在廠區(qū)內(nèi)設置兩套污水處理設施。其中一套主要用于處理產(chǎn)生的切方、切片設備冷卻水及硅片后道清洗廢水，硅片研磨、清洗廢水，反沖洗酸堿廢水。處理規(guī)模為300m3/d，處理工藝為：另一套主要用于處理含氟廢水，包括腐蝕工藝廢水，酸霧及堿霧吸收廢水，以廢水形式排放的廢堿及廢酸。處理規(guī)模為150m3/d，處理工藝為：根據(jù)當?shù)匚鬯芫W(wǎng)規(guī)劃及環(huán)保部門的要求，本項目廢水經(jīng)廠區(qū)內(nèi)預處理達到GB89781996中的三級排放標準后，匯同周邊的****有限公司的廢水、*****有限公司的廢水以及鎮(zhèn)上的廢水一起鋪設管網(wǎng)，接入到東片污水處理工程鎮(zhèn)1泵站處（距離本項目約7200m），納入東片污水處理廠，經(jīng)處理達標后排入杭州灣。另外，本項目生活污水，經(jīng)廠內(nèi)簡單處理后可與生產(chǎn)廢水一起接入管網(wǎng)中，接入到東片污水處理工程鎮(zhèn)1泵站處，經(jīng)處理達標后排入杭州灣。采取上述措施后，預計對附近水體水質(zhì)影響不大。(3)固體廢棄物 本項目固廢主要包括：生產(chǎn)廢料；硅粉及打磨噴砂粉塵；含氟廢水處理產(chǎn)生的污泥；廢液；生產(chǎn)垃圾；職工生活垃圾。①生產(chǎn)廢料。主要包括生產(chǎn)過程中的廢硅料，噴砂產(chǎn)生的廢粉等。其中廢硅料產(chǎn)生量約為120t/a，經(jīng)廠區(qū)內(nèi)集中收集后部分由腐蝕工藝重新進行加工回用于生產(chǎn)過程中，其余部分由原料供應廠家回收利用；，經(jīng)集中收集后均由原料供應廠家回收利用。②硅粉及打磨噴砂粉塵。硅粉主要包括研磨、切割廢水沉淀過濾得到的硅粉及切片機的冷卻液過濾裝置得到的硅粉，產(chǎn)生量約為24t/a，經(jīng)集中收集后均由原料供應廠家回收利用；打磨噴砂粉塵主要來源于打磨噴砂過程中除塵系統(tǒng)收集的粉塵，產(chǎn)生量為80t/a，主要為一些金屬雜質(zhì)和少量硅粉，可與污泥一并送至當?shù)卮u瓦廠進行綜合利用。③含氟廢水處理產(chǎn)生的污泥。該污泥主要含有氟化鈣、硫酸鈣等無機鹽，產(chǎn)生量約為160t/a。經(jīng)廠區(qū)內(nèi)壓濾處理后送至當?shù)卮u瓦廠進行綜合利用。④廢液。主要來源有二：一是來自腐蝕槽、酸洗槽內(nèi)更換下來的濃度較低的廢酸；二是切片過程中更換的廢冷卻液。(1)廢酸。硅料浸泡、酸洗過程中使用的酸液使用一段時間后由于濃度達不到工藝要求，需定期更換（更換頻率根據(jù)硅料雜質(zhì)多少而定），廢酸產(chǎn)生量約為240t/a，主要含有各類金屬離子、非金屬雜質(zhì)及HF、HNOHAc等物質(zhì)。屬危險廢物，經(jīng)廠區(qū)內(nèi)集中收集后均由原料供應廠家回收利用。(2)廢冷卻液。切片過程中采用由SiC粉末及切割液混合而成的乳化液作為冷卻液，其在使用過程中循環(huán)使用、定期更換，更換量約為1200t/a。屬危險廢物，經(jīng)廠區(qū)內(nèi)集中收集后由切割液供應廠家回收利用。⑤生產(chǎn)垃圾。主要包括盛放各種化學原料的包裝桶、包裝袋及操作工破舊工作服、手套、口罩等。其中廢包裝桶、包裝袋產(chǎn)生量約20t/a，集中收集后均由原料供應商回收利用；操作工破損工作服、手套、集中收集后匯同生活垃圾一道由鎮(zhèn)環(huán)衛(wèi)部門清運并作衛(wèi)生填埋處理。⑥生活垃圾。