機(jī)械設(shè)備可靠性設(shè)計(jì)工作標(biāo)準(zhǔn)概述(編輯修改稿)
2024-08-10 22:30 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 1999年6月?！ ?. 目的 這份文獻(xiàn)通過提供測試半導(dǎo)體制造設(shè)備在制造環(huán)境中的三性（可靠性、有效性、可維護(hù)性）的標(biāo)準(zhǔn)，為設(shè)備的使用者和供應(yīng)商之間的溝通建立了一個通用基礎(chǔ)?！ ?. 范圍 這份文獻(xiàn)定義了設(shè)備的6種基本狀態(tài)。它包括了設(shè)備的任何時間所有可能的狀態(tài)。設(shè)備的狀態(tài)由其功能狀況決定，而不管操作者是誰。在這里所做的對設(shè)備可靠性的測試強(qiáng)調(diào)的是對正在使用中的設(shè)備的突然中斷，而不是對設(shè)備的所有時間?！ ?本文獻(xiàn)第三節(jié)（設(shè)備狀態(tài)）定義了如何對設(shè)備時間分類。第六節(jié)（三性測試）定義了測試設(shè)備狀態(tài)的公式。第七節(jié)（不確定測試）另外給出方法用來評估所得數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)意義。 有效的應(yīng)用這份規(guī)范需要設(shè)備的工作遵循它的周期及或時間。自動監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)是標(biāo)準(zhǔn)SEMIE58中的內(nèi)容，并不在本規(guī)范中。設(shè)備使用者與供應(yīng)商之間清晰有效的溝通將持續(xù)提高設(shè)備的工作狀況?！ ?在這份規(guī)范中的三性的指數(shù)可以直接運(yùn)用于整個設(shè)備的非成套工具和子系統(tǒng)水平級。三性指數(shù)可以適用于子系統(tǒng)水平（例如過程模塊）的多路徑組工具。 這份標(biāo)準(zhǔn)雖然有提到安全事宜，但目的并不旨在追求這個方面。它將是這個標(biāo)準(zhǔn)使用者的責(zé)任來建立合適的安全和健康條款，以及在使用前決定限制章程的運(yùn)用?！ ?. 參考標(biāo)準(zhǔn) SEMIE58自動化的可靠性、有效性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn) 注釋1：本文列出的所有文獻(xiàn)都使用其最新的適應(yīng)版本。 4.術(shù)語 輔助 在一個設(shè)備周期中設(shè)備工作突然中斷時發(fā)生，它有以下三種情況： c 通過外部干涉使中斷的設(shè)備周期繼續(xù)。（比如通過操作工和使用者的干涉，無論它是人或電腦。） c 除了一些特殊的消耗品，零件不可替換?！ ? c 在設(shè)備操作規(guī)范方面沒有進(jìn)一步改變?！ ?成組工具 由機(jī)械地連接在一起的集成過程模塊組成的制造系統(tǒng)。（這些模塊可能來自于同一或不同供應(yīng)商） 單路徑成組工具 只有一條流水線的成組工具?！ ?多路徑成組工具 超過一條獨(dú)立流水線的成組工具。（比如，多負(fù)荷閘、同樣型號的多流程單元室） 周期（設(shè)備周期） 一個設(shè)備系統(tǒng)或子系統(tǒng)的完全操作過程（包括裝卸產(chǎn)品），有流程、制造、測試步驟。在一個單元流程系統(tǒng)中，周期數(shù)等于流經(jīng)的單元數(shù)。在多批系統(tǒng)中，周期數(shù)等于批量數(shù)?！ ?停工時間（設(shè)備停工時間） 設(shè)備不在工作狀態(tài)或沒有執(zhí)行到它應(yīng)有水平的時間，不包括任何不在計(jì)劃安排上的時間。 故障（設(shè)備故障） 在沒有外來干涉下發(fā)生的意外故障或偏離。 注釋2：正確分類設(shè)備故障對于方便解決問題和提高設(shè)備能力是非常重要的?！ ?宿主 聯(lián)系設(shè)備的智能系統(tǒng)，作用相當(dāng)于代表工廠領(lǐng)導(dǎo)下屬的制造主任。（比如，一個非植入的計(jì)算機(jī)或單元控制器） 中斷任何干預(yù)和故障 注釋3：中斷＝干預(yù)之和＋故障之和 維修保證設(shè)備在預(yù)定功能狀態(tài)下工作。在本文獻(xiàn)
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