供輸半導(dǎo)體級一般氣體之配管工作程序文件(編輯修改稿)
2024-09-13 08:20 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 符合預(yù)先設(shè)計之長度擺設(shè)好並焊接之外觀目檢?充以壓力及進行氣密試驗於架設(shè)管線之現(xiàn)場中進行56純度提升完成並測試◎226。●以氮氣噴洗乾燥進行純度測試現(xiàn)場附 註 : ○◎● 焊接組裝過程 純度維持及處理過程 檢驗過程1) 材料檢查 材料一經(jīng)遞送到施工單位則必須立即就其訂單規(guī)格來檢驗是否合格?2) 臨時性潔淨(jìng)棚 現(xiàn)場臨時性潔淨(jìng)棚其潔淨(jìng)度較佳,因此所有的預(yù)作管線部份均需在臨時性潔淨(jìng)棚內(nèi)進行焊接?管線材料則需儲存於庫房中,以便於管理?3) 機械材料a) 在開始進行工作前,需先檢查使用的工具是否清潔?b) 每一管線於切割時必定使用切管器且要避免小碎片進入管中? 4) 切割完畢後的清洗 每一段切割至所需長度的管子,最後均需以氮氣噴洗之,以避免殘留的小碎片留在內(nèi)部?噴洗完後立刻以帽蓋覆在兩端開口,並以塑膠套膜包裝好儲存,直到需要安裝這些管線前再拆封? 5) 配管工作之預(yù)作a) 檢查並確定所需的材料?b) 實施試焊?c) 進行焊接工作 (一般為尾端對焊) ?d) 焊點的外觀部份需擦亮之?e) 確定預(yù)作的管子其長度與繪製圖或現(xiàn)場量測的相符?f) 以帽蓋將兩端封住? 6) 管材之清洗a) 管子需以通過高純度的氮氣噴乾內(nèi)部?b) 以帽蓋封住兩端後,再以塑膠套膜重覆包裝好儲存之? 7) 管線支架的裝設(shè)a) 支架的材質(zhì)由業(yè)主統(tǒng)一規(guī)定製作,且藉由裝配在天花板?牆緣?樑柱及設(shè)施等可固定管線之處?b) 支架的擺設(shè)位置需依現(xiàn)場實際狀況予以量測並架配之?c) 配管時需考慮管線工作處?氣體種類?維護及配設(shè)之美觀程度等?d) 管線之間的架設(shè)間距至少為20mm以上?e) 螺釘與螺帽基本為不銹鋼製品? 8) 管線架設(shè)工作a) 確定每一段製作的管子的編號符合它們要被擺放的位置無誤?b) 先予以擺放至要被架設(shè)的位置以確定其長度適合原來的設(shè)計?c) 使用塑膠方塊在末端支撐住,並小心使其保持的潔淨(jìng)度避免被破壞。點焊之?d) 使用自動焊接機對焊?e) 焊道的外觀部份需擦亮? 9) 使用自動焊接機的對焊法a) 處理管材的端面?凹槽斜角部份?b) 使用高純度的氬氣以設(shè)定好的流速循環(huán)通入管中?c) 將欲焊之兩管中心對準後沿圓周各點焊3~4處?d) 焊接尾端處覆以乾淨(jìng)塑膠袋,以隔絕大氣中之塵埃?水氣及不純物?e) 即使焊接完成,也要繼續(xù)通以氬氣保持循環(huán)狀態(tài),並使焊接處金屬基底降溫?f) 將焊接操作如電流?時間等記錄之?10） 如何焊接小口徑的配件(Micro Fitting) Micro Fitting需使用特殊夾具焊接之? 1) 外觀的目檢工作a) 檢查管子?配件?閥頭?法蘭?螺釘?螺帽?墊片及其附件與工程圖相符,以確定所完成的工作無誤。而後,貼上一指示流動方向?氣體名
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