模塊化學習微波系統(tǒng)(編輯修改稿)
2025-08-31 17:24 本頁面
【文章內容簡介】 為了提高太陽能電池的轉換效率，減少陽光的反射，需要在硅片表面鍍上一層 Si3N4 膜，硅片表面的反射光，遇到膜后，一部分又被反射回硅片表面，因此轉化效率得以提高． 微波系統(tǒng)通過天線發(fā)射微波，使得反應氣體 （ ＮＨ ３ 、 SiH4)在硅片表面發(fā)生化學反應在表面沉積 . 11 微波系統(tǒng)結構 12 電源 冷卻水溫度監(jiān)視 13 微波電源 RS232通訊串口 CANBUS總線接口 CANBUS總線地址 冷卻風機 接地 主電源和控制電源 冷卻水 冷卻水溫度監(jiān)視 14 微波發(fā)生器 15 等離子槽／微波天線 16 常見故障 定期清洗氧化硅 干法刻蝕 干法刻蝕高頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)結構 系統(tǒng)結構：由真空管路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、反應室、壓力控制系統(tǒng)、 SY型射頻功率源、電源供電及控制部分組成 。 18
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