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正文內(nèi)容

pecvd班組的維護(hù)流程(編輯修改稿)

2025-05-04 06:26 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 4) 將石英管的另一端推入準(zhǔn)備好的另一個(gè)鋁制的罩帽中,同時(shí)將銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)管插入并定位于另外一個(gè)聚四氟乙烯梅花圈的中心位置圖2:完整的微波傳送系統(tǒng)拆卸石英管的過程:1. 先將微波連接器一端的銅質(zhì)天線向外拔出80mm后即可挪開該天線(見右圖)圖:在工作位置和維護(hù)位置配有銅質(zhì)天線的小型微波發(fā)射頭,碎斷距離大約15CM,一手掌的距離, (注意別傷到銅導(dǎo)管)碎斷的距離便于拆卸石英管。【注意別讓碎玻璃傷到手】,順時(shí)針是上緊,逆時(shí)針方向?yàn)樗尚腹に嚪磻?yīng)倉倉壁上的微波發(fā)射頭法蘭接口(1)
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