薄膜物理與技術(shù)ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-30 06:00 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 n d m????m為正整數(shù) 在此條件下，有 20sRnn??反射停止條件 薄膜的性質(zhì) —— 干涉效應(yīng) 布拉格反射器應(yīng)用廣泛 。 原理：層狀介質(zhì)結(jié)構(gòu)的反射率既取決于材料的折射率 ， 又取決于層狀結(jié)構(gòu)的周期性 。 22213221311NlNln nnnRn nnn??????? ??????????????????????1n2n3nln當 足夠大時 ， 反射率趨于 1。 N薄膜的性質(zhì) —— 干涉效應(yīng) 增透膜 ， 高反膜 ， 干涉濾光膜等 薄膜的性質(zhì) —— 表面散射 ★ 表面散射 研究薄膜表面對電子輸運影響的最完整的理論是Sondheimer建立的 ， 該理論描述了關(guān)于表面以及尺寸效應(yīng)對電導(dǎo)的影響 。 Sondheimer假定 ， 在和表面相碰撞的電子中 ， 發(fā)生彈性碰撞的幾率 （ ） ， 發(fā)生非彈性碰撞的幾率為( )。 在這種邊界條件下 ， 求解關(guān)于電子分布的波耳茲曼方程 ， 并計算出分布函數(shù) 。 p 01p??1 p?薄膜的性質(zhì) —— 表面散射 在線性響應(yīng)范圍 ， 即歐姆定律成立的范圍 。 電子散射的弛豫時間 ， 電場方向在膜表面之內(nèi) ， 并取電場的方向為 方向 ， 與膜表面垂直的方向為 方向 ， 分布函數(shù) 為： 在 方向的電流密度 和分布函數(shù)之間的關(guān)系為 0?xz ( , )xf z vx xj3( ) 2xxvmj z e v d vh??? ???? ?式中 ， e為電子電量 ， m為電子質(zhì)量 ， h為普朗克常數(shù) 。 積分范圍是在速度空間的全部體積內(nèi)進行 。 2363 ( 1 ) 1 1121sskk p k e dss s p s??????????? ? ??? ????薄膜的性質(zhì) —— 表面散射 式中 ， 為薄膜厚度 ， 為膜厚無窮大時電子的平均自由程 。 為膜厚無窮大時的電導(dǎo)率 。
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