【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 防靜電等相應(yīng)措施。SJ3000292√雙套管輸送，防腐內(nèi)涂層。危險(xiǎn)相同的生產(chǎn)，宜集中或相鄰布置SJ3000292√對(duì)于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房，廠房?jī)?nèi)部應(yīng)采取便于清掃、刷洗以及防止毒物附著和積蓄的措施。SJ3000292√防泄漏收集采用二次容器。車(chē)間內(nèi)各種明溝，應(yīng)加設(shè)蓋板。SJ3000292√生產(chǎn)過(guò)程中工作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車(chē)間應(yīng)設(shè)置洗衣房。SJ3000292√設(shè)洗衣房。凡使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行化學(xué)清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。SJ3000292√有下列情況之一時(shí)，排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)系統(tǒng)：混合后能引起燃燒或爆炸時(shí)； （1）混合后能引起燃燒、爆炸時(shí)； （2）易燃易爆工作間排風(fēng)與一般工作間排風(fēng)。SJ3000292√均設(shè)置獨(dú)立排風(fēng)。氫氣、煤氣管道，在末端、最高點(diǎn)等處應(yīng)設(shè)置放散管，放散管應(yīng)高出屋頂；放散管上應(yīng)設(shè)阻火器。SJ3000292√潔凈廠房?jī)?nèi)用于硅烷等容易自燃?xì)怏w的風(fēng)管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過(guò)防火處理的專(zhuān)用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。SJ3000292√雙層不銹鋼、酸堿風(fēng)管采用ATC玻璃鋼涂層。4危險(xiǎn)化學(xué)品的使用、輸送與管理危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)按其類(lèi)別、性質(zhì)分類(lèi)、分堆、分間儲(chǔ)存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學(xué)危險(xiǎn)品，嚴(yán)禁混放在一起。SJ3000292√分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃?xì)怏w室等。支援車(chē)間分功能區(qū)。輸送危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備、附屬儀表、器材等，應(yīng)根據(jù)危險(xiǎn)介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。輸送腐蝕性較強(qiáng)的液體管道，不應(yīng)敷設(shè)在其它管道的上方，并不宜連接埋地敷設(shè)。SJ3000292√雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測(cè)。儲(chǔ)存有較強(qiáng)腐蝕性液體的設(shè)備應(yīng)設(shè)置必要的防溢出、防滲漏緊急處理設(shè)施。其基礎(chǔ)及周?chē)孛鎽?yīng)采取防腐蝕處理。SJ3000292√全封閉輸送機(jī)組，多種報(bào)警聯(lián)鎖裝置；周?chē)O(shè)置圍堰。對(duì)于輸送具有較強(qiáng)腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機(jī)械密封圈、法蘭、閥門(mén)易噴射泄漏處，應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)。SJ3000292√全封閉PLC程控泵組無(wú)泄漏。泵為全封閉型輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時(shí)，應(yīng)加以收集或處理，不得任意排放。SJ3000292√收集并加以洗滌。易燃、易爆的車(chē)間，應(yīng)采用易于清洗、撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火花的地面。SJ3000292√硅烷室、易燃室符合要求。有爆炸危險(xiǎn)的房間（如硅烷室、易燃?xì)怏w室、生產(chǎn)車(chē)間等），應(yīng)設(shè)置泄壓措施，安全出口不應(yīng)少于2個(gè)。其中一個(gè)直接對(duì)外，不超過(guò)100m2的房間可設(shè)一個(gè)出口。GBJ1687∽硅烷室設(shè)泄壓其余無(wú)，安全出口均不少于2個(gè)。危險(xiǎn)化學(xué)品使用場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置通訊、報(bào)警裝置，并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例第18條√設(shè)置應(yīng)急通訊、自動(dòng)、手動(dòng)報(bào)警裝置。應(yīng)在危險(xiǎn)化學(xué)品作業(yè)場(chǎng)所設(shè)置急救設(shè)施，并提供應(yīng)急處理的方法。工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)品規(guī)定第17條√設(shè)置應(yīng)急用品柜，提供處理方法。使用單位應(yīng)對(duì)盛裝、貯存危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備，采用顏色、標(biāo)牌、標(biāo)簽等形式，標(biāo)明其危險(xiǎn)性。工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)品規(guī)定第19條√儲(chǔ)存柜上均有標(biāo)識(shí)。丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近混合貯存，氧化劑應(yīng)單獨(dú)存放。GB156031995√單獨(dú)存放。廢棄、過(guò)期的化學(xué)危險(xiǎn)品及使用過(guò)的包裝容器必須妥善保管，不得隨意拋棄，依據(jù)危險(xiǎn)廢棄物的處置標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行處置。關(guān)于加強(qiáng)化學(xué)危險(xiǎn)物品管理的通知√使用危險(xiǎn)化學(xué)品，在天津市有關(guān)主管部門(mén)辦理了登記手續(xù)，并取得使用許可證。市安監(jiān)局、市經(jīng)委相關(guān)文件要求∽正申辦。有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識(shí)、專(zhuān)業(yè)技術(shù)的培訓(xùn)，經(jīng)考核合格，方可上崗作業(yè)?！段ｋU(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》第四條∽已組織，尚未培訓(xùn)。5有毒氣體控制裝置砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜，離子刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等使用有害氣體的作業(yè)點(diǎn)，應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。SJ3000292√使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間，宜設(shè)報(bào)警裝置及事故排風(fēng)。報(bào)警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應(yīng)定時(shí)進(jìn)行排風(fēng)。SJ3000292√設(shè)置報(bào)警聯(lián)鎖裝置及事故排風(fēng)。6電氣電氣裝置采用接地故障保護(hù)時(shí)，應(yīng)做總等電位聯(lián)接。SJ3000292√等電位連接。檢測(cè)和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣可能使生產(chǎn)、動(dòng)力設(shè)備造成重大事故時(shí)，必須有備用電、氣源。備用時(shí)應(yīng)根據(jù)工藝、動(dòng)力要求確定，一般不小于1530分鐘。SJ3000292√設(shè)發(fā)電機(jī)3臺(tái)，壓縮空氣備用氣源≥30min。停電或停氣時(shí)，調(diào)節(jié)閥的閥位應(yīng)處于安全位置。SJ3000292√消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動(dòng)防火門(mén)窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備，應(yīng)采用單獨(dú)的供電回路，并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時(shí)，應(yīng)仍保證消防用電。其配電設(shè)備應(yīng)有明顯標(biāo)志。SJ3000292√單獨(dú)設(shè)置供電回路，UPS、EPS、SP電源，在有爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)，敷設(shè)電氣線路的溝道、電纜或鋼管，在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞，應(yīng)采用非燃性材料嚴(yán)密堵塞。SJ3000292√防火水泥堵塞。電氣設(shè)備線路必須安全可靠,照明應(yīng)采用有防護(hù)罩的燈具。SJ3000292√線路穿管敷設(shè)，燈具有防護(hù)罩。在火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)，可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施。SJ3000292√設(shè)備、管道均采取靜電接地措施。在重點(diǎn)防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應(yīng)設(shè)計(jì)人體導(dǎo)除靜電裝置；并配備個(gè)人防靜電防護(hù)用品。HG2057195√設(shè)消除靜電離子發(fā)生器。7消防、報(bào)警設(shè)施建筑滅火器的配置應(yīng)按《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。GBJ1687√潔凈室及技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)。SJ3000292√生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警檢測(cè)系統(tǒng)。SJ3000292GB1280191√儲(chǔ)存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃?xì)怏w室等應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置、事故排風(fēng)及防爆設(shè)施。GBJ1687SJ3000292√設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)。潔凈廠房、有毒、易燃?xì)馄块g等可能散發(fā)可燃、可爆和有毒、有害氣體的場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置各種可燃、有毒、有害氣體檢漏報(bào)警裝置。SJ3000292√設(shè)置不同類(lèi)型報(bào)警裝置。8氣瓶安全使用使用氣瓶應(yīng)：采購(gòu)和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn)品，不使用超期未檢的氣瓶。