本項目生活垃圾產(chǎn)生量為40t/a，經(jīng)廠區(qū)內(nèi)加蓋垃圾桶收集后由鎮(zhèn)環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運并作衛(wèi)生填埋處理。綜上，本項目固廢均落實處置途徑，最終排放量均為0。(4)廢氣本項目廢氣主要有六：一是腐蝕過程中會產(chǎn)生酸霧、堿霧；二是硅棒去頭尾、切方及切片過程中產(chǎn)生的粉塵；三是硅料打磨、噴砂過程中產(chǎn)生的粉塵；四是硅料、硅片清洗過程中（主要為清洗劑清洗）產(chǎn)生的少量有機廢氣；五是硅料表面清潔時產(chǎn)生的乙醇廢氣；六是酸洗后少量硅料清洗產(chǎn)生的NH3。①酸霧、堿霧。主要產(chǎn)生于硅料浸泡腐蝕、酸洗及堿腐蝕工藝中的后道浸泡過程中。(1)硅料腐蝕浸泡產(chǎn)生的氫氟酸霧。腐蝕車間和實驗室各配有1套酸霧處理裝置分別對上述兩處產(chǎn)生的酸霧進行分別處理，處理裝置采用二級塔串聯(lián)的還原性堿液進行吸收處理，即用NaOH中和酸性氣體，通過噴淋塔中液體逆相流進行中和并溶解于其中達到凈化的目的。腐蝕槽上方設置的風機風量為4000m3/h，由于進出料時間較短（約20min/d）且腐蝕階段均封閉腐蝕槽，故集氣罩集氣效率可達98%，堿液吸收處理效率以98％計，經(jīng)處理后由15m高的排氣筒排放?？梢赃_到《大氣污染物綜合排放標準》（GB162971996）表2中的二級標準。(2)酸洗過程中產(chǎn)生的氫氟酸霧、硝酸霧及冰醋酸霧。本項目硅料酸洗產(chǎn)生的酸霧源強分別為：氫氟酸霧，硝酸霧，冰醋酸霧。針對酸洗酸霧配有專門的處理裝置（與前述腐蝕車間及實驗室酸霧處理裝置相關處理方法及原理相同），設置的風機風量為3000m3/h，由于酸洗過程均在通風柜內(nèi)進行，且操作時抽風裝置均處于開啟狀態(tài)，集氣效率可達90%，堿液吸收處理效率以98％計，處理后由15m高的排氣筒排放。可以達到《大氣污染物綜合排放標準》（GB162971996）表2中的二級標準。(3)堿腐蝕后道浸泡產(chǎn)生的氫氟酸霧。本項目硅料堿腐蝕后道浸泡產(chǎn)生的氫氟酸霧。在浸泡槽上方設置集氣罩（）對產(chǎn)生的酸霧進行抽風集氣，經(jīng)集氣后納入酸洗車間酸霧處理裝置處理（相關處理方法及原理同上，出口風量為5000m3/h）；集氣效率以70%計，堿液吸收處理效率以98％計；可以達到《大氣污染物綜合排放標準》（GB162971996）表2中的二級標準。(4)硅料腐蝕產(chǎn)生的堿霧。本項目針對堿霧，在腐蝕槽上方設置相應的集氣抽風裝置（集氣罩與腐蝕槽距離約30cm，抽風量為5000m3/h），經(jīng)收集的堿霧采用一級吸收塔對其進行吸收（吸收液為自來水，；吸收液循環(huán)使用、每周排放一次），吸收后的堿液以廢水形式排放。集氣罩集氣效率約80%，堿液吸收處理效率以95％計，之后由15m高的排氣筒排放。②硅粉塵。由于在去頭尾、切方、分段等過程中均使用冷卻水對設備進行冷卻，產(chǎn)生的粉塵均隨冷卻水一起以廢水形式排放；切片過程中產(chǎn)生的硅粉塵由冷卻液一同帶出，經(jīng)過濾裝置過濾后殘留在過濾裝置內(nèi)；故硅粉塵排放量為0。③打磨、噴砂粉塵。產(chǎn)生于硅料前道打磨、噴砂過程中。(1)打磨粉塵。本項目打磨粉塵約有90%左右經(jīng)通風柜抽風裝置收集至布袋除塵裝置（除塵效率可達99%）除塵后排放（排氣筒高度約1m，即除塵后就地排放），由于排氣筒高度較低，為無組織排放。⑵噴砂粉塵。