pecvd生產(chǎn)操作規(guī)程(編輯修改稿)
2025-03-30 18:27 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 工藝運(yùn)行 ?鼠標(biāo)點(diǎn)擊“ control”按鈕，彈出下拉菜單 ?點(diǎn)擊工藝“ stop”按鈕 ?點(diǎn)擊傳動(dòng)“ stop”按鈕 1/31/2023 20 關(guān)墻壁氣箱中特氣閥，特氣管路吹掃 ?關(guān)上位于墻壁氣箱中特氣閥 ?通知經(jīng)過培訓(xùn)的設(shè)備人員進(jìn)行特氣管路吹掃 1/31/2023 21 關(guān)掉真空泵，向腔體沖入N2 ?進(jìn)入“ system”狀態(tài)畫面，點(diǎn)擊“ pumps”控制按鈕，彈出下拉菜單 ?等待真空泵凈化 N2氣閥關(guān)閉 ?點(diǎn)擊三個(gè)真 空泵“ pump off”控制按鈕關(guān)掉真空泵 ?點(diǎn)擊反應(yīng)腔“ vent”控制按鈕 ,向機(jī)器腔體沖入凈化 N2，等待沖好指示燈點(diǎn)亮 1/31/2023 22 退出控制程序，關(guān)主電源 ?進(jìn)入“ service”狀態(tài)畫面，點(diǎn)擊系統(tǒng)中“ switch off”控制按鈕，計(jì)算機(jī)顯示回到winnt 畫面 ?進(jìn)行正常關(guān)計(jì)算機(jī)操作 ?用手按壓一下紅色急停按鈕，關(guān)閉主電源，拉出紅色急停按鈕復(fù)位 1/31/2023 23 關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)?、冷卻水 ?關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)忾y ?等十五分鐘后可關(guān)閉冷卻水，先關(guān)進(jìn)水閥，然后關(guān)回水閥 1/31/2023 24 1/31/2023 25 1/31/2023 26 Figure 10: Process chamber 1/31/2023 27 Figure 12: Gas system 1/31/2023 28 1/31/2023 29 1/31/2023 30 1/31/2023 31 1/31/2023 32 1/31/2023 33 1/31/2023 34 1/31/2023 35 1/31/2023 36 PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程 完 1/31/2023 37 ? 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 ,
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1