【文章內(nèi)容簡介】 1 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計供水量的 30%； 2 干管流速 ≥； 3 不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于 6倍管徑； 4 干管適當部位應(yīng)設(shè)有清洗口； 5 管道系統(tǒng)必須密封 ， 不得有滲氣現(xiàn)象； 6 配備在線水質(zhì)檢測儀表； 7 對純水水質(zhì)要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán) 供水系統(tǒng)。 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷。除 壓縮空氣外的各類氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間； 當必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或雙層管。 、規(guī)范中的強制性條文 潔凈廠房內(nèi) ， 可燃氣體管道應(yīng)設(shè)置下列安全技術(shù)措施； 1 使用可燃氣體的潔凈室 （ 區(qū) ） 、 管廊 、 技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi) ， 在可燃氣體管道的易積聚處 ， 應(yīng)設(shè)氣體泄漏報警和事故排風裝置 ， 報警裝置與相應(yīng)的事故排風機聯(lián)鎖； 2 接至用氣設(shè)備的支管和放散管 ， 宜設(shè)阻火設(shè)施； 3 引至室外的放散管 ， 應(yīng)設(shè)防雷保護設(shè)施； 4 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。 可燃氣體和有毒氣體管道穿過潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的 管段應(yīng)設(shè)套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫。套管與管道之間應(yīng) 采取可靠的密封措施。 、規(guī)范中的強制性條文 氣體純化間 （ 站 ） 或 氣體入口室內(nèi) ， 設(shè)有氫氣等可燃氣體 純化裝置 或 管道時 ， 其 火災(zāi)危險 性應(yīng)按甲類確定 ， 并應(yīng)符合 下列規(guī)定： 1 靠外墻設(shè)置； 2 氫氣等可燃氣體引入管道上應(yīng)設(shè)自動切斷閥； 3 應(yīng)設(shè)有良好的自然通風 ， 并設(shè)有事故排風裝置； 4 設(shè)氣體泄漏報警裝置 ， 并與事故排風裝置聯(lián)鎖； 5 設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施 。 潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等 ， 應(yīng)設(shè)置下列安全技術(shù)措施： 1 管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴格的脫脂處理 。 2 設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施 。 3 氧氣引入管道上設(shè)自動切斷閥。 、規(guī)范中的強制性條文 潔凈廠房內(nèi)的特種氣體的儲存分配間應(yīng)以耐火極限不低于 不燃燒體的隔墻與潔凈室 （ 區(qū) ） 分隔 ， 隔墻上的門窗應(yīng)為乙級 防火門窗 。 可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置 ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 特種氣體鋼瓶應(yīng)設(shè)在具有連續(xù)機械排風的特氣柜中； 。 2 潔凈室 （ 區(qū) ） 設(shè)有閥門 、 裝配件的區(qū)域 ， 應(yīng)設(shè)置機械排風 、 氣體 泄漏報警裝置和氣體緊急切斷裝置； 3 排風機 、 泄漏報警 、 自動切斷閥均應(yīng)與應(yīng)急電源相連； 4 對一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時 ， 應(yīng)設(shè)多路閥門箱 ， 實現(xiàn)安全操作控制； 5 可燃性 、 氧化性特種氣體管道的設(shè)置應(yīng)遵守 、 規(guī)定 。 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房的建筑外的儲存區(qū)內(nèi) 。 其儲存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 儲存區(qū)至少三面是敞開的 ， 氣瓶固定在鋼制框架上； 2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄隔開 ， 其間的距離應(yīng)大于 ； 3 儲存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于 。 、規(guī)范中的強制性條文 潔凈廠房內(nèi)各種化學(xué)品儲存間 （ 區(qū) ） 的設(shè)置 ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 化學(xué)品儲存間 （ 區(qū) ） 的儲量不應(yīng)超過該化學(xué)品 24h的消耗量； 2 化學(xué)品按物化特性分類儲存 ， 當物化性質(zhì)不容許同庫儲存時 ， 應(yīng) 采用實體墻分隔； 3 危險化學(xué)品應(yīng)儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內(nèi) ， 與相鄰房間 以耐火極限大于 ； 4 危險化學(xué)品儲存 、 分配間宜靠外墻布置； 5 各類化學(xué)品儲存 、 分配間應(yīng)設(shè)機械排風 。 機械排風應(yīng)采用應(yīng)急 電源； 6 對于易產(chǎn)生爆炸的危險化學(xué)品儲存、分配間的地面，應(yīng)采用不 發(fā)生火花的防靜電地面。 、規(guī)范中的強制性條文 潔凈廠房內(nèi)采用容器傳送危險化學(xué)品時 ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 嚴禁在出入口 、 疏散走廊儲存 、 分配 。 