【文章內(nèi)容簡介】 上述【源瓶工藝過次數(shù)（提示）】 【進出片進漿門未打開】 到爐管內(nèi)放舟（或到爐管內(nèi)取舟），在規(guī)定時間內(nèi)，系統(tǒng)未檢測到爐門打開?？赡茉颍和浦畚恢貌徽_（不在平移原點、進舟時不在上下上位、出舟時不在上下下位），禁止打開爐門；爐口傳感光電開關(guān)檢測有誤（有信號送至PLC的輸入端X31），禁止打開爐門；爐門打開到位檢測開關(guān)檢測有誤（X11或X13） 【進片出漿起始位置未到】 將石英舟放到爐管內(nèi)，在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到推舟到達平移原點（處于上下下位）?？赡茉颍嚎赡茉颍哼M片步（一般為工藝第二步）的時間設(shè)置短（可設(shè)置300左右）；進片步（一般為工藝第二步）中平移速度設(shè)置?。稍O(shè)置2800+）；推舟導(dǎo)軌上有雜質(zhì)，加大推舟運行中的阻力，影響平移速度；平移馬達程序錯誤；光電檢測開關(guān)損壞 【出片進漿終點位置未到】 到爐管內(nèi)取出石英舟，在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到推舟到達平移終點（處于上下下位）?？赡茉颍撼銎剑ㄒ话銥楣に囎詈笠徊剑┑臅r間設(shè)置短（可設(shè)置300左右）；出片步（一般為工藝最后一步）中平移速度設(shè)置小（可設(shè)置2800+）；推舟導(dǎo)軌上有雜質(zhì)，加大推舟運行中的阻力，影響平移速度；平移馬達程序錯誤；光電檢測開關(guān)損壞；在推舟到達平移終點前，導(dǎo)軌上的限位塊卡死推舟 【進片進漿起始位置未到】 到爐管內(nèi)放石英舟，在規(guī)定時間內(nèi)，未在原點檢測到推舟（處于上下上位）。 可能原因：將石英舟放到漿上時，放置位置不準確，對推舟有一個輕微的推力，將推舟推離原點；光電開關(guān)損壞 【進出片出漿門未關(guān)閉】 到爐管內(nèi)放舟（或到爐管內(nèi)取舟），在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到爐門關(guān)閉到位?？赡茉颍和浦畚恢貌徽_（不在平移原點、進舟時不在上下下位、出舟時不在上下上位），禁止關(guān)閉爐門；爐口傳感光電開關(guān)檢測有誤（有信號送至PLC的輸入端X31），禁止關(guān)閉爐門；爐門關(guān)閉到位檢測開關(guān)檢測有誤（X12或X14） 【出片出漿起始位置未到】 到管內(nèi)取石英舟，在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到推舟到達平移原點（處于上下上位）?？赡茉颍簠⒄铡具M片出漿起始位置未到】 【進片進漿終點位置未到】 將石英舟放到爐管內(nèi)，在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到推舟到達平移終點（處于上下上位）?？赡茉颍簠⒄铡境銎M漿終點位置未到】 【出片進漿起始位置未到】 到爐管內(nèi)取石英舟，在規(guī)定時間內(nèi)，未在原點檢測到推舟（處于上下下位）。 可能原因：參照【進片進漿起始位置未到】 【時間到動作未完成等待】 在規(guī)定時間內(nèi)，系統(tǒng)檢測到未完成某個動作時出現(xiàn)（伴隨需要檢測動作執(zhí)行的黃燈報警出現(xiàn)）。3．爐管壓力整定 設(shè)置質(zhì)量流量計參數(shù)（見附錄B） 打開爐門，調(diào)節(jié)Pb值到顯示為500 關(guān)閉爐門，根據(jù)工藝壓力要求設(shè)置壓力（例如520） 觀察爐管內(nèi)壓力變化，調(diào)節(jié)排廢手動閥門，到檢測到的爐管內(nèi)的壓力值和設(shè)定值相同4．機械手調(diào)試5．軟著陸調(diào)試 輸入步進驅(qū)動器（上下）程序（見附錄D） 斷開推舟和平移電機之間的連接，將平移和上下運行的機械限位的限位塊松開 依靠機械手，將同一臺機器的數(shù)根槳處于同一條直線上（其偏差不超過2mm）。使推舟處于下限位時，手動將槳推入爐管，需要槳和爐管處于平行位置。