【正文】 A14 按“SET”+“MODE”，按“SET”，到Pb（當(dāng)拉恒溫有溫度偏差時(shí)修改），到Add1修改為“1 /（2）/（3）/（4）/（5）”，到biti設(shè)置8E1（山武），到int1設(shè)置5。溫度檢測值（通過熱偶檢測）顯示在第一行，溫度設(shè)置值顯示在第二行，溫度目標(biāo)值（在做工藝時(shí)顯示）顯示在第三行【2】 冷卻水的進(jìn)出手動(dòng)閥【3】 推舟平移運(yùn)行設(shè)定值（紅色）和推舟平移運(yùn)行檢測值（白色）【4】 推舟上下運(yùn)行設(shè)定值（紅色）和推舟上下運(yùn)行檢測值（白色）【5】 管體。至此，手動(dòng)取舟完成（ – – – ） 注意事項(xiàng) 當(dāng)推舟運(yùn)行到“前限位”光電開關(guān)處時(shí)，在 手動(dòng)操作 畫面的【舟大架檢測】中的【位置】顯示數(shù)值為 X ，在 系統(tǒng)設(shè)置 畫面中的【舟平移位置】數(shù)值為 Y ，若Y – X 5時(shí)，系統(tǒng)不會(huì)自動(dòng)從“平移運(yùn)行”狀態(tài)轉(zhuǎn)為“平移停止”狀態(tài)，若在工藝進(jìn)舟/出舟時(shí)，系統(tǒng)不會(huì)繼續(xù)下一步動(dòng)作 上下運(yùn)行參照上述（），其中Y – X ，系統(tǒng)不會(huì)自動(dòng)從“上下運(yùn)行”狀態(tài)轉(zhuǎn)換為“電機(jī)停止”狀態(tài)5．爐管升溫 檢查熱偶是否放好且熱偶線接好 檢查溫控儀參數(shù)設(shè)置是否正確（具體參數(shù)見附錄A） 在工控機(jī)上設(shè)置溫度，檢查設(shè)置的五個(gè)溫度和五塊溫控表上顯示的溫度是否一一對應(yīng) 檢查爐體上L型鋁塊上的螺絲是否擰緊 檢查接觸器是否完好：在“工控機(jī)”旁邊的“加熱關(guān)”燈亮?xí)r，測量接觸器輸出端是否有電壓，無電壓為正常 在斷開爐體加熱熔斷器（100A熔斷器）的情況下，按下“加熱開”，觀察是否無誤（即無跳閘等異常情況），并檢查接觸器輸出的3相電無缺相現(xiàn)象且電壓穩(wěn)定（兩兩之間電壓均為交流380V，同時(shí)可檢查是否有某相線和零線接錯(cuò)）?？赡茉颍簠⒄铡具M(jìn)片出漿起始位置未到】 【進(jìn)片進(jìn)漿終點(diǎn)位置未到】 將石英舟放到爐管內(nèi)，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未檢測到推舟到達(dá)平移終點(diǎn)（處于上下上位）?？赡茉颍毫髁坑?jì)和工控機(jī)之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動(dòng)）；流量計(jì)通訊地址錯(cuò)誤（不止一個(gè)流量計(jì)通訊線連接好的情況下錯(cuò)誤點(diǎn)擊某個(gè)流量計(jì)初始化，或者流量計(jì)和所點(diǎn)擊的流量計(jì)初始化不一致） 【CDA低壓力報(bào)警】 CDA（壓縮空氣）壓力不夠。更換PLC后，需要先將推舟復(fù)位上下原點(diǎn)！ 【溫控儀連接障礙】 溫控儀和工控機(jī)之間的通訊斷開。 【溫度控制選擇】 【外控】：依靠外熱電偶控制溫度；【內(nèi)控】：依靠內(nèi)熱電偶控制溫度 【大氮】 顯示從大氮流量計(jì)流過的氣體流量，通過大氮流量計(jì)檢測 【擴(kuò)散氮】 參照上述【大氮】 【清洗氮】 和【擴(kuò)散氮】流量顯示同步，當(dāng)有擴(kuò)散氮流量輸入時(shí)，也有相等流量的【清洗氮】輸入。每次工藝結(jié)束，則系統(tǒng)自動(dòng)將石英管使用次數(shù)和磷源使用次數(shù)自動(dòng)加“1” 【爐管使用次數(shù)報(bào)警】 參照【源量使用次數(shù)報(bào)警】 【平衡壓力偏差】 檢測到的爐管內(nèi)的壓力和所設(shè)定的壓力之間的偏差值不能超過設(shè)定的此數(shù)值 注意事項(xiàng) 當(dāng)流量偏差報(bào)警設(shè)置“0”時(shí)，默認(rèn)為關(guān)閉“流量偏差報(bào)警”，此時(shí)，無論要求的流量和流量計(jì)檢測到的實(shí)際流量偏差多大，均無流量偏差報(bào)警 舟初始運(yùn)動(dòng) 【舟到平移起點(diǎn)】 使推舟運(yùn)動(dòng)到設(shè)定的平移原點(diǎn)數(shù)值位置處 【舟到平移終點(diǎn)】 參照上述【舟到平移起點(diǎn)】 【舟到上下上位】 參照上述【舟到平移起點(diǎn)】 【舟到上下下位】 參照上述【舟到平移起點(diǎn)】 注意事項(xiàng) 使用“舟初始運(yùn)動(dòng)”中的操作時(shí)，當(dāng)編碼器計(jì)數(shù)值到達(dá)各個(gè)設(shè)定數(shù)值，無論推舟有沒有到光電開關(guān)檢測到的位置，推舟運(yùn)行均結(jié)束 流量設(shè)置 【大氮量程】 設(shè)置N2流量計(jì)的量程。