300mm半導體工廠的amhs系統(tǒng)(編輯修改稿)
2025-07-21 04:14 本頁面
【文章內容簡介】 利用了潔凈室的空中區(qū)域，所以這種解決方案在300mm半導體工廠里的應用非常廣泛，如圖3所示。AMHS系統(tǒng)的柔性設計在300mm半導體工廠內，搬送軌道遍布整個車間，構成了巨大且復雜的網絡拓撲結構。雖然單個車輛個體或單一合分流的節(jié)點發(fā)生故障，對于軌道控制系統(tǒng)不會產生大的影響，但是這種單點故障若發(fā)生在交通繁忙的路段，或者較長時間不能解決的時候，將會產生嚴重的交通擁塞，并導致整體搬送效率急速下降，從而影響到整個工廠的生產。因此，300mm的AMHS軌道控制系統(tǒng)必須具備故障自我偵測和自我調整的柔性特點。當某單一的軌道節(jié)點發(fā)生故障，軌道控制系統(tǒng)可以自動調節(jié)系統(tǒng)的運行參數，動態(tài)響應故障激勵，及時調整所有搬送車輛的運行路線，并通知系統(tǒng)管理人員進行緊急故障處理等功能。AMHS系統(tǒng)的性能分析和影響因素由于AMHS系統(tǒng)屬于較復雜的多元非線性系統(tǒng)，傳統(tǒng)的控制理論很難對其進行準確的分析和性能優(yōu)化。為了對AMHS系統(tǒng)進行優(yōu)化改善，首先需要確定可以準確反映AMHS系統(tǒng)性能的指標參數，并在此基礎上對那些關鍵性因素進行模擬分析得出優(yōu)化方向，進而在AMHS系統(tǒng)的實際運行中加以驗證，從而得到預期的優(yōu)化效果。分析AMHS系統(tǒng)性能的重要指標在對AMHS系統(tǒng)進行性能分析的時候，一般會從以下兩個方面進行判斷：穩(wěn)定性：MTBF和MTTR是在衡量系統(tǒng)穩(wěn)定性方面最常用到的兩個參數。MTBF(Mean Time Between Failure)表示系統(tǒng)硬件的故障頻率，這個數據越低，表示系統(tǒng)的硬件越穩(wěn)定，故障率越低。而MTTR(Mean Time To Repair)表示系統(tǒng)硬件發(fā)生故障時候的修復時間，這個數據越低，表示系統(tǒng)硬件的可修復能力越高，可在線使用的能力越高。高效性：在衡量AMHS系統(tǒng)的搬送效率的時候，平均搬送時間和三西格瑪的搬送時間是最常用到的兩個指標。平均搬送時間是指在某單位時間段內完成的所有搬送任務的平均搬送時間，而三西格瑪的搬送時間則是借用了統(tǒng)計學上的一個概念：即在三西格瑪的搬送時間內完成的搬送任務的數量占到總體搬送量的三西格瑪（%）。在Full Auto作業(yè)模式下的這兩個指標將直接關系到生產設備能否保證較高的生產利用率，甚至會影響到Wafer的Cycle Time。因此
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