必須到已辦理充裝注冊(cè)的單位或經(jīng)銷(xiāo)注冊(cè)的單位購(gòu)氣。氣瓶使用前應(yīng)進(jìn)行安全狀況檢查，對(duì)盛裝氣體進(jìn)行確認(rèn)。氣瓶放置地點(diǎn)不得靠近熱源和明火，應(yīng)保證氣瓶干燥。氣瓶立放時(shí)，應(yīng)采取防止傾倒的措施；夏季應(yīng)防止爆曬；嚴(yán)禁敲擊、碰撞；嚴(yán)禁在氣瓶上進(jìn)行電焊引??；瓶?jī)?nèi)氣體不得用盡，必須留有剩余壓力或重量。氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程第79條√各項(xiàng)措施齊備。磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼瓶，必須放置在設(shè)有排風(fēng)防護(hù)裝置的金屬柜內(nèi)。不工作時(shí)，應(yīng)有自動(dòng)定時(shí)排風(fēng)系統(tǒng)。SJ3000292√長(zhǎng)期通風(fēng)。9安全標(biāo)志凡容易發(fā)生事故危及安全的場(chǎng)所，應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志，必要處尚應(yīng)設(shè)置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號(hào)。SJ3000292√機(jī)臺(tái)、氣柜等均設(shè)置安全標(biāo)志。廠房、動(dòng)力站房的安全出口及疏散通道，應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。SJ3000292√安全標(biāo)志的涂色，應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行《安全標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。GB289382GB28941996√工業(yè)管路基本識(shí)別色應(yīng)符合：綠色：水鋁色：蒸氣棕色：易燃液體黃褐色：氣態(tài)或液態(tài)氣體（空氣、氧氣除外）紫色：酸或堿淺藍(lán)色：空氣或氧氣黑色：其它液體。GB723187∽未完全執(zhí)行本國(guó)標(biāo)。 單元的主要危險(xiǎn)因素SMIC中芯國(guó)際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜，同時(shí)使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ1687“生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)”為甲類(lèi)，因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險(xiǎn)因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。 已采取的主要安全技術(shù)、管理措施針對(duì)上述危險(xiǎn)有害因素，為了確保生產(chǎn)工藝及支援車(chē)間的安全運(yùn)行，企業(yè)已采取的安全技術(shù)措施主要有：1） 潔凈廠房、各類(lèi)溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級(jí)符合國(guó)家相關(guān)規(guī)范要求；2） 潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設(shè)置局部排風(fēng)，同時(shí)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警裝置、火災(zāi)排煙系統(tǒng)及應(yīng)急照明；3） 將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設(shè)置在獨(dú)立的房間內(nèi)，硅烷單獨(dú)設(shè)置在獨(dú)立的建筑物內(nèi)；4） 所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi)，氣柜帶有閥門(mén)盒和閥門(mén)屏，氣柜內(nèi)配備自動(dòng)的氮?dú)鈨艋到y(tǒng)。5） 有害氣體在氣柜、閥門(mén)盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)，所有探頭具有高敏度報(bào)警功能；6） 酸、堿、有機(jī)溶劑采用高純氮?dú)獬涮钊萜?，利用雙層管道輸送至使用點(diǎn)，在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測(cè)報(bào)警探頭，所有化學(xué)品盛裝容器、使用點(diǎn)均設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng)；7） 在危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存場(chǎng)所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置；8） 本單元消防、報(bào)警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。 問(wèn)題與建議為了保證系統(tǒng)能夠安全運(yùn)行，廠方采取了一些安全措施，基本能夠?qū)崿F(xiàn)安全生產(chǎn)。通過(guò)對(duì)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問(wèn)題，具體問(wèn)題和建議如下：1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃?xì)怏w室未設(shè)置泄壓設(shè)施，并且未按SJ3000292標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類(lèi)防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。