化學(xué)沉銅原理及異常(編輯修改稿)
2025-02-09 10:59 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 應(yīng)注意滴液時間充分； 微蝕前后的銅面狀況 微蝕前 微 蝕后 成分及操作條件 : 預(yù)浸 主要成分： HCL 、 SnCL2 aq 比重： 溫度： 常溫 時間： 12 min 預(yù)浸 ? 功能 :防止板子帶雜質(zhì)污物進(jìn)入昂貴的鈀槽 。防止板面太多的水帶入鈀槽而導(dǎo)致局部水解； ? 預(yù)浸槽與活化槽除無鈀之外 ,其它成份完全一致； 預(yù)浸 注意點(diǎn)： ? 預(yù)浸液維護(hù)主要是槽液的比重和鹽酸含量；槽液的比重主要取決于亞錫離子和氯離子的含量，鹽酸主要是防止亞錫離子的水解和清洗板面氧化物； ? 預(yù)浸槽槽液一般按生產(chǎn)板平米數(shù)來添加更換，有時也用銅含量作為參考控制項(xiàng)目，一般銅含量控制在 1克 /升以下；開缸時多采用預(yù)浸液原液開缸，補(bǔ)充時采用預(yù)浸鹽； ? 板件從水洗槽取出進(jìn)入預(yù)浸槽前，應(yīng)注意減少滴水帶入，以免稀釋預(yù)浸液，降低槽液酸度，造成亞錫水解，槽液變混濁，同時也會污染活化槽；板件經(jīng)預(yù)浸槽后直接進(jìn)入活化槽； 成分及操作條件 : 活化 成分： SnCL2 .2H2O、 PdCL HCL、 H2O SnCL2 : 312g/l Pd含量 : 100160ppm 比重 : Cu2+≤1500PPM 溫度 : 4048℃ 時間 : 57 min 活化 ? 成份 :SnCl2 PdCl2 DI水 ? 功能 /原理 :表面顯負(fù)電性的鈀膠團(tuán)由于整孔性高分子的作用附著在孔壁 ,經(jīng)后續(xù)加速，最終使 Pd沉于孔壁。 Pd2++2Sn 2+ (PdSn2)6+ (PdSn2)6+ Pd+Sn4++Sn2+ Pd+nSn2++3nCl Pd(SnCl3)nn 活化 注意點(diǎn)： ? 鈀槽使用壽命較長，維護(hù)良好時，可使用 35年，槽液 100升一般按 50平米補(bǔ)加約 200300毫升膠體鈀 。 ? 鈀缸應(yīng)加裝過濾系統(tǒng)，注意過濾系統(tǒng)預(yù)槽液接觸處均應(yīng)無金屬存在，否則槽液會腐蝕金屬，繼而污染鈀缸，造成鈀缸報廢和生產(chǎn)板的質(zhì)量問題； ? 活化后水洗要充分，減少板面污染；板面水洗后，顏色應(yīng)均勻，無明顯孔口流液痕跡； 活化后的孔壁表面 成分及操作條件 : 加速 HBF4 5g/l CH3BH4 溫度 2030℃ 時間 45 min 加速 ? 功能 :剝?nèi)?Pd外層的 Sn4+外殼 ,露出 Pd金屬 ,清除松散不實(shí)的鈀團(tuán)或鈀離子 ﹑原子等。 ? 原理 :鈀膠團(tuán)粘附的板子 ,在經(jīng)水洗 ,在鼓氣的作用下 ,Pd粒外會形成 Sn(OH)4外殼 .通過 HBF4型加速劑使 SnCl Sn(OH) Sn(OH)Cl2等除去。 SnCl2+2HBF4→ Sn(BF4)2+2HCl Sn(OH)4+4HBF4→ Sn(BF4)4+4H2O Sn(OH)Cl+2HBF4 → Sn(BF4)2+HCl+H2O
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