【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 1 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計(jì)供水量的 30%； 2 干管流速 ≥； 3 不循環(huán)支管的長(zhǎng)度不應(yīng)大于 6倍管徑； 4 干管適當(dāng)部位應(yīng)設(shè)有清洗口； 5 管道系統(tǒng)必須密封 ， 不得有滲氣現(xiàn)象； 6 配備在線水質(zhì)檢測(cè)儀表； 7 對(duì)純水水質(zhì)要求嚴(yán)格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán) 供水系統(tǒng)。 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷。除 壓縮空氣外的各類(lèi)氣體管道不得穿過(guò)不使用此類(lèi)氣體的房間； 當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 潔凈廠房?jī)?nèi) ， 可燃?xì)怏w管道應(yīng)設(shè)置下列安全技術(shù)措施； 1 使用可燃?xì)怏w的潔凈室 （ 區(qū) ） 、 管廊 、 技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi) ， 在可燃?xì)怏w管道的易積聚處 ， 應(yīng)設(shè)氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置 ， 報(bào)警裝置與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖； 2 接至用氣設(shè)備的支管和放散管 ， 宜設(shè)阻火設(shè)施； 3 引至室外的放散管 ， 應(yīng)設(shè)防雷保護(hù)設(shè)施； 4 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。 可燃?xì)怏w和有毒氣體管道穿過(guò)潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的 管段應(yīng)設(shè)套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫。套管與管道之間應(yīng) 采取可靠的密封措施。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 氣體純化間 （ 站 ） 或 氣體入口室內(nèi) ， 設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w 純化裝置 或 管道時(shí) ， 其 火災(zāi)危險(xiǎn) 性應(yīng)按甲類(lèi)確定 ， 并應(yīng)符合 下列規(guī)定： 1 靠外墻設(shè)置； 2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)自動(dòng)切斷閥； 3 應(yīng)設(shè)有良好的自然通風(fēng) ， 并設(shè)有事故排風(fēng)裝置； 4 設(shè)氣體泄漏報(bào)警裝置 ， 并與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖； 5 設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施 。 潔凈廠房?jī)?nèi)的氧氣管道等 ， 應(yīng)設(shè)置下列安全技術(shù)措施： 1 管道及閥門(mén)附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理 。 2 設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施 。 3 氧氣引入管道上設(shè)自動(dòng)切斷閥。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 潔凈廠房?jī)?nèi)的特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)以耐火極限不低于 不燃燒體的隔墻與潔凈室 （ 區(qū) ） 分隔 ， 隔墻上的門(mén)窗應(yīng)為乙級(jí) 防火門(mén)窗 。 可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置 ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 特種氣體鋼瓶應(yīng)設(shè)在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中； 。 2 潔凈室 （ 區(qū) ） 設(shè)有閥門(mén) 、 裝配件的區(qū)域 ， 應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng) 、 氣體 泄漏報(bào)警裝置和氣體緊急切斷裝置； 3 排風(fēng)機(jī) 、 泄漏報(bào)警 、 自動(dòng)切斷閥均應(yīng)與應(yīng)急電源相連； 4 對(duì)一個(gè)特氣分配系統(tǒng)供多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí) ， 應(yīng)設(shè)多路閥門(mén)箱 ， 實(shí)現(xiàn)安全操作控制； 5 可燃性 、 氧化性特種氣體管道的設(shè)置應(yīng)遵守 、 規(guī)定 。 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房的建筑外的儲(chǔ)存區(qū)內(nèi) 。 其儲(chǔ)存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 儲(chǔ)存區(qū)至少三面是敞開(kāi)的 ， 氣瓶固定在鋼制框架上； 2 氣瓶或氣瓶組與周?chē)臉?gòu)筑物或圍欄隔開(kāi) ， 其間的距離應(yīng)大于 ； 3 儲(chǔ)存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于 。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 潔凈廠房?jī)?nèi)各種化學(xué)品儲(chǔ)存間 （ 區(qū) ） 的設(shè)置 ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 化學(xué)品儲(chǔ)存間 （ 區(qū) ） 的儲(chǔ)量不應(yīng)超過(guò)該化學(xué)品 24h的消耗量； 2 化學(xué)品按物化特性分類(lèi)儲(chǔ)存 ， 當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫(kù)儲(chǔ)存時(shí) ， 應(yīng) 采用實(shí)體墻分隔； 3 危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)儲(chǔ)存在單獨(dú)的儲(chǔ)存間或儲(chǔ)存分配間內(nèi) ， 與相鄰房間 以耐火極限大于 ； 4 危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存 、 分配間宜靠外墻布置； 5 各類(lèi)化學(xué)品儲(chǔ)存 、 分配間應(yīng)設(shè)機(jī)械排風(fēng) 。 機(jī)械排風(fēng)應(yīng)采用應(yīng)急 電源； 6 對(duì)于易產(chǎn)生爆炸的危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間的地面，應(yīng)采用不 發(fā)生火花的防靜電地面。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 潔凈廠房?jī)?nèi)采用容器傳送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí) ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 嚴(yán)禁在出入口 、 疏散走廊儲(chǔ)存 、 分配 。 