300mm半導(dǎo)體工廠的amhs系統(tǒng)(編輯修改稿)
2025-07-21 04:14 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 利用了潔凈室的空中區(qū)域，所以這種解決方案在300mm半導(dǎo)體工廠里的應(yīng)用非常廣泛，如圖3所示。AMHS系統(tǒng)的柔性設(shè)計(jì)在300mm半導(dǎo)體工廠內(nèi)，搬送軌道遍布整個(gè)車間，構(gòu)成了巨大且復(fù)雜的網(wǎng)絡(luò)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。雖然單個(gè)車輛個(gè)體或單一合分流的節(jié)點(diǎn)發(fā)生故障，對(duì)于軌道控制系統(tǒng)不會(huì)產(chǎn)生大的影響，但是這種單點(diǎn)故障若發(fā)生在交通繁忙的路段，或者較長(zhǎng)時(shí)間不能解決的時(shí)候，將會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的交通擁塞，并導(dǎo)致整體搬送效率急速下降，從而影響到整個(gè)工廠的生產(chǎn)。因此，300mm的AMHS軌道控制系統(tǒng)必須具備故障自我偵測(cè)和自我調(diào)整的柔性特點(diǎn)。當(dāng)某單一的軌道節(jié)點(diǎn)發(fā)生故障，軌道控制系統(tǒng)可以自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)的運(yùn)行參數(shù)，動(dòng)態(tài)響應(yīng)故障激勵(lì)，及時(shí)調(diào)整所有搬送車輛的運(yùn)行路線，并通知系統(tǒng)管理人員進(jìn)行緊急故障處理等功能。AMHS系統(tǒng)的性能分析和影響因素由于AMHS系統(tǒng)屬于較復(fù)雜的多元非線性系統(tǒng)，傳統(tǒng)的控制理論很難對(duì)其進(jìn)行準(zhǔn)確的分析和性能優(yōu)化。為了對(duì)AMHS系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化改善，首先需要確定可以準(zhǔn)確反映AMHS系統(tǒng)性能的指標(biāo)參數(shù)，并在此基礎(chǔ)上對(duì)那些關(guān)鍵性因素進(jìn)行模擬分析得出優(yōu)化方向，進(jìn)而在AMHS系統(tǒng)的實(shí)際運(yùn)行中加以驗(yàn)證，從而得到預(yù)期的優(yōu)化效果。分析AMHS系統(tǒng)性能的重要指標(biāo)在對(duì)AMHS系統(tǒng)進(jìn)行性能分析的時(shí)候，一般會(huì)從以下兩個(gè)方面進(jìn)行判斷：穩(wěn)定性：MTBF和MTTR是在衡量系統(tǒng)穩(wěn)定性方面最常用到的兩個(gè)參數(shù)。MTBF(Mean Time Between Failure)表示系統(tǒng)硬件的故障頻率，這個(gè)數(shù)據(jù)越低，表示系統(tǒng)的硬件越穩(wěn)定，故障率越低。而MTTR(Mean Time To Repair)表示系統(tǒng)硬件發(fā)生故障時(shí)候的修復(fù)時(shí)間，這個(gè)數(shù)據(jù)越低，表示系統(tǒng)硬件的可修復(fù)能力越高，可在線使用的能力越高。高效性：在衡量AMHS系統(tǒng)的搬送效率的時(shí)候，平均搬送時(shí)間和三西格瑪?shù)陌崴蜁r(shí)間是最常用到的兩個(gè)指標(biāo)。平均搬送時(shí)間是指在某單位時(shí)間段內(nèi)完成的所有搬送任務(wù)的平均搬送時(shí)間，而三西格瑪?shù)陌崴蜁r(shí)間則是借用了統(tǒng)計(jì)學(xué)上的一個(gè)概念：即在三西格瑪?shù)陌崴蜁r(shí)間內(nèi)完成的搬送任務(wù)的數(shù)量占到總體搬送量的三西格瑪（%）。在Full Auto作業(yè)模式下的這兩個(gè)指標(biāo)將直接關(guān)系到生產(chǎn)設(shè)備能否保證較高的生產(chǎn)利用率，甚至?xí)绊懙絎afer的Cycle Time。因此
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