【文章內(nèi)容簡介】 能力 和抗風險能力， 經(jīng)濟上是可行的。 （七）該項目產(chǎn)業(yè)關聯(lián)度較廣、經(jīng)濟拉動力較強，項目實施后，還將擴大勞動就業(yè)，推動行業(yè)技術(shù)進步，產(chǎn)生良好的社會效益。 總之，該項目的建設具有優(yōu)良的建設條件和外部環(huán)境，采用的技術(shù)和產(chǎn)品質(zhì)量都達到國際先進水平，項目的實施將產(chǎn)生 良好的經(jīng)濟效益和社會效益。 建議有關主管部門審查 批準本項目可行性研究報告，建議建設單位盡快籌集資金，爭取早日實施，早見成效。 第二章 技術(shù)先進性論證 一、項目的技術(shù)基礎 華益公司現(xiàn)有 8條真空鍍膜生產(chǎn)線，有著 10年的導電膜玻璃生產(chǎn)經(jīng)驗，組建有省級企業(yè)技術(shù)中心，是 蚌埠玻璃新材料國家級高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地的骨干企業(yè) 。 擁有一批實踐經(jīng)驗豐富、技術(shù)水平精湛、年富力強的技術(shù)隊伍，技術(shù)開發(fā)能力強，技術(shù)儲備雄厚，產(chǎn)品更新?lián)Q代快，始終引領行業(yè)技術(shù)之先。目前已掌握了 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 生產(chǎn)技術(shù)，項目開工后，無需進行專門的技術(shù)培訓。同時，華益公司歷來十分重視企業(yè)管理工作 ，內(nèi)部規(guī)章制度健全，執(zhí)行力度到位，已通過 ISO9001：2021質(zhì)量體系認證，已形成了一套科學成熟的生產(chǎn)管理經(jīng)驗和工藝、質(zhì)量控制模式，成為國內(nèi)最大的信息顯示材料生產(chǎn)、研發(fā)基地，產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量均位居行業(yè)之首，具有良好的技術(shù)基礎。 二、成果來源及知識產(chǎn)權(quán)情況 本項目技術(shù)成果由安徽省華益導電膜玻璃有限公司自行開發(fā)與研制，華益公司對該技術(shù)成果擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。 三、 已完成的研究開發(fā)工作及中試情況和鑒定年限 LCD 用 ITO 導電玻璃與觸摸屏用基片的生產(chǎn)工藝要求有很大差別，公司技術(shù)攻關小組在現(xiàn)有生產(chǎn)線上對觸膜屏基片的 生產(chǎn)工藝和技術(shù)參數(shù)進行了多次探索性實驗，針對 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 的特性，發(fā)現(xiàn)了現(xiàn)有生產(chǎn)線不能連續(xù)批量生產(chǎn)該產(chǎn)品的問題所在，自主開發(fā)、改造 現(xiàn)有生產(chǎn)線，在無法增加真空隔離室的情況下，我們針對現(xiàn)有真空室設計了多個外隔離段，在每個隔離段上增加了渦輪分子泵，以最小的投入最大限度地減小了鍍膜氣流串動，將過去齒輪齒條傳動改造為滑動傳動，提高了基架運行的平穩(wěn)性，反復實驗鍍膜材料的成份配比，找出了最配比方案等等。在現(xiàn)有設備上進行了 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 的規(guī)模批量生產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，各項性能指標完全能夠滿足觸摸屏廠家的要 求。目前產(chǎn)品中試已能形成生產(chǎn)能力 30 萬片 /年，產(chǎn)品質(zhì)量處國內(nèi)領先水平，達到國際標準，工藝成熟， 產(chǎn)品填補國內(nèi)空白， 具備產(chǎn)業(yè)化條件。 四、技術(shù)或工藝特點，與現(xiàn)有技術(shù)或工藝比較所具有的優(yōu)勢 觸摸屏用的導電基片，較薄的膜層厚度（標準≤ 250197。177。 20%），較大的表面電阻（標準≤ 100Ω /□）和很好的均勻性。由于 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 要求要在較薄的膜層下達到均勻的雙面電阻，在常規(guī)的設備工藝條件下很難實現(xiàn)大規(guī)模批量生產(chǎn)，因為在制備 250 197。 以下厚度的金屬氧化物薄膜時，在生產(chǎn)過程中微小的氣流干擾基片運行波動都會影響金屬 分子和原子氧化態(tài)的氣氛，造成氧化過程不均勻，膜層指標離散性大，產(chǎn)品質(zhì)量非常不穩(wěn)定，成品率低，針對以上情況我們選用配置了適合生產(chǎn) 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 的設備和工藝。