memes微光柵編碼器(編輯修改稿)
2025-05-28 22:25 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 。希望在功能和性能（分辨率 10nm）方面能達(dá)到與目前最高級(jí)產(chǎn)品同等的水平。由于采用了可成批大量生活殘的光刻集成一體化技術(shù)，打破了以前小型輕零花的界限（ 50nm區(qū)間）。 ? 可以在直徑 2in的基板上同時(shí)制作 8000個(gè)。照片 2示出的是放大的衛(wèi)星編碼器。倒 U字型上能看到的是對(duì)角型半導(dǎo)體激光器的一部分，在 U字中間的光電二極管，設(shè)置在它們前面的是將透鏡膜堆積后，腐蝕成透鏡形狀，在制成厚度約為 10um的微透鏡。其他部分則則為測(cè)量電源用的底座部。微編碼器的重量 , 制成商品時(shí)應(yīng)該帶著外殼 , 主體很輕 ,只有 ，所以，不容易受慣性的影響，高速響應(yīng)性好。 圖 2示出了微編碼器的原理圖。從有兩個(gè)全反射面的多角形半導(dǎo)體激光器兩端射出的兩束激光 , 通過(guò)微透鏡變成平行光 ,斜照射到微細(xì)凹凸周期排列的標(biāo)度衍射光柵上。此時(shí)所產(chǎn)生的衍射光 , 具有光柵一移動(dòng)其相位就發(fā)生變化的性質(zhì)。這時(shí) , 如果用被激光器包圍的中央部分的光電二極管干涉士次衍射光 , 就會(huì)象照片所示那樣 , 從其光電
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1