【正文】 只要在生產(chǎn)過程中嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)。通過對作業(yè)現(xiàn)場安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下： 1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易 燃?xì)怏w室未設(shè)置泄壓設(shè)施，并且未按 SJ3000292標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。 . 4 危險(xiǎn)源綜合分析與評價(jià) 單元的主要危險(xiǎn)因素 SMIC 中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜，同時(shí)使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體，按照 GBJ1687“生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類”為甲類，因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險(xiǎn)因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害 等。 廠房、動力站房的安全出口及疏散通道，應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。不工作時(shí)，應(yīng)有自動定時(shí) 排風(fēng)系統(tǒng)。 氣瓶放置地點(diǎn)不得靠近熱源和明火，應(yīng)保證氣瓶干燥。 SJ3000292 √ 設(shè)置不同類型報(bào)警裝置。 SJ3000292 √ 27 序號 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報(bào)警檢測系統(tǒng)。 在重點(diǎn)防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應(yīng)設(shè)計(jì)人體導(dǎo)除靜電裝置；并配備個(gè)人防靜電防護(hù)用品。 電氣設(shè)備線路必須安全可靠 ,照明應(yīng)采用有防護(hù)罩的燈具。 SJ3000292 √ 消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備，應(yīng)采用單獨(dú)的供電回路，并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時(shí)，應(yīng)仍保證消防用電。 檢測和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣可能使生產(chǎn)、動力設(shè)備造成重大事 故時(shí)，必須有備用電、氣源。報(bào)警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應(yīng)定時(shí)進(jìn)行排風(fēng)。 有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術(shù)的培訓(xùn)，經(jīng)考核合格，方可上崗作業(yè)。 GB156031995 √ 單獨(dú)存放。 工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第 17 條 √ 設(shè)置應(yīng)急用品柜，提供處理方法。 GBJ1687 ∽ 硅烷室設(shè)泄壓其余無，安全出口均不少于 2 個(gè)。 易燃、易爆的車間，應(yīng)采用易于清洗、撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火花的地面。 對于輸送具有較強(qiáng)腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機(jī)械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處，應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)。 SJ3000292 √ 雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測。 SJ3000292 √ 分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃?xì)怏w室等。 SJ3000292 √ 潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃?xì)怏w的風(fēng)管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風(fēng) SJ3000292 √ 雙層不銹鋼、酸堿風(fēng)管采用 ATC 玻璃鋼 25 序號 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。 凡使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行化學(xué)清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。 SJ3000292 √ 防泄漏 收集采用二次容器， 倍容積。 SJ3000292 ∽ 已做監(jiān)測，數(shù)據(jù)暫不能提供。 GB5002893 √ 管道應(yīng)標(biāo)志介質(zhì)及流向。 SJ3000292 √ 管道系統(tǒng)通過管架接地。 SJ3000292 √ 設(shè)置洗眼、淋浴器。 SJ3000292 √ 設(shè)置緊急制動，設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng)，帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。 ～393 第 條 廢液收集罐處平臺護(hù)欄不符要求。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。 SJ3000292 √ 設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，常開；特殊氣體室室外設(shè)手動開關(guān)，設(shè)自動聯(lián)鎖報(bào)警。 GB500732021 √ 潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。 