本項目噴砂粉塵約有99%左右經(jīng)噴砂機吸砂裝置回收（4級旋風除塵，除塵效率可達99%以上）后排放（排氣筒高度約4m，位于車間內(nèi)）；由于排氣筒高度較低，本評價視其為在車間內(nèi)無組織排放。④有機廢氣。產(chǎn)生于硅料、硅片清洗過程中，由于該過程中需添加一定濃度的清洗劑，在清洗過程中會有少量的有機廢氣產(chǎn)生，均以無組織形式排放。在超聲波清洗機上方設置集氣抽風裝置，部分有機廢氣經(jīng)抽風集氣后由車間外排氣筒排放，其余均以無組織形式在車間內(nèi)排放。⑤乙醇廢氣。部分硅料需利用無水乙醇進行擦拭，以去除其表面的少量油污，本項目無水乙醇在擦拭過程中均以無組織形式揮發(fā)至車間內(nèi)。⑥NH3。產(chǎn)生的NH3匯同酸洗車間酸霧處理裝置一同進入處理塔處理，風機風量為3000m3/h，由于清洗過程均在通風柜內(nèi)進行，且操作時抽風裝置均處于開啟狀態(tài)，集氣效率可達90%，吸收處理效率以90％計，經(jīng)處理后由15m高的排氣筒排放。另外，根據(jù)《制定地方大氣污染物排放標準的技術方法》（GB/T1320191）中的規(guī)定，對無組織排放的有毒有害氣體可通過設置衛(wèi)生防護距離來解決，故對各車間無組織排放的氫氟酸霧、硝酸霧、冰醋酸霧、堿霧、粉塵、乙醇、NH3及少量有機廢氣，在整個硅料清洗廠房（包括打磨噴砂、浸泡、酸洗、堿洗車間）四周設定衛(wèi)生防護距離加以防護。綠化在美化環(huán)境、凈化空氣及減小污染方面起著重要作用。公司已在廠區(qū)道路兩房及建筑物之間的空地上種植有樹木、花卉、草皮等，本工程設計在原有的基礎上添平補齊，新增綠化面積。本工程對廢水等采取治理措施，可滿足相關污染物排放標準要求，對周圍環(huán)境的影響較小。、消防工程投資概算環(huán)保工程投資概算210萬元見表71表71 環(huán)保工程投資序號項目內(nèi)容單位數(shù)量單價金額(萬元)1廢水處理套235702酸霧處理設施 套320603堿霧處理設施套120204固廢收集處理140405綠化、降噪處理2020合計210 工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生 設計采用的勞動安全標準 (1)《機械防護安全距離》(GB626590 ) 。 (2)《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》(GB680191 ) 。 (3)《用電安全導則》(GB/T1386982 ) 。 (4)《機械工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)范》(JBJIS2000 ) 。 (5)《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設計規(guī)范》(GBJ8785 ) 。 (6)《工業(yè)企業(yè)照明設計標準》( GB5003492 )。(7)《工廠安全衛(wèi)生規(guī)程》及國發(fā)(1983)85號文件的有關規(guī)定。 設計原則 (1)嚴格按照國家有關的工業(yè)衛(wèi)生設計標準、規(guī)范、規(guī)定進行工程設計，以防為主，盡量把不安全因素、事故隱患消滅在設計過程中，從根本上保障工人的安全與健康。 (2)在經(jīng)濟合理的條件下，盡量采用不產(chǎn)生或少產(chǎn)生危害安全與衛(wèi)生的新工藝、新技術、新設備、新材料，減輕工人勞動強度，改善工人勞動條件。