【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 ?Sparc損壞 ? 剝離造成靶材和備品導(dǎo)通 ? 量測(cè)機(jī)臺(tái)異?；蛉藛T量測(cè)錯(cuò)誤 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 30 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 靶材更換後，真空異常之可能原因 ? 氣灑裝置異常 (螺絲未裝或未鎖緊 。O環(huán)損壞或未裝 ) ? 背板有坑洞傷痕 ? 靶材未裝好或鐵弗龍框架變形， O環(huán)不潔或受損 ? 腔室 上之 O環(huán)不潔或受損 ? 清機(jī)後東西未收拾完全 (如無(wú)塵布留在 腔室 … 等 ) ? 設(shè)備工程師保養(yǎng)不妥善 ? 背板 漏水 ? 其他 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 31 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 黃光技術(shù)簡(jiǎn)介 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 32 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 綱要 黃光工程基本概念 黃光製程流程簡(jiǎn)介 黃光設(shè)備功能簡(jiǎn)介 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 33 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 黃光工程基本概念 Negative Type Photo Resist Resist Coating Exposure amp。 Patterning Developing amp。 Pattern Forming Glass Substrate World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 34 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 黃光工程基本概念 Positive Type Photo Resist Resist Coating Exposure amp。 Patterning Developing amp。 Pattern Forming Glass Substrate 正型光阻所製作出來(lái)的 Pattern與光罩上的相同 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 35 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 黃光製程流程簡(jiǎn)介 (正型光阻 ) LD Cleaner Plasma B/F Slit Coater CP B/F HP (pre bake) Exposure Develop Stripper Etching Flipper HP (post bake) B/F Slit Coater B/F Flipper HP (pre bake) B/F ULD World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 36 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 黃光設(shè)備功能簡(jiǎn)介 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 37 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay Cleaner (溼式洗淨(jìng) ) Brush Area 毛刷洗淨(jìng) Jetspray 噴射灑水 (DIW1) MS 超高音波 (DIW2) Air Knife 空氣刀 基板行進(jìn)方向 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 38 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay Detergent Cleaner DETERGENT . AREA . 1 BRUSH AREA . 2 AIR KNIFE . TANK 上方噴嘴 下方噴嘴 AIR FILTER DRAIN DRAIN 廠務(wù)端 廠務(wù)給水 廠務(wù)端壓縮空氣 (CDA) 廠務(wù)給水 DETERGENT TANK UNIT DETERGENT TANK UNIT DRAIN ALKALINE 鹼性排氣 給水方向 排水方向 壓縮空氣方向 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 39 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay DIW Cleaner . WATER TANK 廠務(wù)給水 DRAIN 上方噴嘴 下方噴嘴 DRY CHAMBER . 2 . 1 . BRUSH DRAIN(2) AIR FILTER 廠務(wù)端壓縮空氣 (CDA) WET 濕氣排氣 給水方向 排水方向 壓縮空氣方向 WET 濕氣排氣 DRAIN(1) WET 濕氣排氣 (1) (1) (1) (2) BRUSH SHOWER (B) (B) (A) (C) 排水氣 BRUSH World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 40 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay Brush Area 基板可藉由刷洗的程序除去較大粒徑的異物 (?100μm) 。 毛刷旋轉(zhuǎn)方向可分為順時(shí)針與逆時(shí)針兩種。 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 41 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay JetSpray GasLiquidnozzle噴射灑水可除去中等粒徑的異物 (? 25μm) 。 噴射灑水洗淨(jìng)又稱為二流體 (liquid + gas)洗淨(jìng)。 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 42 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 超音波洗淨(jìng)的功能 超高音波洗淨(jìng)可除去細(xì)微粒徑 (? 10μm) 的異物。 超高音波洗淨(jìng)主要機(jī)制如下： (1)超高音波震動(dòng)子震動(dòng) (2)水分子獲得能量 (3)水分子到達(dá)基板 (4)除去基板表面微細(xì)異物 (5)能量由基板表面?zhèn)髦帘趁? (6)藉由背面潤(rùn)濕除去微細(xì)異物 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 43 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay Cavitation Jet (CJ) 利用小氣泡沾附於 Particle，當(dāng)聚集成較大的氣泡時(shí)，可藉由浮力將其帶走。 SubstrateSubstrateWorld Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 44 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay Air Knife 空氣刀主要用來(lái)除去基板表面的水膜，避免因表面殘留的水痕造成後續(xù)製程 Mura的產(chǎn)生。 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 45 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公