調(diào)軟著陸時(shí)設(shè)定 【舟下降位置】 設(shè)置推舟的上下原點(diǎn)位置。當(dāng)各個(gè)流量計(jì)分別初始化通訊正常后再將所有流量計(jì)的通訊線接上。DS300A擴(kuò)散爐控制軟件操作一、系統(tǒng)設(shè)置1. 系統(tǒng)設(shè)置 畫面2. 各部分功能 溫控方式設(shè)置 根據(jù)溫控表類型，若是山武的溫控表，則選擇“SDC串級控制”；若是RKC HA900的溫控表，則選擇“HA900串級控制”。當(dāng)流量計(jì)通訊紊亂時(shí)，需要將流量計(jì)初始化時(shí)，先將所有的流量計(jì)斷電，并將通訊線斷開，然后將所有流量計(jì)上電，待流量計(jì)預(yù)熱完成（依次亮燈：紅黃紅黃），然后將某個(gè)流量計(jì)的通訊線接上，點(diǎn)擊工控機(jī)上對應(yīng)的流量計(jì)初始化，接著拆掉此流量計(jì)的通訊線，接另外一個(gè)流量計(jì)的通訊線，并點(diǎn)擊其對應(yīng)的流量計(jì)初始化按鈕，依次類推。設(shè)置在“25”左右（在定位和安裝爐管時(shí)不能確保所有機(jī)器一致，因此會(huì)存在偏差）。 【源量使用次數(shù)報(bào)警】 設(shè)定數(shù)值N，自動(dòng)累積的磷源使用次數(shù)達(dá)到設(shè)定值N時(shí)，在 手動(dòng)操作 的黃燈報(bào)警中出現(xiàn)【源瓶工藝過次數(shù)（提示）】報(bào)警。 【管壁溫度檢測】 通過爐體上的外偶檢測靠近石英管管壁的5個(gè)溫區(qū)的溫度?？赡茉颍和浦厶幱谏舷尬?，但編碼器計(jì)數(shù)為“0”，舟狀態(tài)顯示“漿上有舟”（為按下“急?！卑粹o所致：因按下“急?！卑粹o后，上下編碼器和平移編碼器的計(jì)數(shù)值均清零），此時(shí)，可先在 系統(tǒng)設(shè)置 畫面的【舟狀態(tài)確認(rèn)】中更改當(dāng)前舟狀態(tài)，為“管內(nèi)無舟、漿上無舟”，然后點(diǎn)擊【復(fù)位上下原點(diǎn)】，再將推舟運(yùn)行到上限位，最后重新確認(rèn)石英舟狀態(tài)“漿上有舟、管內(nèi)無舟”；推舟處于下限位，舟狀態(tài)顯示“漿上有舟”（在漿上有舟的情況下手動(dòng)操作推舟運(yùn)行到下限位所致），此時(shí)，可先在 系統(tǒng)設(shè)置 畫面的【舟狀態(tài)確認(rèn)】中更改當(dāng)前舟狀態(tài)，為“管內(nèi)無舟、漿上無舟”，然后將推舟運(yùn)行到上限位，再重新確認(rèn)舟狀態(tài)“漿上有舟、管內(nèi)無舟”?？赡茉颍和鈬椭翙C(jī)器的氣體總量減少；流量計(jì)（或者單向閥）堵塞 【流量計(jì)連接障礙】 流量計(jì)和工控機(jī)之間的通訊斷開。可能原因：推舟位置不正確（不在平移原點(diǎn)、進(jìn)舟時(shí)不在上下下位、出舟時(shí)不在上下上位），禁止關(guān)閉爐門；爐口傳感光電開關(guān)檢測有誤（有信號送至PLC的輸入端X31），禁止關(guān)閉爐門；爐門關(guān)閉到位檢測開關(guān)檢測有誤（X12或X14） 【出片出漿起始位置未到】 到管內(nèi)取石英舟，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未檢測到推舟到達(dá)平移原點(diǎn)（處于上下上位）。若石英舟傾斜放置于爐管內(nèi)，或未平穩(wěn)將石英舟放置，則需要再次進(jìn)行調(diào)節(jié) 手動(dòng)將槳退出爐管，觀察是否有擦腳（槳和石英舟的腳有摩擦）或刮舟（槳和石英舟底部有摩擦）現(xiàn)象 將推舟和平移點(diǎn)擊連接，在“工控機(jī)”的 手動(dòng)操作 畫面中操作槳進(jìn)入爐管內(nèi)取舟：在 手動(dòng)操作 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【速度】設(shè)置600，在 系統(tǒng)設(shè)置 畫面中設(shè)置【舟平移終點(diǎn)】為2100，然后在 手動(dòng)操作 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【舟位置】設(shè)置2100（對于已運(yùn)行的機(jī)器，若 系統(tǒng)設(shè)置 畫面中已設(shè)置【舟平移終點(diǎn)】為 M ，則 手動(dòng)畫面 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【舟位置】也設(shè)置為 M ） 點(diǎn)擊 手動(dòng)操作 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【平移運(yùn)行】，當(dāng)推舟運(yùn)動(dòng)到上述（）“前限位”光電開關(guān)處時(shí)，推舟會(huì)停止運(yùn)動(dòng)，觀察此時(shí) 手動(dòng)操作 畫面的【舟大架動(dòng)作檢測】中的【位置】顯示數(shù)