其技術(shù)特點和優(yōu)勢是： （一）在真空環(huán)境下采用等離子放電轟擊鍍膜工藝，在玻璃基片上鍍制多層不同性的氧化物薄膜，用這種工藝制備的膜層致密性好，附著力強，膜層均勻。 （二）采用在玻璃基片上鍍制 SiO ITO、 MO/AL/MO 等多層不同性 質(zhì)和厚度的工藝膜。 （三）科學計算各種鍍膜材料，金屬的成份配比，使得鍍膜后更易獲得較好的薄膜導電性。 （四）采用了磁 懸浮傳動導向系統(tǒng)，使得基片運行時非常平穩(wěn)，薄膜沉積更加均勻。 （五）采用多段隔離倉室，使得鍍膜過程氣氛更加穩(wěn)定，膜層性質(zhì)一致性好。 五、該重大關鍵技術(shù)的突破對行業(yè)技術(shù)進步的重要意義和作用 （一）本質(zhì)上：由于本項目的開工，使其后續(xù)產(chǎn)業(yè)觸摸屏的原材料可實現(xiàn)國產(chǎn)化。 （二）在工藝技術(shù)上：改變了以前傳統(tǒng)的鍍膜方式，采用在玻璃正反面同時鍍膜技術(shù)，使得雙面導電膜產(chǎn)能大大提高，生產(chǎn)成本大大降底。 第三章 建設方案、規(guī)模、地點 一、建設方案 （一）建設內(nèi)容 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 生產(chǎn)線的建設，包括廠房建設、生產(chǎn)設備及配套生產(chǎn)裝置的購置、安裝，水、電、汽的供應等。 （二）主要工藝技術(shù)參數(shù) 生產(chǎn)能力： 130 萬片／年 產(chǎn)品主要規(guī)格 14//179。 16// 、 370(mm)179。 470(mm)、 400(mm)179。 500(mm) 主要技術(shù)指標 強化玻璃雙面鍍 ITO 導電膜 ： 平均方塊電阻： 80Ω/□ 100Ω/□ 膜厚≤ 250197。177。 20197。 鍍多層金屬膜： MO/Pb/MO（鉬 /鈮 /鉬） 膜厚 （ 500+2500+500177。 250） 197。 電阻≤ ，不透光 二、建設規(guī)模 年產(chǎn) 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 130 萬片 三、建設 地點 在安徽省蚌埠華益導電膜玻璃有限公司現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)。 第四章 工藝技術(shù)方案 一、技術(shù)特點 連續(xù)大批量生產(chǎn)電容式觸摸屏面板用導電玻璃基片在國內(nèi)尚屬空白，華益公司在現(xiàn)有 STN— LCD 型 ITO 導電膜玻璃生產(chǎn)線上對觸膜屏基片的生產(chǎn)工藝和技術(shù)參數(shù)進行了多次探索性實驗，針對 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 的特性，發(fā)現(xiàn)了現(xiàn)有生產(chǎn)線不能連續(xù)批量生產(chǎn)該產(chǎn)品的問題所在，自主開發(fā)、改造現(xiàn)有生產(chǎn)線，在每個隔離段上增加了渦輪分子泵，以最小的投入最大限度地減小了鍍膜氣流串動，將過去齒輪齒條傳動改造為滑動傳動，提高了基架運行的平穩(wěn)性，反復實驗 鍍膜材料的成份配比，找出了最配佳比方案等等。在現(xiàn)有設備上進行了 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 的規(guī)模批量生產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，各項性能指標完全能夠滿足觸摸屏廠家的要求。目前產(chǎn)品中試已能形成生產(chǎn)能力 30 萬片 /年，產(chǎn)品質(zhì)量處國內(nèi)領先水平，達到國際標準，工藝成熟，具備產(chǎn)業(yè)化條件。 本項目創(chuàng)新難度較大，在技術(shù)上攻克了下列難點： （一）通過增加渦輪分子泵，解決了鍍膜氣流串動問題。 （二）將齒輪齒條傳動改造為滑動傳動，解決了基架運行的平穩(wěn)性問題。 （三）經(jīng)過反復實驗，解決了合金鉬 鈮 鉬（ MO/Nb/MO）鍍膜材料的最佳成份配比問題 。 （四）采用鍍膜設計，解決玻璃雙面同時鍍導電膜問題。 二、工藝技術(shù)路線 生產(chǎn) 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 的主要原材料為超薄玻璃、 SiO2靶材、 ITO 靶材、 MO 合金靶材、 Nb 合金靶材及工作氣體氬氣和氧氣，主 要設備是真空磁控鍍膜生產(chǎn)線。 