潔凈廠房內(nèi)運送易燃化學(xué)品 的通道應(yīng)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)； 2 運送危險化學(xué)品的推車運載量不得超過 250L； 單個容器的容量 不宜超過 20L； 3 物理化學(xué) 特性不相容的危險化學(xué)品不得采用同一推車運送； 4 桶裝危險化學(xué)品的垂直運輸應(yīng)采用液壓升降裝置 。 當采用壓力罐輸送危險化學(xué)品時 ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 輸送系統(tǒng)設(shè)備 、 管道的材質(zhì) ， 應(yīng)與所輸送的化學(xué)品兼容； 2 壓力罐設(shè)置減壓通風口 ， 其排氣管應(yīng)接至安全區(qū)域； 3 輸送系統(tǒng)只容許采用氮氣增壓； 4 在分配和使用處設(shè)手動切斷閥 。 5 應(yīng)設(shè)有液位監(jiān)控和自動關(guān)閉裝置，并設(shè)置溢流應(yīng)對措施。 、規(guī)范中的強制性條文 液態(tài)危險化學(xué)品的儲存 、 分配間 ， 應(yīng)設(shè)置溢出保護設(shè)施 ， 并 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 儲存罐或罐組設(shè)保護堤 ， 其堤內(nèi)容積大于最大儲罐的容積； 保護堤的高度不低于 500mm； 2 甲 、 乙類液體與可燃液體相互接觸引起化學(xué)反應(yīng)的可燃液體 儲罐或罐組之間 ， 應(yīng)設(shè)隔堤 ， 隔堤不得滲漏；管道穿過隔堤時 應(yīng)采用不燃材料密封 。 3 應(yīng)設(shè)液體溢出報警及處理措施； 4 設(shè)置緊急淋浴和洗眼器。 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用 ， 應(yīng)按所輸送的化學(xué)品的 物理 化學(xué) 性質(zhì)確定 ， 并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料 。 、規(guī)范中的強制性條文 潔凈廠房內(nèi) ， 可燃氣體或液體的儲存 、 分配用房間的電氣設(shè)計 ， 應(yīng)根據(jù)可燃氣體或液體的特性 ， 按現(xiàn)行國家標準 《 爆炸和火災(zāi) 危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范 》 (GB50058)確定其爆炸危險區(qū)域 等級 。 潔凈室 （ 區(qū) ） 的主要生產(chǎn)用房間一般照明的照度值宜為 300～ 500lx； 輔助工作室 、 人員凈化和物料凈化用室 、 氣閘室 、 走廊等宜為 200～ 300lx。 潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 潔凈室 （ 區(qū) ） 內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明； 2 備用照明宜作為正常照明的一部份 ， 且不低于該場所一般照明 照度值的 20%； 3 備用照明的電源宜由變電所專線供電 。 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用應(yīng)急照明 。 在安全出入口 、 疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國家標準設(shè)疏散標志 。 在專用消防口設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈 。 、規(guī)范中的強制性條文 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警系統(tǒng) ， 其防護等級應(yīng)符合現(xiàn)行 國家標準 《 火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范 》 （ GB 50116） 的規(guī)定 。 當防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準 《 建筑設(shè)計防火規(guī)范 》 （ GB50016） 規(guī)定的最大建筑面積允許值時 ， 保護等級應(yīng)提高 為一級 。 潔凈廠房內(nèi)火災(zāi)探測器的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 根據(jù)生產(chǎn)工藝布置和公用動力系統(tǒng)的裝設(shè)情況 ， 潔凈生產(chǎn)區(qū) 、 技術(shù)夾層 、 機房 、 站房等均應(yīng)設(shè)火災(zāi)探測器 ， 其中潔凈生產(chǎn)區(qū) 、 技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)智能型探測器； 2 當潔凈廠房防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準 《 建筑設(shè)計防火規(guī)范 》 （ GB 50016） 的規(guī)定時 ， 在潔凈室 （ 區(qū) ） 內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入 新風前的回風氣流中應(yīng)設(shè)置靈敏度小于 % obs/m的高靈敏度 早期火災(zāi)報警探測器； 3 在硅烷儲存 、 分配間 （ 區(qū) ） ， 應(yīng)設(shè)紅外線 — 紫外線火焰探測器； 4 潔凈生產(chǎn)區(qū) 、 走道和技術(shù)夾層 （ 不含不通行的技術(shù)夾層 ） 應(yīng)設(shè)置 手動報警按鈕和聲光報警裝置 。 、規(guī)范中的強制性條文 潔凈廠房內(nèi)下列場所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置： 1 易燃 、 易爆 、 有毒氣體 、 蒸汽的使用場所 、 上下技術(shù)夾層和 氣體管道入口室等的管道閥門或接頭等易泄漏處； 2 易燃 、 易爆 、 有毒氣體的儲存分配間 （ 區(qū) ） ； 3 易燃 、 易爆 、 有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)； 4 電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝設(shè)備的易燃 、 易爆 、 有毒氣體接入閥門箱 和排風管內(nèi) 。 潔凈廠房內(nèi)氣體報警裝置的連鎖聯(lián)動控制 ， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 自動啟動相應(yīng)