(3)遵照《國務院關于加強防塵防毒工作的決定》的規(guī)定，解決塵危害和安全生產(chǎn)問題，堅持塵毒治理和安全設施必須與產(chǎn)體工程實行“三同時”的原則。 建設項目生產(chǎn)過程中職業(yè)危害分析(1)工藝過程有少量有害性氣體：酸、堿性氣體、腐蝕性氣體；有害液體：酸、堿液體等有害液體。(2)各車間樓梯、平臺可能發(fā)生人體跌落；(3)機械傷害；(4)電動設備運行過程中產(chǎn)生噪聲；(5)電動設備引起的不安全因素。 保證勞動安全衛(wèi)生的技術措施(1)對于有危險性因素，如化學品等，設專門的堆放場地，并由專人負責保管；廢水治理后達標排放排放及治理措施。對產(chǎn)生有害氣體、廢熱氣、灰塵的工藝設備設局部排風。同時，加強廠房內(nèi)通風，對有毒有害氣體集中凈化處理。(2)有關工藝設備及管道采用耐腐蝕材料制造，凡有腐蝕性物料存在場地及建、構筑物均需滿足防腐的規(guī)定。(3)在裝置中，根據(jù)各崗位接觸到有毒有害物料的特性，配備必要的安全勞動保護用品，如橡膠手套、膠靴、防護衣、眼鏡、防毒面具、洗眼器等。(4)投資項目采用先進的工藝及設備，提高了機械自動化程序，新增設備均按安全規(guī)范布置和安裝，留有足夠的安全運輸通道，運輸作業(yè)按安全程序進行，確保安全生產(chǎn)，定期對職工進行安全操作知識培訓，使職工養(yǎng)成按安全規(guī)范進行操作的習慣。(5)對生產(chǎn)中可能產(chǎn)生的污染均采取了治理措施，確保生產(chǎn)環(huán)境清潔。 (6)電氣及照明均按照有關規(guī)定設計。車間內(nèi)新增的所有用電設備，均采用安全絕緣接地保護和漏電保護措施，保障安全生產(chǎn)。(7)建筑物均有可靠防雷接地。 (8)車間內(nèi)設有通風設施，以改善工人勞動條件。 (9)新招收的生產(chǎn)工人必須經(jīng)操作技術培訓和安全教育，經(jīng)考核合格后方可上崗獨立操作。 (10)發(fā)放勞動防護用品。(11)企業(yè)己有勞動安全及工業(yè)衛(wèi)生制度及措施，仍可執(zhí)行。 消防 設計依據(jù) (1)《建筑設計防火規(guī)范》(GBJ1687)1997版； (2)《建筑滅火器配置設計規(guī)范》(GBJ1401990)；(3)《建筑物防雷設計規(guī)范》(GB500571994)。(1) 廠區(qū)內(nèi)現(xiàn)有道路為城市型混凝土路面，環(huán)繞主要生產(chǎn)車間布置，廠區(qū)道路寬度及最小轉(zhuǎn)彎半徑按有關規(guī)范設置；新增道路最小寬度為6m，可以滿足廠內(nèi)運輸和消防要求。(2)本工程生產(chǎn)場地防火等級屬丙類，廠區(qū)、生產(chǎn)場地等按照消防規(guī)范設置消火栓。同時，建筑單位內(nèi)按《建筑滅火器配置設計規(guī)范》(GBJ14090)配置MF4型手提式干粉滅火器。并配置一定數(shù)量的移動式滅火器。(3)全廠設置消防組織，配備專職安全員、生產(chǎn)場地內(nèi)配備兼職安全員。加強職工安全防火宣傳教育培訓工作，并實行持證上崗。第八章 節(jié) 能本項目主要消耗能源是電、新水、軟水、壓縮空氣、氬氣等。國務院1986年1月12日發(fā)布的《節(jié)約能源管理暫行條例》中規(guī)定，“新建改擴建工程項目，必須采用合理的使用能源的先進工藝和設備，其能源消耗不應高于國內(nèi)先進指標，工程項目的可行性研究和初步設計必須有合理能源的專題論證”。根據(jù)項目年產(chǎn)200t單晶硅的目標，生產(chǎn)過程各種消耗指標，折算本項目能源消耗見表71。表71 綜合能耗表