我國ic產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀發(fā)展前景與專用設(shè)備發(fā)展建議(編輯修改稿)
2025-07-25 18:25 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 煌。雖然今后增長(zhǎng)速度會(huì)趨于平穩(wěn)，但在世界上仍然是一騎絕塵。目前世界半導(dǎo)體公司冠蓋相望，不絕于途，紛至沓來，落戶大陸。國外甚至認(rèn)為集成電路生產(chǎn)在中國不成功，在世界其它地方也難以成功。未來的國內(nèi)市場(chǎng)需求是世界看好中國IC產(chǎn)業(yè)的主要原因。 2 我國IC專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀與前景 國內(nèi)集成電路專用設(shè)備行業(yè)現(xiàn)狀 當(dāng)前，電子信息產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為國民經(jīng)濟(jì)的第一大支柱產(chǎn)業(yè)，在電子信息產(chǎn)業(yè)巨大需求推動(dòng)下，我國集成電路產(chǎn)業(yè)迅速升溫，造就了半導(dǎo)體集成電路專用設(shè)備的龐大市場(chǎng)。作為集成電路制造基礎(chǔ)的支撐技術(shù)——集成電路生產(chǎn)設(shè)備迎來了良好的發(fā)展機(jī)遇。 改革開放以來，我國IC產(chǎn)業(yè)越來越受到重視，國家制定并實(shí)施了“七五”、“八五”、“九五”、“十五”計(jì)劃并組織實(shí)施了“908”、 “909”IC重大工程，先后建起多條國有、中外合資、外商獨(dú)資IC生產(chǎn)線，這些生產(chǎn)線的興建和發(fā)展，使我國IC設(shè)備得以迅速發(fā)展。 目前我國半導(dǎo)體專用設(shè)備的生產(chǎn)研制單位共有 60多家，其中涉足集成電路生產(chǎn)設(shè)備的廠、所約有20～30家，自主研制的集成電路專用設(shè)備達(dá)到上百個(gè)品種。半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)前道工序中的擴(kuò)散爐、快速熱處理設(shè)備、清洗機(jī)、勻膠顯影設(shè)備和部分光刻設(shè)備等；后道工序中的測(cè)試探針、劃片機(jī)、印字機(jī)、引線框架成型機(jī)、塑封機(jī)、部分模具；材料制備中的單晶爐、切片機(jī)、研磨拋光機(jī)、部分凈化設(shè)備和試驗(yàn)設(shè)備已經(jīng)日趨成熟。 在新品研發(fā)方面，中國電子科技集團(tuán)第四十五研究所以8英寸硅片加工的自動(dòng)切片機(jī)、自動(dòng)劃片機(jī)、自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)、6英寸雙面光刻機(jī)作為重點(diǎn)項(xiàng)目進(jìn)行突破， mm光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)，同時(shí)正在實(shí)施其后封裝設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地；中科院光電所開發(fā)的用于MEMS等領(lǐng)域的厚膠曝光機(jī)已形成系列產(chǎn)品，700廠也推出了平坦化MRIE設(shè)備、超凈工作臺(tái)、質(zhì)量流量控制器等新產(chǎn)品，蘇凈集團(tuán)的“九五”國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項(xiàng)目“亞微米級(jí)集成電路生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)”通過了國家驗(yàn)收，西北機(jī)器廠開發(fā)的6英寸勻膠顯影系統(tǒng)已在展覽會(huì)亮相，南光機(jī)器廠和北京儀器廠PVD和電子束蒸發(fā)方面也推出了新品，蘭新通信設(shè)備集團(tuán)公司研制的6英寸硅片研磨機(jī)、拋光機(jī)和倒角機(jī)等新產(chǎn)品已投放市場(chǎng)，銅陵三佳公司研制的MGP塑封模，適應(yīng)了集成電路的封裝要求，廣州愛斯佩克公司生產(chǎn)的高低溫測(cè)試設(shè)備近年來也取得了良好的業(yè)績(jī)。 2001年我國的半導(dǎo)體設(shè)備銷售額為2億人民幣，國內(nèi)市場(chǎng)占有率約為3%。據(jù)悉2002年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額增長(zhǎng)1倍以上，約5億元左右，國內(nèi)市場(chǎng)占有率約5%，其中150毫米（6英寸）及其以下的半導(dǎo)體材料加工設(shè)備和后封裝設(shè)備是主要增長(zhǎng)點(diǎn)。據(jù)設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)預(yù)測(cè)，2003年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)將增長(zhǎng)40%以上。 2000年以來，我國新建、在建和籌劃中的集成電路生產(chǎn)線有10多條，已經(jīng)投入的建設(shè)資金大約是30億美元，預(yù)計(jì)還有30多億美元近期將陸續(xù)投入。這60億美元建設(shè)資金的投入意味著對(duì)集成電路專用設(shè)備的投資在40億美元以上。然而在2002年，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的全部銷售額僅為5億元。國內(nèi)市場(chǎng)的占有率有限，已引起了政府有關(guān)部門和有識(shí)志士的關(guān)切，正在尋求發(fā)展國產(chǎn)專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)和攻占國內(nèi)市場(chǎng)主導(dǎo)地位的對(duì)策，共謀發(fā)展策略，發(fā)展民族產(chǎn)
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