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正文內(nèi)容

vlsi系統(tǒng)設(shè)計(jì)ppt課件(編輯修改稿)

2025-02-10 04:50 本頁(yè)面
 

【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 力使極板間距改變。導(dǎo)致 電容值改變 。 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 21) 集成微系統(tǒng) 集成陀螺儀 .2 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 22) 集成微系統(tǒng) 集成陀螺儀 執(zhí)行器 +傳感器 .2 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 23) 集成微系統(tǒng) 集成陀螺儀 執(zhí)行器 +傳感器 .2 MEMS陀螺 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 24) 集成微系統(tǒng) 集成陀螺儀 執(zhí)行器 +傳感器 .2 陀螺結(jié)構(gòu)與原理 哥氏力產(chǎn)生的非振動(dòng)方向的運(yùn)動(dòng)引起梳齒相對(duì)運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)致 電容值改變 。 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 25) 集成微系統(tǒng) 集成數(shù)字微鏡 DMD 執(zhí)行器 .2 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 26) 集成微系統(tǒng) 集成數(shù)字微鏡 執(zhí)行器 .2 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 27) 集成微系統(tǒng) 集成數(shù)字微鏡 執(zhí)行器 .2 單芯片投影系統(tǒng) 三芯片投影系統(tǒng) 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 28) 集成微系統(tǒng) 集成數(shù)字微鏡 執(zhí)行器 .2 DMD是 MEMS執(zhí)行器的應(yīng)用示例,利用尋址方式控制靜電驅(qū)動(dòng)方式工作。 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 29) 微弱信號(hào)處理 .3 ? 電容檢測(cè) ? 壓阻檢測(cè) ? 壓電檢測(cè) ? 隧道檢測(cè) ? 熱流式檢測(cè)技術(shù) ? 諧振式檢測(cè)技術(shù) ? 光纖式檢測(cè)技術(shù) 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 VLSI系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6 ( 30) 微弱信號(hào)處理 電容檢測(cè) .3 ? 傳感電容~ pf量級(jí),電容變化~ af量級(jí) ? 噪聲~信噪比問(wèn)題 ? 設(shè)計(jì)低噪聲,抗干擾能力強(qiáng)的微弱信號(hào)檢測(cè)電路是電容式傳感器的關(guān)鍵之一 ? 電容的微小變化量轉(zhuǎn)化為頻率,電流,電壓 … CF 、 CI、 PWM、 CV (電容電橋、開(kāi)關(guān)電容法、電荷放大法 ) 東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)
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