vlsi系統(tǒng)設(shè)計ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-10 04:50 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 力使極板間距改變。導致 電容值改變 。 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 21） 集成微系統(tǒng) 集成陀螺儀 .2 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 22） 集成微系統(tǒng) 集成陀螺儀 執(zhí)行器 +傳感器 .2 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 23） 集成微系統(tǒng) 集成陀螺儀 執(zhí)行器 +傳感器 .2 MEMS陀螺 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 24） 集成微系統(tǒng) 集成陀螺儀 執(zhí)行器 +傳感器 .2 陀螺結(jié)構(gòu)與原理 哥氏力產(chǎn)生的非振動方向的運動引起梳齒相對運動。導致 電容值改變 。 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 25） 集成微系統(tǒng) 集成數(shù)字微鏡 DMD 執(zhí)行器 .2 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 26） 集成微系統(tǒng) 集成數(shù)字微鏡 執(zhí)行器 .2 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 27） 集成微系統(tǒng) 集成數(shù)字微鏡 執(zhí)行器 .2 單芯片投影系統(tǒng) 三芯片投影系統(tǒng) 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 28） 集成微系統(tǒng) 集成數(shù)字微鏡 執(zhí)行器 .2 DMD是 MEMS執(zhí)行器的應用示例，利用尋址方式控制靜電驅(qū)動方式工作。 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 29） 微弱信號處理 .3 ? 電容檢測 ? 壓阻檢測 ? 壓電檢測 ? 隧道檢測 ? 熱流式檢測技術(shù) ? 諧振式檢測技術(shù) ? 光纖式檢測技術(shù) 東南大學電子科學與工程學院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計 6 （ 30） 微弱信號處理 電容檢測 .3 ? 傳感電容～ pf量級，電容變化～ af量級 ? 噪聲～信噪比問題 ? 設(shè)計低噪聲，抗干擾能力強的微弱信號檢測電路是電容式傳感器的關(guān)鍵之一 ? 電容的微小變化量轉(zhuǎn)化為頻率，電流，電壓 … CF 、 CI、 PWM、 CV (電容電橋、開關(guān)電容法、電荷放大法 ) 東南大學電子科學與工程學
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