如下圖所示：5mm石英管SiC槳 將推舟升至“上限位”（當槳上有石英舟時可以如下圖所示情況進入爐管，定此時為“上限位”光電開關(guān)的位置，此時 手動操作 畫面的【上下動作檢測】中的【位置】所顯示數(shù)值為 系統(tǒng)設(shè)置 畫面中【舟上升位置】的數(shù)值），手動將石英舟放到槳上，將石英舟推入爐管。 10mm石英管石英擋板石英舟托SiC槳 將推舟推至“前限位”光電開關(guān)處，使推舟運行至上述（）“下限位”光電開關(guān)處 觀察石英舟是否平穩(wěn)的放置，且石英舟在爐管內(nèi)處于水平位置。若石英舟傾斜放置于爐管內(nèi)，或未平穩(wěn)將石英舟放置，則需要再次進行調(diào)節(jié) 手動將槳退出爐管，觀察是否有擦腳（槳和石英舟的腳有摩擦）或刮舟（槳和石英舟底部有摩擦）現(xiàn)象 將推舟和平移點擊連接，在“工控機”的 手動操作 畫面中操作槳進入爐管內(nèi)取舟：在 手動操作 畫面的【舟大架移動】中的【速度】設(shè)置600，在 系統(tǒng)設(shè)置 畫面中設(shè)置【舟平移終點】為2100，然后在 手動操作 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】設(shè)置2100（對于已運行的機器，若 系統(tǒng)設(shè)置 畫面中已設(shè)置【舟平移終點】為 M ，則 手動畫面 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】也設(shè)置為 M ） 點擊 手動操作 畫面的【舟大架移動】中的【平移運行】，當推舟運動到上述（）“前限位”光電開關(guān)處時，推舟會停止運動，觀察此時 手動操作 畫面的【舟大架動作檢測】中的【位置】顯示數(shù)值N，將此時的N值“+ 2”作為 系統(tǒng)設(shè)置 畫面的【舟平移終點】的數(shù)值 在 手動操作 畫面的【上下電機設(shè)置】中的【速度】設(shè)置50，【UD位置】設(shè)置為上述（）所定數(shù)值，點擊 手動操作 畫面的【上下電機設(shè)置】中的【上下運行】，推舟運行到“上限位”光電開關(guān)處時推舟會停止運動 將 手動操作 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】設(shè)置“0”，點擊 手動操作 畫面的【舟大架移動】中的【平移運行】，當推舟運行到平移原點（“后限位”光電開關(guān)處）時，停止平移運動。至此，手動取舟完成（ – – – ） 注意事項 當推舟運行到“前限位”光電開關(guān)處時，在 手動操作 畫面的【舟大架檢測】中的【位置】顯示數(shù)值為 X ，在 系統(tǒng)設(shè)置 畫面中的【舟平移位置】數(shù)值為 Y ，若Y – X 5時，系統(tǒng)不會自動從“平移運行”狀態(tài)轉(zhuǎn)為“平移停止”狀態(tài)，若在工藝進舟/出舟時，系統(tǒng)不會繼續(xù)下一步動作 上下運行參照上述（），其中Y – X ，系統(tǒng)不會自動從“上下運行”狀態(tài)轉(zhuǎn)換為“電機停止”狀態(tài)5．爐管升溫 檢查熱偶是否放好且熱偶線接好 檢查溫控儀參數(shù)設(shè)置是否正確（具體參數(shù)見附錄A） 在工控機上設(shè)置溫度，檢查設(shè)置的五個溫度和五塊溫控表上顯示的溫度是否一一對應(yīng) 檢查爐體上L型鋁塊上的螺絲是否擰緊 檢查接觸器是否完好：在“工控機”旁邊的“加熱關(guān)”燈亮?xí)r，測量接觸器輸出端是否有電壓，無電壓為正常 在斷開爐體加熱熔斷器（100A熔斷器）的情況下，按下“加熱開”，觀察是否無誤（即無跳閘等異常情況），并檢查接觸器輸出的3相電無缺相現(xiàn)象且電壓穩(wěn)定（兩兩之間電壓均為交流380V，同時可檢查是否有某相線和零線接錯）。因此時處于強電狀態(tài)作業(yè)，因此，必須注意安全、小心操作！ 按下“加熱關(guān)”，將爐體加熱熔斷器接好 在“工控機”上設(shè)置五塊溫控表的溫度（200oC），按下“加熱開”，用鉗流表測量加熱導(dǎo)線上的電流，調(diào)節(jié)觸發(fā)板上的電容，當電流達到50~60A時即可 將5塊溫控表自整定（操作見附錄A） 檢查5個溫區(qū)和5塊溫控儀是否一一對應(yīng)。檢驗方法：觀察溫控表上用于指示電流的發(fā)光二極管亮燈情況（常亮則