cell工程工藝簡介ppt課件(編輯修改稿)
2025-09-18 21:51 本頁面
【文章內容簡介】 污染物的 除去性 M、 L Size Total，增加量在 50個以下 1回 /2周 洗凈能力確認 洗凈均一性 水回流，不發(fā)生 1回 /3Lot 再附著防止 靜電 基板內， 200V以下 1回 /1日 靜電破壞防止 摩擦后洗凈工藝管理項目 Cell工藝簡介 26 3. Cell中工程簡介 Cell工藝簡介 27 Spacer散布與固著 Spacer散布工程的工藝要求特性： 散布密度穩(wěn)定性：中心值 ?25p/ mm2 散布的均勻性 沒有 Spacer凝集體 Spacer散布工程的目的： 為在 ARRAY基板和 CF基板間形成均勻的盒厚，在 CF基板上均勻的散布顆粒狀的 Spacer。 Spacer固著工程的目的： 為避免 Spacer的位置受滴下的液晶流動的影響，通過加熱將已散布的 Spacer固著在 CF基板上。 Spacer散布工程的工藝要求特性： 液晶滴下時 Spacer不發(fā)生移動 在工藝過程中基板上不附著 US Cleaner不可去除的不純物 Cell工藝簡介 28 Spacer散布原理及裝置概要 Ｎ２高速気流 【ＳＵＳ配管斷面 】 在稱量皿中放入 Spacer， 通過 SUS配管中一定流量 的氮氣壓力將 Spacer抽送 至 NOZZLE進行散布。 （Ｖｅｎｔｕｒｉ ｔｕｂｅ現(xiàn)象 ） Spacer在高壓氮氣的作用下 在 SUS配管內與管壁摩擦碰撞 從而帶上負靜電，并分散開。 （ 計量部 ） Index Table 散布 Chamber （ 供給部 ） 圧送 （ 窒素 ） 秤量皿 SUS配管 散布１ 散布２ 散布４ 散布３ 散布 nozzle ● ● ● ● 散布用（ 4箇所） 圧送用（ 1箇所） 固定Ｎｏｚｚｌｅ 品種切替 條件変更 秤量皿 ＝ 秤量交換 Hopper Ｃｈａｍｂｅｒ単層構造：塩化 Vinyl內壁 高電圧印加 ?Ｓｐａｃｅｒ積層付著防止 Spacer通過固定的 NOZZLE 經(jīng)過 4次散布動作均勻的撒布 在整個 CF基板上 Cell工藝簡介 29 Spacer固著原理及裝置概要 Ｓｐａｃｅｒ本 體 表面 處理層 Ｇｌａｓｓ 表面 處 理 層 溶解固著 Ｇｌａｓｓ 原理 加熱 裝置構造 ＯＶＥＮ（１臺） Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｒｏｂｏｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｕｎｉｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｕｎｉｔ Ｂｕｆｆｅｒ ＆ Ｃｏｏｌｉｎｇ Ｕｎｉｔ Ｒｅｔｕｒｎ 無塵 恒溫槽 ＨＥＰＡ ＨＥＡＴＥＲ ＦＡＮ Ｓｉｄｅ＋Ｃｅｎｔｅｒ Ａｉｒ Ｂｌｏｗ ? Ｃｅｎｔｅｒ Ｂｌｏｗ：防止基板破裂 Ｃｅｎｔｅｒ Ｂｌｏｗ Ｓｉｄｅ Ｂｌｏｗ Cell工藝簡介 30 Seal（ 封框膠 ）涂布 Seal涂布 目的： ?連接 CF基板和 TFT基板 ?在 Seal中混入 Spacer,從而有利于控制周邊盒厚 ?防止液晶泄漏 ?有利于後工程的切斷 Seal涂布的工藝特點： Seal材 粘度 20Pa?S~700Pa?S 混合 Spacer材： 3~10um 涂布位置精度 80um 涂布幅 寬 涂布高度 2550um 斷面 積 精度 10% 最小 R描畫 涂布速度 MAX150mm/s（常用 為 20~100mm/s） 基臺移 動 幅度： X方向： 177。 330mm Y方向： +630mm,550mm Cell工藝簡介 31 ③ Syringe裝填 ① Seal材と Seal內 Spacer材の調合 ② 攪拌：５分間 ④ 脫泡 （遠心真空） ８０Ｐａ以下? ３．５時間 ⑤ 裝置 Set 回転數(shù)： 1600rpm Seal內 Spacer材 Seal容器 Seal 脫泡 Cell工藝簡介 32 配向膜 ＩＴＯ膜 Ａｇ 表示部 Ｃｏｒｎｅｒ部 過細 ? 液晶 泄漏 不均一 ? 液晶 泄漏 太り ? 切斷不良 過細 ? 液晶 泄漏 太寬 ? 切斷不良 正確 Ｓｅａｌ斷裂 ? 液晶 泄漏 ［Ｓｅａｌ ｃｏｒｎｅｒ部］ ［Ｓｅａｌ 直線部］ ［Ｓｅａｌ 終端部］ Seal外觀 Cell工藝簡介 33 Ag(銀膠 )涂布 銀膠涂布目的：
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