【正文】 2 √ 管道系統(tǒng)通過管架接地。 易燃工作間的設備、電氣線路，開關、燈具等，均應采用相應等級的防爆型產(chǎn)品。 SJ3000292 √ 電氣設備金屬外殼應與 PE 線可靠連接。 GB5016992 √ 氫氣、 CO 和天然氣管道不能通過煙道、通風管、配電室和易燃易爆物倉庫。 GB5002893 √ 管道應標志介質(zhì)及流向。 SJ3000292 √ 對有害氣體、易燃氣體的作業(yè)區(qū)，應采取切實有效的防護措施，提高自動化，采取密閉、隔離生產(chǎn)。 SJ3000292 √ 隔離操作、密閉生產(chǎn)。 車間空氣中有害物質(zhì)的濃度，必須符合《工業(yè)企業(yè)設計衛(wèi)生標準》的規(guī)定。 SJ3000292 ∽ 已做監(jiān)測，數(shù)據(jù)暫不能提供。 輸送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蝕性氣體或液體的管道、管件、閥門，其材質(zhì)、連接方法，必須具有密封、耐壓、防腐蝕、防靜電等相應措施。 SJ3000292 √ 雙套管輸送，防腐內(nèi)涂層。 危險相同的生產(chǎn)，宜集中或相鄰布置 SJ3000292 √ 對于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房，廠房內(nèi)部應采取便于清掃、刷洗以及防止毒物附著和積蓄的措施。 SJ3000292 √ 防泄漏 收集采用二次容器， 倍容積。 車間內(nèi)各種明溝，應加設蓋板。 SJ3000292 √ 生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴格的廠房和車間應設置洗衣房。 SJ3000292 √ 設洗衣房。 凡使用酸、堿或有機溶劑進行化學清洗的設備，必須裝設局部排風聯(lián)鎖。 SJ3000292 √ 有下列情況之一時，排風不應合為一個系統(tǒng)： 混合后能引起燃燒或爆炸時； （ 1）混合后 能引起燃燒、爆炸時； （ 2）易燃易爆工作間排風與一般工作間排風。 SJ3000292 √ 均設置獨立排風。 氫氣、煤氣管道，在末端、最高點等處應設置放散管，放散管應高出屋頂；放散管上應設阻火器。 SJ3000292 √ 潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃氣體的風管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風 SJ3000292 √ 雙層不銹鋼、酸堿風管采用 ATC 玻璃鋼 25 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 管應采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風管或不銹鋼風管。 涂層。 4 危險化學品的使用、輸送與管理 危險化學品應按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學危險品，嚴禁混放在一起。 SJ3000292 √ 分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃氣體室等。支援車間分功能區(qū)。 輸送危險化學品的設備、附屬儀表、器材等，應根據(jù)危險介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。輸送腐蝕性較強的液體管道，不應敷設在其它管道的上方，并不宜連接埋地敷設。 SJ3000292 √ 雙層套管內(nèi)設泄漏檢測。 儲存有 較強腐蝕性液體的設備應設置必要的防溢出、防滲漏緊急處理設施。其基礎及周圍地面應采取防腐蝕處理。 SJ3000292 √ 全封閉輸送機組，多種報警聯(lián)鎖裝置；周圍設置圍堰。 對于輸送具有較強腐蝕性液體的化學藥劑泵、在其填料函或機械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處，應設置適當?shù)陌踩雷o。 SJ3000292 √ 全封閉 PLC程控泵組無泄漏。泵為全封閉型 輸送有毒介質(zhì)的設備、管道放空時，應加以收集或處理，不得任意排放。 SJ3000292 √ 收集并加以 洗滌。 易燃、易爆的車間，應采用易于清洗、撞擊或磨擦時不產(chǎn)生火花的地面。 SJ3000292 √ 硅烷室、易燃室符合要求。 有爆炸危險的房間（如硅烷室、易燃氣體室、生產(chǎn)車間等），應設置泄壓措施，安全出口不應少于 2 個。其中一個直接對外，不超過100m2 的房間可設一個出口。 GBJ1687 ∽ 硅烷室設泄壓其余無，安全出口均不少于 2 個。 危險化學品使用場所應設置通訊、報警裝置， 并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。 危險化學品安全管理條例 第 18 條 √ 設置應急通訊、自動、 手動報警裝置。 應在危險化學品作業(yè)場所設置急救設施，并提供應急處理的方法。 工作場所安全使用化學品規(guī)定 第 17 條 √ 設置應急用品柜，提供處理方法。 使用單位應對盛裝、貯存危險化學品的設備，采用顏色、標牌、標簽等形式，標明其危險性。 工作場所安全使用化學品規(guī)定 第 19 條 √ 儲存柜上均有標識。 丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近混合貯存，氧化劑應單獨存放。 GB156031995 √ 單獨存放。 廢棄、過期的化學危險品及使用過 的包裝容器必須妥善保管，不得隨意拋棄，依據(jù)危險廢棄物的處置標準進行處置。 關于加強化學危險物品管理的通知 √ 26 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 使用危險化學品，在天津市有關主管部門辦理了登記手續(xù)，并取得使用許可證。 市安監(jiān)局、市經(jīng)委相關文件要求 ∽ 正申辦。 有關領導和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術的培訓，經(jīng)考核合格，方可上崗作業(yè)。 《危險化學品安全管理條例》 第四條 ∽ 已組織，尚未培訓。 5 有毒氣體控制裝置 砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜，離子刻蝕設備、離 子注入機等使用有害氣體的作業(yè)點，應設事故排風裝置。 SJ3000292 √ 使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間，宜設報警裝置及事故排風。報警裝置宜與生產(chǎn)設備、操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應定時進行排風。 SJ3000292 √ 設置報警聯(lián)鎖裝置及事故排風。 6 電氣 電氣裝置采用接地故障保護時，應做總等電位聯(lián)接。 SJ3000292 √ 等電位連接。 檢測和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣可能使生產(chǎn)、動力設備造成重大事 故時，必須有備用電、氣源。備用時應根據(jù)工藝、動力要求確定，一般不小于 1530 分鐘。 SJ3000292 √ 設發(fā)電機 3 臺，壓縮空 氣 備 用 氣 源 ≥30min。 停電或停氣時，調(diào)節(jié)閥的閥位應處于安全位置。 SJ3000292 √ 消防設施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、火災應急照明、消防用電設備，應采用單獨的供電回路，并當發(fā)生火災切斷生產(chǎn)、生活用電時，應仍保證消防用電。其配電設備應有明顯標志。 SJ3000292 √ 單獨設置供電回路，UPS、 EPS、 SP 電源， 在有爆炸危險環(huán)境內(nèi)，敷設電氣線路的溝道、電纜或鋼管，在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞，應采用非燃性材料嚴密堵塞。 SJ3000292 √ 防火水泥堵塞。 電氣設備線路必須安全可靠 ,照明應采用有防護罩的燈具。 SJ3000292 √ 線路穿管敷設，燈具有防護罩。 在火災、爆炸危險環(huán)境內(nèi)，可能產(chǎn)生靜電危害的設備、管道應采取靜電接地措施。 SJ3000292 √ 設備、管道均采取靜電接地措施。 在重點防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應設計人體導除靜電裝置；并配備個人防靜電防護用品。 HG2057195 √ 設消除靜電離子發(fā)生器。 7 消防、報警設施 建筑滅火器的配置應按《建筑滅火器配置設計規(guī)范》的有關規(guī)定執(zhí)行。 GBJ1687 √ 潔凈室及技術夾層應設置自動滅火系統(tǒng)。 SJ3000292 √ 27 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 生產(chǎn)廠房應設置火災自動報警檢測系統(tǒng)。 SJ3000292 GB1280191 √ 儲 存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃氣體室等應設置可燃氣體監(jiān)測報警裝置、事故排風及防爆設施。 GBJ1687 SJ3000292 √ 設作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報警系統(tǒng)。 潔凈廠房、有毒、易燃氣瓶間等可能散發(fā)可燃、可爆和有毒、有害氣體的場所應設置各種可燃、有毒、有害氣體檢漏報警裝置。 SJ3000292 √ 設置不同類型報警裝置。 8 氣瓶安全使用 使用氣瓶應： 采購和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn)品，不使用超期未檢的氣瓶。 必須到已辦理充 裝注冊的單位或經(jīng)銷注冊的單位購氣。 氣瓶使用前應進行安全狀況檢查，對盛裝氣體進行確認。 氣瓶放置地點不得靠近熱源和明火，應保證氣瓶干燥。 氣瓶立放時，應采取防止傾倒的措施； 夏季應防止爆曬； 嚴禁敲擊、碰撞； 嚴禁在氣瓶上進行電焊引??； 瓶內(nèi)氣體不得用盡，必須留有剩余壓力或重量，氫氣瓶剩余壓力應不小于 。 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程 第 79 條 √ 各項措施齊備，剩余壓力小于 自動切換。 磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼瓶，必須放置在設有排風防護裝置的金屬柜內(nèi)。不工作時，應有自動定時 排風系統(tǒng)。 SJ3000292 √ 長期通風。 9 安全標志 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應設置安全標志，必要處尚應設置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號。 SJ3000292 √ 機臺、氣柜等均設置安全標志。 廠房、動力站房的安全出口及疏散通道，應設置明顯的標志。 SJ3000292 √ 安全標志的涂色，應符合國家現(xiàn)行《安全標志》及《安全色》標準的規(guī)定。 GB289382 GB28941996 √ 工業(yè) 管路基本識別色應符合： 綠色：水 鋁色：蒸氣 GB723187 ∽ 未完全執(zhí)行本國標。 28 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 棕色：易燃液體 黃褐色：氣態(tài)或液態(tài)氣體（空氣、氧氣除外） 紫色：酸或堿 淺藍色：空氣或氧氣 黑色：其它液體。 . 4 危險源綜合分析與評價 單元的主要危險因素 SMIC 中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復雜，同時使用多種易燃、易爆、有毒化學試劑和易燃、有毒氣體，按照 GBJ1687“生產(chǎn)的火災危險性分類”為甲類，因此火災、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害 等。 已采取的主要安全技術、管理措施 針對上述危險有害因素，為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運行，企業(yè)已采取的安全技術措施主要有： 1） 潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級符合國家相關規(guī)范要求； 2） 潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設置局部排風，同時設置火災自動報警裝置、火災排煙系統(tǒng)及應急照明； 3） 將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設置在獨立的房間內(nèi)，硅烷單獨設置在獨立的建筑物內(nèi)； 4） 所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi)，氣柜帶有閥門盒和閥門屏，氣柜內(nèi)配備自動的氮氣凈化系統(tǒng)。 5） 有害氣體在氣柜、閥 門盒、工藝設備和有毒氣體排放口設監(jiān)測點，所有探頭具有高敏度報警功能； 6） 酸、堿、有機溶劑采用高純氮氣充填容器，利用雙層管道輸送至使用點，在雙層管道內(nèi)設監(jiān)測報警探頭，所有化學品盛裝容器、使用點均設置局部排風系統(tǒng)； 7） 在危險化學品生產(chǎn)、儲存場所設置洗眼器及安全淋浴裝置； 8） 本單元消防、報警、聯(lián)鎖裝置的設置基本符合國家標準要求。 問題與建議 為了保證系統(tǒng)能夠安全運行，廠方采取了一些安全措施，基本能夠?qū)崿F(xiàn)安全生產(chǎn)。通過對作業(yè)現(xiàn)場安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下： 1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易 燃氣體室未設置泄壓設施，并且未按 SJ3000292標準設置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風系統(tǒng)等安全裝置、設施的齊備、完好及有效性。 2) 廢液收集罐上的平臺護欄需按標準要求修復； 3) 應按 GB723187 相關要求對工業(yè)管路涂敷基本識別色。 評價結(jié)論 高壓電氣產(chǎn)品 生產(chǎn)工藝單元主要危險因素是各類可燃氣體、易燃液體以及有毒物料泄漏 29 引發(fā)火災、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車間、支援車間設計、施工以及各類危險化學品安全使用、儲存情況基本符合標準、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求；項目本質(zhì)安全程度較高，各項安 全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過程中嚴格執(zhí)行各項安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實現(xiàn)安全生產(chǎn)。 4. 4化學品庫安全評價單元 4. 化學品庫安全檢查表 表 4. 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 1 基本要求 化學危險品及