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年產(chǎn)300萬單晶硅拋光片、60萬硅外延片項目環(huán)評報告-全文預(yù)覽

2025-03-26 21:03 上一頁面

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【正文】 磨片檢測 腐蝕 A/B 分檔檢測 粗拋光 RCA 清洗 檢測 純水 洗 檢測 包裝 出貨 單晶硅棒 水 S1 W1 S2 W2 S3 純水洗 氮氣氧氣 磨片劑 S4 水 W3 水 純水洗 A:混酸 B:堿液 氮氣 A: G 8 S11 B: S12 水 A: W11 B: W12 純水洗 水 W13 純水洗 精拋光 研磨劑 S13 精磨劑 S14 水 W14 RCA 清洗 W4~10 S6~10 G2~6 圖 31 單晶硅拋光片工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖 溶劑 G1 S5 清洗 W15~21 S15~19 G9~13 水 W22 銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 10 廢水和硅渣 。 切片:將單晶硅棒切成具有精確幾何尺寸的薄 硅片 。 綠化 為美化環(huán)境、凈化空氣、降低噪聲,廠內(nèi)在空閑地帶、道路兩 側(cè)進行種草植樹, 綠化面積 51979 m2, 綠化 達到 % 環(huán)保工程 廢氣處理 對工程中產(chǎn)生的各種廢氣采用技術(shù)可行、經(jīng)濟合理的治理措施,即酸性廢氣進入采用堿液進行淋洗;堿性廢氣采用酸液進行淋洗;甲苯采用活性炭吸附;特性廢氣采用專門的濕式外延氣體清洗器處理,各種廢氣均達標排放 廢水處理 公司建設(shè)一套廢水處理設(shè)施,針對不同水質(zhì),采用不同方式,對生產(chǎn)廢水進行有效處理,達到接管標準后和生活污水進入真州污水處理 廠處理,經(jīng)處理達標后,統(tǒng)一排入長江儀征段 噪聲處理 采用低噪聲設(shè)備、隔聲減震、綠化吸聲等措施 固廢處理 按照規(guī)定對產(chǎn)生的固體廢物進行處置 占地面積、廠區(qū)布置 占地面積: 本項目總占地面積 133334m2, 所占土地為儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 8 新區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)用地 。 項目主體工程與設(shè)計能力情況見表 31,公用及輔助工程的組成見表32。通過環(huán)境影響評價,了解建設(shè)項目周圍的環(huán)境狀況,預(yù)測建成后對周圍水氣聲環(huán)境的影響程度和范圍,并提出防治污染措施,減緩建設(shè)項目對周圍環(huán)境的影響,為建成后的環(huán)境管理提供科學(xué)依據(jù)。 本項目的建設(shè)有利于加速集成電路芯片主要材料的國產(chǎn)化進程。 結(jié)論 ......................................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 環(huán)境管理 ................................................................................. 錯誤 !未定義書簽。 經(jīng)濟效益分析 ......................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 11 項目廠址可行性分析 ......................................................................... 44 項目選址與規(guī)劃相容性 ....................................................................................... 44 項目選址與評價區(qū)域的環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀的相容性分析 ....................................... 44 本項目實施后對周圍環(huán)境的影響 ....................................................................... 44 12 公眾參與 ................................................................ 錯誤 !未定義書簽。 總量控制因子 ....................................................................................................... 39 總量控制指標 ....................................................................................................... 39 總量平衡方案 ....................................................................................................... 39 10 環(huán)境風險評 價 ..................................................................................... 41 風險評價等級的確定 ............................................................. 錯誤 !未定義書簽。 施工期環(huán)境影響分析 ............................................................. 錯誤 !未定義書簽。 建設(shè)項目環(huán)境保護目標 ......................................................... 錯誤 !未定義書簽。 社會環(huán)境狀況 ......................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 評價范 圍 ................................................................................. 錯誤 !未定義書簽。 評價原則 ................................................................................. 錯誤 !未定義書簽。 編制依據(jù) ................................................................................. 錯誤 !未定義書簽。 評價等級 ................................................................................. 錯誤 !未定義書簽。 自然環(huán)境概況 ......................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 評價標準 ................................................................................. 錯誤 !未定義書簽。 4 污染防治措施 ..................................................................................... 22 大氣污染防治措施評述 ....................................................................................... 22 水污染防治措施評述 ........................................................................................... 24 噪聲污染防治措施評述 ....................................................................................... 28 固體(廢液)污染防治措施評述 ....................................................................... 28 非正常排放防范措施 ........................................................................................... 29 綠化 ....................................................................................................................... 29 排污口規(guī)范化設(shè)置 ............................................................................................... 31 環(huán)保投資及“三同時” ....................................................................................... 31 5 清潔生產(chǎn)與循環(huán)經(jīng)濟分析 ................................................................. 33 產(chǎn)業(yè)政策相符性分析 ........................................................................................... 33 清潔生產(chǎn) ............................................................................................................... 33 循環(huán)經(jīng)濟 ............................................................................................................... 35 銀笛(揚州)微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書 2 6 環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評價 ............................................................................. 36 大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn) 狀監(jiān)測與評價 ........................................................................... 36 地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測及評價 ....................................................................... 36 7 環(huán)境影響預(yù)測及評價 ......................................................................... 38 大氣環(huán)境影響預(yù)測及評價 ................................................................................... 38 地表水環(huán)境影響分析 ........................................................................................... 38 聲環(huán)境影響分析 ................................................................................................... 38 固廢環(huán)境影響分析 ............................................................................................... 38 8 施工期環(huán)境影響分析與防治 ................................. 錯誤 !未定義書簽。 總量控制原則 ......................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 事故防范 ............................................................................................................... 41 結(jié)論 ......................................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 13 環(huán)境經(jīng)濟損益分析 .................................
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