《材料測試技術(shù)》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 射電子顯微鏡 技術(shù)參數(shù)： ： ： ： 80, 100, 120, 160, 200kV ： 25 ： 200kV場發(fā)射透射電子顯微鏡 透射電子顯微鏡 基本結(jié)構(gòu) TEM是一種大型電子光學(xué)儀器。 它具有如下優(yōu)點： 分辨本領(lǐng)高，并且具備能夠作電子衍射 分辨率 （晶格像 100kV） 放大倍率 x 200 ~ x 200,000 高反差模式 x4,000 ~ x 600,000 高倍模式 x 50 ~ x 1,000 低倍模式 加速電壓 40~120（ kV步） 最大傾斜角 177。加速電壓的波動以及陰極逸出電子能量的起伏，使得成象電子的波長不完全相同，使透鏡的焦距發(fā)生變化。 解決辦法：可以通過引入一強(qiáng)度和方位都可以調(diào)節(jié)的矯正磁場來進(jìn)行補(bǔ)償。 電子透鏡的主要象差 軸上象散 實際的透鏡磁場或電場不是理想的旋轉(zhuǎn)對稱場 ，這使得透鏡在不同方向上的焦距不相同 。P39。由于透鏡光闌有一定大小 ,所以同是從 P點發(fā)現(xiàn)的電子 ,當(dāng)張角不同時 ,落在高斯平面的不同點上 。 實際上的電磁透鏡要求磁場集中，在結(jié)構(gòu)設(shè)計上必須考慮。電子束的聚焦裝置是電子透鏡。 ? 如用更厚樣品，更接近樣品實際情況。初速度的電子 ， 受到電位差為 V的電場加速獲得能量 ， 根據(jù)能量守恒原理 ， 假設(shè) V不太高 ， 電子獲得的動能為： 有 由 電子的波長為： 式中 e= 1019C為電子電荷； m=為電子質(zhì)量； V=為加速電壓。 與可見光相似 ， 運(yùn)動的電子也兼有波動性和微粒性 ， 即所謂波 、 粒二象性 。 任何運(yùn)動的微觀粒子伴隨著一個波 ?？梢姡氩ㄩL是光學(xué)玻璃透鏡可分辨本領(lǐng)的理論極限。 電子光學(xué)的發(fā)展 ? 19311933年， Ruska 等設(shè)計并制造了第一臺電子顯微鏡。第 7章 透射電子顯微分析 JEM2022透射電鏡 JEM200CX透射電子顯微鏡 第一節(jié) 電子光學(xué)基礎(chǔ) 眼晴的局限性 準(zhǔn)確性 、 靈敏性 、適應(yīng)性和精密的分辨能力 。 ? 1926年， Busch提出了用軸對稱的電場和磁場對電子束進(jìn)行聚集，發(fā)展成電磁透鏡。 阿貝 (Abbe .)定律 阿貝定律的意義 由阿貝定律知： 減小 r值的途徑有： (1)↑(物鏡的數(shù)值孔徑 )， 即 ↑n和 α (2)↓λ 當(dāng)用可見光作光源 ， 采用組合透鏡 、大的孔徑角 (即用高倍數(shù)物鏡 )以及高折射率介質(zhì)浸沒物鏡時 ， 數(shù)值孔徑 到 ～ ， 上式可簡化為： r
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