2) 廢液收集罐上的平臺(tái)護(hù)欄需按標(biāo)準(zhǔn)要求修復(fù)；3) 應(yīng)按GB723187相關(guān)要求對(duì)工業(yè)管路涂敷基本識(shí)別色。SMIC中芯國(guó)際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險(xiǎn)因素是各類(lèi)可燃?xì)怏w、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車(chē)間、支援車(chē)間設(shè)計(jì)、施工以及各類(lèi)危險(xiǎn)化學(xué)品安全使用、儲(chǔ)存情況基本符合標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求；項(xiàng)目本質(zhì)安全程度較高，各項(xiàng)安全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過(guò)程中嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)?；瘜W(xué)品庫(kù)安全檢查表 序號(hào)檢查項(xiàng)目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注1基本要求化學(xué)危險(xiǎn)品及貯存數(shù)量，必須經(jīng)公安部門(mén)批準(zhǔn)。未經(jīng)批準(zhǔn)，不得隨意設(shè)置化學(xué)危險(xiǎn)品貯存?zhèn)}庫(kù)。GB156031995√危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存企業(yè)，應(yīng)當(dāng)分別向省、自治區(qū)、直轄市人民政府經(jīng)濟(jì)貿(mào)易管理部門(mén)和設(shè)區(qū)的市級(jí)人民政府負(fù)責(zé)危險(xiǎn)化學(xué)品安全監(jiān)督管理綜合工作的部門(mén)辦理登記注冊(cè)手續(xù)。國(guó)務(wù)院令第344號(hào)9條∽此項(xiàng)工作正在辦理過(guò)程中。貯存化學(xué)危險(xiǎn)品的倉(cāng)庫(kù)，必須配備有專(zhuān)業(yè)知識(shí)的技術(shù)人員。其庫(kù)房及場(chǎng)所應(yīng)設(shè)專(zhuān)人管理，管理人員必須配備可靠的個(gè)人安全防護(hù)用品。GB156031995√倉(cāng)庫(kù)配備有專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員，專(zhuān)門(mén)庫(kù)管人員配備有安全防護(hù)用品。貯存化學(xué)危險(xiǎn)品的建筑物，區(qū)域內(nèi)嚴(yán)禁吸煙和使用明火。GB156031995√全廠禁煙，區(qū)域內(nèi)不準(zhǔn)使用明火。貯存的化學(xué)危險(xiǎn)品應(yīng)有明顯的標(biāo)志，同一區(qū)域貯存兩種或兩種以上不同級(jí)別的危險(xiǎn)品時(shí)，應(yīng)按最高等級(jí)危險(xiǎn)物品的性能標(biāo)志。GB156031995√各儲(chǔ)存室門(mén)上標(biāo)有所存放物品的火災(zāi)等級(jí)、毒性等級(jí)，反應(yīng)活性等級(jí)及所屬物質(zhì)分類(lèi)（或禁忌物品種類(lèi)）的醒目標(biāo)志。2建筑物及設(shè)施化學(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)房的建筑耐火等級(jí)應(yīng)為二級(jí)，單層，建筑面積不大于750m2。GBJ1687√該倉(cāng)庫(kù)的建筑面積777m2，稍大于規(guī)范要求面積，視為合格?；瘜W(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)建筑耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)，防火間距不應(yīng)少于30m，消防通道必須保證暢通。SJ3000292√以T建筑物為中心，建筑物與庫(kù)區(qū)外的建筑物間距符合要求，消防通道暢通。貯存化學(xué)危險(xiǎn)品的建筑物，不得有地下室或其它地下建筑。GB156031995√沒(méi)有庫(kù)房或每個(gè)防火隔間的安全出口數(shù)目不宜少于2個(gè)。GBJ1687√庫(kù)房對(duì)外有2個(gè)出入口，每個(gè)儲(chǔ)存間除有一個(gè)與主走廊相通的門(mén)外，都有一個(gè)直接通向建筑物外的緊急疏散門(mén)?；瘜W(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)建筑設(shè)計(jì)，應(yīng)符合安全、防火規(guī)定。應(yīng)采取隔熱、通風(fēng)、防止陽(yáng)光直射措施，保證庫(kù)內(nèi)空氣流通、干燥涼爽，應(yīng)避免可燃?xì)怏w積聚，并根據(jù)物品的種類(lèi)、性質(zhì)，采取相應(yīng)的防爆、泄壓、防火、滅火、防雷、報(bào)警、調(diào)溫、防潮、消除靜電、防護(hù)圍堤等安全措施。SJ3000292√該條要求本庫(kù)都有相應(yīng)的安全設(shè)施給予保證，如不間斷排風(fēng)、報(bào)井、水噴淋滅火、防雷、消除靜電、腐蝕液體流散收集溝等，在下面分條檢查。貯存易燃、易爆化學(xué)危險(xiǎn)品的建筑，必須安裝避雷設(shè)施。GB156031995√倉(cāng)庫(kù)屋頂設(shè)有避雷設(shè)施并與接地體相連。化學(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)房，必須安裝通風(fēng)設(shè)備。GB156031995√庫(kù)房有單獨(dú)的通風(fēng)系統(tǒng)，其設(shè)施安裝于主走廊的夾層內(nèi)。化學(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)房，通排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有導(dǎo)除靜電的接