材料測(cè)試技術(shù)ppt課件(編輯修改稿)
2025-06-08 08:49 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 ,所以同是從 P點(diǎn)發(fā)現(xiàn)的電子 ,當(dāng)張角不同時(shí) ,落在高斯平面的不同點(diǎn)上 。 假設(shè)張角最大的電子落在 P39。39。點(diǎn) ,在高斯平面上 ,所得到的象是以 P39。P39。39。為半徑的圓斑 。 軸上一物點(diǎn)的象成了有一定大小的圓斑 。 電子透鏡的主要象差 軸上象散 實(shí)際的透鏡磁場(chǎng)或電場(chǎng)不是理想的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱場(chǎng) ，這使得透鏡在不同方向上的焦距不相同 。 物點(diǎn) P在xz平面上成象于 Px點(diǎn) ,在yz平面上成象于 Py點(diǎn) ，使得一個(gè)物點(diǎn)所成的象是圓斑或橢圓斑 ， 圖象變得不清晰 。 軸上象散是影響電鏡分辨本領(lǐng)的主要象差之一 。 軸上象散 透鏡制造精度差和極靴、光闌的污染都能導(dǎo)致像散。 解決辦法：可以通過引入一強(qiáng)度和方位都可以調(diào)節(jié)的矯正磁場(chǎng)來進(jìn)行補(bǔ)償。在電鏡中，這個(gè)產(chǎn)生矯正磁場(chǎng)的裝置是消像散器。 電子透鏡的主要象差 色差 在光學(xué)中，由于光的顏色（具有不同波長(zhǎng)）的差異產(chǎn)生的象差稱色差。在電子光學(xué)中，電子透鏡成象也有色差。加速電壓的波動(dòng)以及陰極逸出電子能量的起伏，使得成象電子的波長(zhǎng)不完全相同，使透鏡的焦距發(fā)生變化。這種色差使得一個(gè)物點(diǎn)變成為某種散射圖形，影響了圖象的清晰度。 解決辦法：穩(wěn)定加速電壓和透鏡電流可減小色差 第二節(jié) 透射電子顯微鏡 電子顯微鏡包括：透射、掃描、發(fā)射和反射電子顯微鏡。 透射電子顯鏡縮寫為： TEMTransmission Electron Microscope 是最早發(fā)展起來的一種電子顯微鏡。 它具有如下優(yōu)點(diǎn)： 分辨本領(lǐng)高，并且具備能夠作電子衍射 分辨率 （晶格像 @100kV） 放大倍率 x 200 ~ x 200,000 高反差模式 x4,000 ~ x 600,000 高倍模式 x 50 ~ x 1,000 低倍模式 加速電壓 40~120（ kV步） 最大傾斜角 177。 30176。 （ 177。 70176。 可選） 數(shù)字相機(jī) 1,024x1,024像素 (2,028x2,048像素可選 ) 真空系統(tǒng) TMPx RPx1 電源 4kVA 日立 HT7700型透射電子顯微鏡 技術(shù)參數(shù)： ： ： ： 80, 100, 120, 160, 200kV ： 25 ： 200kV場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡 透射電子顯微鏡 基本結(jié)構(gòu) TEM是一種大型電子光學(xué)儀器。通常包括： 透射顯微鏡構(gòu)造原理和光路圖 （ a）透射電子顯微鏡 （ b）透射光學(xué)顯微鏡 電子光學(xué)系統(tǒng) 工作過程 ① 電子槍發(fā)出電子束 → ② 經(jīng)會(huì)聚透鏡會(huì)聚 → ③ 照射在試樣上并穿過試樣 → ④ 經(jīng)物鏡成象 → ⑤ 再經(jīng)中間鏡和投影鏡放大 → ⑥ 電子顯微象 (在熒光屏或照相底片上 ).
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