GB500732021 √ ≤ 65dB。 SJ3000292 除硅烷室單獨(dú)設(shè)置外，均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。 GBJ1687 √ 廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度 7 度設(shè)防要求，框架抗震等級二級要求。 GBJ1687 √ 約 。 GBJ1687 √ 單獨(dú)設(shè)置。 GBJ1687 √ 均為二級。 雷電危害 建筑物 防雷設(shè)計(jì)不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時(shí)，會產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。 高頻、噪聲傷害 在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機(jī)等高頻設(shè) 備；清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機(jī)、蝕刻機(jī)、微影機(jī)等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護(hù)措施不當(dāng)或損壞都會對人員造成物理因素傷害。 EG01 1 EBR10A 1 1PA01CDM 1 4． 危險(xiǎn)危害辨識與分析 火災(zāi)、爆炸 各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機(jī)械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員 誤操作，造成物料泄漏， 如 作業(yè)現(xiàn)場 通風(fēng) 不良， 與空氣混和達(dá)到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸； 腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷 清洗、擴(kuò)散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、 Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲存、使用場所內(nèi)， 盛裝酸 、堿 性腐蝕品磷酸、鹽酸 等設(shè)備、 容器 以及輸送管路 因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運(yùn)、使用過程機(jī)械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷 ；同時(shí)各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣 體，均會造成人員中毒 。 N2O 7 30%O2/He 6 %He+N2 1 10%氦氣 /氮?dú)夤に嚧祾摺?TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、 shut down C4F8 2 CHF3 1 20 序號 儲存場 所名稱 儲存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱 氣柜數(shù)量（個(gè)） 安全設(shè)施 5 惰性氣體室 C2F6 1 按鈕、勞動防護(hù)用品專柜。 4． 3生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評價(jià)單元 4． 支援車間危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲存、安全措施情況 危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲存及安全措施表 表 序號 儲存場 所名稱 儲存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱 氣柜數(shù)量（個(gè)） 安全設(shè)施 1 毒性氣 體室 砷化氫混合氣（ AsH3/H2） 1 10%氦氣 /氮?dú)夤に嚧祾摺?TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、 shut down 按鈕、勞動防護(hù)用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空， 設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時(shí)，報(bào)警。在管路上用識別符號標(biāo)識管內(nèi)流體性質(zhì)、名稱和流向。 2） 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，安全出入口，應(yīng)設(shè)置齊全醒目的安全警示標(biāo)志。但仍有一些問題應(yīng)引起注意。易造成誤入及違章等，引發(fā)中毒、燃爆、觸電等傷害。 安全標(biāo)志的涂色，應(yīng)符合國家現(xiàn)行《安全 標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 各種輸送氣體、液體及其它物料的管道，均應(yīng) 按國家及電子工業(yè)有關(guān)規(guī)定涂色。 道路上部管架和棧橋等障礙物，在干道上的凈 高不得小于 5m。凡采用直梯的場所，應(yīng)采取防護(hù)措施，相鄰兩層的直梯宜錯(cuò)開設(shè)置。 GB438794 √ 良好。 廠區(qū)道路在彎道交叉路口的橫凈距范圍內(nèi)，不 得有妨礙駕駛員視線的障礙物。 職工上下班時(shí)間內(nèi)，人流密集的出入口和路段，應(yīng)停止行駛貨運(yùn)和 機(jī)動車輛。有回轉(zhuǎn) 場地。 GB5018793 √ 人流、貨流組織合理。人流出入口與 GB5018793 √ 三個(gè)出入口，人、物 17 序號 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 貨流出入口分開設(shè)置。 SJ3000292 √ 基本符合有關(guān)規(guī)定。 SJ3000292 GB5018793 √ 火災(zāi)危險(xiǎn)性屬于甲、乙、丙類液體燃料罐區(qū)的布置，應(yīng)遠(yuǎn)離明火或散發(fā)火花地點(diǎn)。 空壓站應(yīng)位于空氣潔凈地段，避免靠近散發(fā)爆 炸性、腐蝕性和有害氣體的粉塵等場所。不受粉塵、水霧、腐蝕性氣體影響。 要求潔凈的生產(chǎn)設(shè)施應(yīng)布置在大氣含塵濃度低、環(huán)境清 潔地段。 