潔凈廠房?jī)?nèi)運(yùn)送易燃化學(xué)品 的通道應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)； 2 運(yùn)送危險(xiǎn)化學(xué)品的推車(chē)運(yùn)載量不得超過(guò) 250L； 單個(gè)容器的容量 不宜超過(guò) 20L； 3 物理化學(xué) 特性不相容的危險(xiǎn)化學(xué)品不得采用同一推車(chē)運(yùn)送； 4 桶裝危險(xiǎn)化學(xué)品的垂直運(yùn)輸應(yīng)采用液壓升降裝置 。 當(dāng)采用壓力罐輸送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí) ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 輸送系統(tǒng)設(shè)備 、 管道的材質(zhì) ， 應(yīng)與所輸送的化學(xué)品兼容； 2 壓力罐設(shè)置減壓通風(fēng)口 ， 其排氣管應(yīng)接至安全區(qū)域； 3 輸送系統(tǒng)只容許采用氮?dú)庠鰤海? 4 在分配和使用處設(shè)手動(dòng)切斷閥 。 5 應(yīng)設(shè)有液位監(jiān)控和自動(dòng)關(guān)閉裝置，并設(shè)置溢流應(yīng)對(duì)措施。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 液態(tài)危險(xiǎn)化學(xué)品的儲(chǔ)存 、 分配間 ， 應(yīng)設(shè)置溢出保護(hù)設(shè)施 ， 并 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 儲(chǔ)存罐或罐組設(shè)保護(hù)堤 ， 其堤內(nèi)容積大于最大儲(chǔ)罐的容積； 保護(hù)堤的高度不低于 500mm； 2 甲 、 乙類(lèi)液體與可燃液體相互接觸引起化學(xué)反應(yīng)的可燃液體 儲(chǔ)罐或罐組之間 ， 應(yīng)設(shè)隔堤 ， 隔堤不得滲漏；管道穿過(guò)隔堤時(shí) 應(yīng)采用不燃材料密封 。 3 應(yīng)設(shè)液體溢出報(bào)警及處理措施； 4 設(shè)置緊急淋浴和洗眼器。 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用 ， 應(yīng)按所輸送的化學(xué)品的 物理 化學(xué) 性質(zhì)確定 ， 并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料 。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 潔凈廠房?jī)?nèi) ， 可燃?xì)怏w或液體的儲(chǔ)存 、 分配用房間的電氣設(shè)計(jì) ， 應(yīng)根據(jù)可燃?xì)怏w或液體的特性 ， 按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 《 爆炸和火災(zāi) 危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范 》 (GB50058)確定其爆炸危險(xiǎn)區(qū)域 等級(jí) 。 潔凈室 （ 區(qū) ） 的主要生產(chǎn)用房間一般照明的照度值宜為 300～ 500lx； 輔助工作室 、 人員凈化和物料凈化用室 、 氣閘室 、 走廊等宜為 200～ 300lx。 潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 潔凈室 （ 區(qū) ） 內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明； 2 備用照明宜作為正常照明的一部份 ， 且不低于該場(chǎng)所一般照明 照度值的 20%； 3 備用照明的電源宜由變電所專(zhuān)線供電 。 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用應(yīng)急照明 。 在安全出入口 、 疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)疏散標(biāo)志 。 在專(zhuān)用消防口設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈 。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng) ， 其防護(hù)等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 《 火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范 》 （ GB 50116） 的規(guī)定 。 當(dāng)防火分區(qū)面積超過(guò)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 《 建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范 》 （ GB50016） 規(guī)定的最大建筑面積允許值時(shí) ， 保護(hù)等級(jí)應(yīng)提高 為一級(jí) 。 潔凈廠房?jī)?nèi)火災(zāi)探測(cè)器的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 根據(jù)生產(chǎn)工藝布置和公用動(dòng)力系統(tǒng)的裝設(shè)情況 ， 潔凈生產(chǎn)區(qū) 、 技術(shù)夾層 、 機(jī)房 、 站房等均應(yīng)設(shè)火災(zāi)探測(cè)器 ， 其中潔凈生產(chǎn)區(qū) 、 技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)智能型探測(cè)器； 2 當(dāng)潔凈廠房防火分區(qū)面積超過(guò)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 《 建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范 》 （ GB 50016） 的規(guī)定時(shí) ， 在潔凈室 （ 區(qū) ） 內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入 新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置靈敏度小于 % obs/m的高靈敏度 早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)器； 3 在硅烷儲(chǔ)存 、 分配間 （ 區(qū) ） ， 應(yīng)設(shè)紅外線 — 紫外線火焰探測(cè)器； 4 潔凈生產(chǎn)區(qū) 、 走道和技術(shù)夾層 （ 不含不通行的技術(shù)夾層 ） 應(yīng)設(shè)置 手動(dòng)報(bào)警按鈕和聲光報(bào)警裝置 。 、規(guī)范中的強(qiáng)制性條文 潔凈廠房?jī)?nèi)下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置： 1 易燃 、 易爆 、 有毒氣體 、 蒸汽的使用場(chǎng)所 、 上下技術(shù)夾層和 氣體管道入口室等的管道閥門(mén)或接頭等易泄漏處； 2 易燃 、 易爆 、 有毒氣體的儲(chǔ)存分配間 （ 區(qū) ） ； 3 易燃 、 易爆 、 有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門(mén)箱內(nèi)； 4 電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝設(shè)備的易燃 、 易爆 、 有毒氣體接入閥門(mén)箱 和排風(fēng)管內(nèi) 。 潔凈廠房?jī)?nèi)氣體報(bào)警裝置的連鎖聯(lián)動(dòng)控制 ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 自動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)