光電測試技術(shù)-n(編輯修改稿)
2025-08-22 18:25 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 10P)(2???????ΨΨJII??s inπ2 rΨ ? 圓孔 會聚透鏡 接收屏 P I 2r fˊ 圓孔衍射 15 167。 61 激光衍射測試技術(shù)基礎(chǔ) 圓孔衍射 條紋序數(shù) ψ sinθ [2J1(ψ )/ ψ ]2 或 (Ip/I0) 光能分布 中央亮紋 第一暗紋 第一亮紋 第二暗紋 第二亮紋 第三暗紋 第三亮紋 0 = = = = = = 0 λ/2r λ/2r λ/2r λ/2r λ/2r 1 0 0 0 % 0 % 0 % 0 % 圓孔夫瑯和費(fèi)衍射條紋的極值位置及光強(qiáng)分布 16 167。 62 激光衍射測試方法 17 167。 62 激光衍射測試方法 間隙測量法 ? 間隙測量法是基于單縫衍射原理。 a)比較測量 b） 測量輪廓 c） 測量應(yīng)變 間隙測量法的應(yīng)用 參考邊 b 參考邊 工件 激光 b 參考物 試件 b 激光 激光 P 18 167。 62 激光衍射測試方法 間隙測量法 ? 間隙測量法的基本裝置示例 (P207圖 )。 11()k k k kk L k Lb b b k Lx x x x?????? ? ? ? ? ???絕對法 ()s in s in s in s inkkb b b k k N? ? ? ?? ? ? ? ????? ? ? ? ? ? ? ?分別是第 k個暗條紋在縫寬變化前后距中央零級條紋中心的距離 增量法 是通過某一固定的衍射角來記錄條紋的變化數(shù)目 ,kkxx?N?19 167。 62 激光衍射測試方法 反射衍射測量法 ? 反射衍射法是利用試件棱緣和反射鏡構(gòu)成的狹縫來進(jìn)行衍射測量的。 ??? kΦbb ??? )s in (2s in2θ P A A′ L 2b b 棱緣 鏡像棱緣 反射表面 接收屏 反射衍射法原理圖 xk φ ???????????s in2co s2LxxkLbkk20 167。 62 激光衍射測試方法 反射衍射測量法 ? θ角一般是任意的，測得某一入射角 θ位置的兩個 xk值代入公式，聯(lián)立解出 θ值和 b值。 ? 從實(shí)例可見，該法易于實(shí)現(xiàn)檢測自動化，其檢測靈敏度可達(dá) ～ 。 光電器件 磁盤 磁頭 θ
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