SJ3000292 √ 按功能分為辦公區(qū)、生產(chǎn)區(qū)、公用工程區(qū)、預(yù)留區(qū)。 16 序號 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 地震斷層和設(shè)防烈度低于九度地震區(qū)。 廠址應(yīng)位于生活區(qū)最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，避 免建在已建工廠煙囪主導(dǎo)風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。 3． “備注 ” 是現(xiàn)場中在該項(xiàng)中不符合要求的實(shí)際情況及對某些符合項(xiàng)的說明 。根據(jù)該公司的特點(diǎn)，使用安全檢查表法簡便靈活，應(yīng)用廣泛 ，結(jié)合本項(xiàng)目建設(shè)安全 評價(jià)采用以下兩種方法： 安全檢查表 （ SCL） 依據(jù)國家、行業(yè)、地方相關(guān)法規(guī)、規(guī)定及技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，針對本工程存在的危險(xiǎn)、危害因素，編制安全檢查表，以查驗(yàn)項(xiàng)目在設(shè)計(jì)、施工、交付生產(chǎn)使用時(shí)，所采取的安全防護(hù)設(shè)施 15 及技術(shù)措施的全面性和可靠性，并據(jù)此提出改進(jìn)措施及建議。 9） 噪聲危險(xiǎn) ： 空壓設(shè)備、泵類、風(fēng)機(jī)等設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可產(chǎn)生噪聲危害。 6） 車輛傷害 廠內(nèi)各類運(yùn)輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。 3） 觸電危險(xiǎn) 變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運(yùn)行不當(dāng)、機(jī)械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計(jì)、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險(xiǎn)。其主要危險(xiǎn)因素有： 1） 火災(zāi)爆炸 油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā) 火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)。 3） 氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機(jī)物還原劑、易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。 有圖紙輔助設(shè)計(jì)儀器、微機(jī)，如：惠普 450C 彩色繪圖儀等 43 臺（套）。 9 工藝流程 工藝流程圖 圖 21 高壓電氣生產(chǎn)工藝流程圖 主要輔助生產(chǎn)設(shè)施 總裝配車間、機(jī)加工車間、表面處理車間及綜 合辦公樓和宿舍樓建筑面積共計(jì) 33000平方米 高壓特高壓輸變電設(shè)備生產(chǎn)裝配車間 26000 平米。 黑色金屬材料主要包括：冷扎、熱軋鋼板，熱軋等邊及不等邊角鋼和槽鋼等，年需消耗量為 6400 噸。其中：高壓特高壓輸變電設(shè)備生產(chǎn)裝配車間 26000 平米。企業(yè)綜合實(shí)力及規(guī)模位居中國西部同行業(yè)前五位，居民營企業(yè)之首位。主要生產(chǎn)電壓等級 及其以下所有中低壓輸配電產(chǎn)品。 公司產(chǎn)品隨著行業(yè)、市場變化，主要用于電力建設(shè)、城農(nóng)電網(wǎng)建設(shè)、城市基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、煤炭、石油、化工、工礦等行業(yè)，立足西北，以西部市場為腹地，逐步拓展全國市場。 2021 年公司全部低壓產(chǎn)品通過中國質(zhì)量認(rèn)證中心 CCC 認(rèn)證。集團(tuán)公司 1997 年成立于 **市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)。 包括 總裝配車間、機(jī)加工車間、表面處理車間 高壓特高壓輸變電設(shè)備生產(chǎn)裝配車間，高壓特高壓輸變電設(shè)備機(jī)械加工車 間 及倉儲、生產(chǎn)、消防、安全單 元 等 ， 具體內(nèi)容如下： （ 1）儲存和生產(chǎn)場所、設(shè)施、建筑物應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（ GBJ16）、《爆炸危險(xiǎn)場所安全規(guī)定》和《倉庫防火安全管理規(guī)則》等規(guī)定，建筑物應(yīng)當(dāng)經(jīng)公安消防機(jī)構(gòu)驗(yàn)收合格； （ 2）儲存條件、生產(chǎn)條件符合《危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營企業(yè)開業(yè)條件和技術(shù)要求》（ GB18265）、《常用危險(xiǎn)化學(xué)品儲存通則》（ GB15603）； （ 3）單位主要負(fù)責(zé)人和主管人員、安全生產(chǎn)管 理人員和業(yè)務(wù)人員經(jīng)過專門培訓(xùn)，并經(jīng)考核、取得上崗資格； （ 4）有健全的安全管理制度和崗位安全操作規(guī)程； （ 5）有本單位事故應(yīng)急救援預(yù)案。 1 ****電氣集團(tuán)高壓電氣安全評價(jià)報(bào)告 **安全科學(xué)研究所 2021 年 11 月 1 日 2 目錄 1 概述 ....................................................... 3 評價(jià)目的 .......................................................................................................... 3 評價(jià)依據(jù) .......................................................................................................... 3 評價(jià)范圍 ................