超薄玻璃首先進行人工初檢， 經(jīng)切割、磨邊、倒角、拋光、化學強化后， 進入清洗線用去離子水進行洗滌，經(jīng)干燥后，在超凈室裝片，進入真空緩沖段，然后進入真空隔離室，先鍍制 SiO2保護膜，再經(jīng)過真空隔離室，鍍制 ITO 導電膜，鍍膜完畢后的基片先經(jīng)過真空隔離室，進入真空緩沖段然后在 180176。反轉(zhuǎn) 室內(nèi)轉(zhuǎn)向 再進入高真空隔離室進行平面磁控 MF 濺射鍍 MO/AL/MO 金屬膜，進入高真空隔離室緩沖，再進入低真空出口室，在超凈室卸片，成品經(jīng)檢驗合格后包裝入庫。 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 的生產(chǎn)工藝流程見下圖： 電容式觸摸屏用導電膜玻璃 生產(chǎn)線流程框圖 本項目工藝的關鍵技術(shù)控制： （一）原片：采用進口超薄浮法玻璃原片，確保基片的表面平整度和透光率。 （二）靶材的成分配比：嚴格按照試驗得出的最佳配比控制靶材的成分，保證基片的電阻值和均勻性。 純水站 DI 水 玻璃基片檢驗 基片清洗 基片裝載 真空緩沖 真空隔離 真空鍍膜 真空隔離 真空鍍膜 真空鍍膜 真空隔離 真空緩沖 基片卸載 檢 驗 包 裝 （三）氣流串 動控制：增加渦輪分子泵，使每個隔離段之間的氣流串動降低到最小程度。 （四）基架運行控制：采用磁懸浮傳動導向系統(tǒng)，使得基片運行時非常平穩(wěn)，薄膜沉積更加均勻。 （五）膜層均勻性控制：采用多段隔離倉室，使得鍍膜過程氣氛更加穩(wěn)定，膜層性質(zhì)一致性好。 三、設備選型 主生產(chǎn)線選用德國 AFC 公司的 ARISTO 1400TP 型真空鍍膜設備，配置原片切割線 兩 條、清洗設備、水處理設備、凈化設備、中央空調(diào)、空壓機 各兩套 、檢測系統(tǒng)及其他輔助設備等。詳見“主要工藝設備選型表”。 主要工藝設備選型表 序號 設備名稱 數(shù) 量 備 注 1 真空鍍膜設備 兩 套 2 原片切割線 兩 條 3 清洗設備 兩 套 4 水處理設備 兩 套 5 凈化設備 兩 套 6 中央空調(diào) 兩 套 7 檢測系統(tǒng) 兩 套 8 循環(huán)水系統(tǒng) 兩 套 9 壓縮空氣系統(tǒng) 兩 套 四、主要技術(shù)經(jīng)濟指標（見下表） 序號 指 標 名 稱 單 位 數(shù) 量 備 注 1 生產(chǎn)能力 萬片／ a 130 2 年工作日 d 300 3 工藝技術(shù)指標 產(chǎn)品厚度 mm ～ 總成品率 ％ 95 4 主要原料用量 超薄玻璃原片 萬片／ a 137 少量 進口 ITO靶材 kg／ a 2200 全部進口 SiO2 kg／ a 1200 鉬 鈮 合金靶 kg／ a 900 鋁釹合金靶 kg／ a 1800 氬氣 瓶／ a 30 氬氧混合氣 瓶／ a 106 5 供 電 總裝機容量 kW 2021 年用電量 kwh 179。 106 6 新水用量 m3／ d 233 7 生產(chǎn)線建筑面積 m2 12021 8 年運輸量 t／ a 3100 年運入量 t／ a 1600 年運出量 t／ a 1500 9 勞動定員 人 86 10 項目總投資 萬元 12021 固定資產(chǎn)投資 萬元 8353 建設期借款利息 萬元 647 鋪底流動資金 萬元 3000 11 內(nèi)銷平均價格 元／片 13 12 年平均銷售收入 萬元 13000 13 年平均總成本費用 萬元 10302 序號 指 標 名 稱 單 位 數(shù) 量 備 注 14 年平均利潤總額 萬元 2698 15 年平 均上交所得稅 萬元 405 16 年平均稅后利潤 萬元 2293 17 投資利潤率 ％ 18 投資利稅率 ％ 19 項目財務內(nèi)部收益率 ％ 20 自有資金財務內(nèi)部收益率 ％ 21 建設投資借款償還期 年 含建設期 22 投資回收期 年 含建設期 第五章 主要建設條件 一 、原材料供應 （一）超薄玻璃基片 年用量 137 萬片，部分進口， 70%國產(chǎn)。 （二） ITO 靶材 年需 ITO 靶材 2200kg，全部進 口。 （三） SiO2靶材 年需 SiO2靶材 1200kg，全部國產(chǎn)。 （四）鉬、 鈮 靶材，全部國產(chǎn)。 年需 鉬 鈮 合金靶 900 kg／ a 鋁釹合金靶 1800 kg／ a 濺射氣體 （五）本項目濺射氣體采用純度為 %的氬氣和氧氣，年需 工作氣體 106 瓶 （每瓶容量 12L， 120bar）。可在國內(nèi)采購，汽車運輸進廠。 二、外部配套條件 （一）建設條件 建設廠址 廠址位于華益導電膜 玻璃 公司現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)，新建一條年產(chǎn) 130 萬片電容式觸摸屏用導電膜玻璃 生產(chǎn)線 ，水電供應設施完善，交通運輸便捷，建設條件良好。 交通運輸 蚌埠市位于京滬鐵路、淮南鐵路與