一pecvd原理及設(shè)備結(jié)構(gòu)(編輯修改稿)
2025-04-18 01:16 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 空系統(tǒng) ? 控制系統(tǒng) PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖 晶片裝載區(qū)：槳、 LIFT、抽風(fēng)系統(tǒng)、 SLS系統(tǒng)。 ? 槳：由碳化硅材料制成，具有耐高溫、防變形等 性能。作用是將石墨舟放入或取出石英管。 ? LIFT：機(jī)械臂系統(tǒng)，使舟在機(jī)械臂作用下在小 車、槳、儲(chǔ)存區(qū)之間互相移動(dòng)。 ? 抽風(fēng)系統(tǒng)：位于晶片裝載區(qū)上方，初步的冷卻石墨舟和一定程度的過(guò)濾殘余氣體 ? SLS系統(tǒng)：軟著落系統(tǒng)，控制槳的上下，移動(dòng)范圍在 2— 3厘米 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) 爐體：石英管、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng) ? 石英管：爐體內(nèi)有四根石英管，是鍍膜的作業(yè)區(qū)域，耐高溫、防反應(yīng)。 ? 加熱系統(tǒng)：位于石英管外，有五個(gè)溫區(qū)。 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) 冷卻系統(tǒng)： ? 是一套封閉的循環(huán)水系統(tǒng)，位于加熱系統(tǒng)的金屬外殼，四進(jìn)四出并有一個(gè)主管道，可適量調(diào)節(jié)流量大小。 冷卻系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn) : ? 沒(méi)有消耗凈室空氣 ? 不同管間無(wú)熱干涉 ? 爐環(huán)境的溫度沒(méi)有被熱空氣所提升 ? 空氣運(yùn)動(dòng)（通風(fēng)裝置）沒(méi)有使房間污染
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