薄膜成膜技術(shù)ppt課件(編輯修改稿)
2025-06-08 13:55 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ，得 ，帶入上式， (3) 空氣分子的平均直徑為 ，在室溫 t=20 時， (4) 其中， P的單位是托， 的單位是厘米。當(dāng) 托時，空氣分子 的平均自由程為 50厘米。 一般蒸發(fā)設(shè)備的源 — 基距僅為十幾厘米，蒸發(fā)粒子從蒸發(fā)源向基片 渡越基本上是沿直線的。 PV N kT? PnkT?22kTP? ???0A 0C3 15 * 1 0P???? 410P ?? 以上討論可知，在常用的真空度 ( 托 )下，分子的平均自由程 遠大于源 — 基距，但在蒸發(fā)粒子總數(shù) N中總有一部分 與別的分子相 碰撞，這一部分粒子的自由程小于源 — 基距 ，碰撞幾率 可表示為： (5) 可見，僅當(dāng) 趨近于 0時， 才趨于 0，此時才不發(fā)生碰撞。 410P ??1Nl1 /NN1 1lNeN ????/l ? 1 /NN?當(dāng) 時，有 63%的粒子發(fā)生碰撞；而當(dāng) 時，只有 9%的蒸發(fā)粒子發(fā)生碰撞。 ?如果 ，為使 ， 應(yīng)為 300厘米，則 托。 ?常用蒸發(fā)氣壓在 托范圍內(nèi)。 /1l ? ?/ ? ?30l cm? / ? ?? 510P ??4710 ~ 10?? 在真空中加熱被蒸發(fā)的物質(zhì)，使物質(zhì)由固相轉(zhuǎn)變?yōu)橐合?，這一過程稱為熔解。在熔解過程中溫度保持不變，但要吸收熱量。 被蒸發(fā)物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)橐合嗪?，若繼續(xù)升高溫度，則開始蒸發(fā)，蒸發(fā)是發(fā)生在液相表面的汽化過程。溫度越高，真空室氣壓越低，蒸發(fā)越快。 若材料在密閉容器中蒸發(fā)，蒸汽壓強越來越大，蒸發(fā)速率則越來越小，最后達到飽和，單位時間內(nèi)液相變?yōu)闅庀嗟牟牧蠑?shù)量與從氣相返回液相的材料數(shù)量相等，這時的蒸氣壓強為恒值，稱為飽和蒸汽壓。 在一定溫度下，飽和蒸汽壓具有一定數(shù)值，同樣，一定的飽和蒸汽壓也必然對應(yīng)于一定的溫度。 飽和蒸汽壓 與溫度 的關(guān)系為： (6) 此方程稱為克拉伯龍 — 克勞修斯方程。式中 是蒸汽的摩爾體積， 是液體的摩爾體積， 是汽化熱，單位為卡 /摩爾，對一定材料來說為常數(shù)。 ? 因為 總是大于 ，所以 為正，即飽和蒸汽壓隨溫度的升高而增大。 ? 因為熔融狀態(tài)的金屬的摩爾體積比氣相時的摩爾體積小得多，可以認為 VP T
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