vacuum機臺專用名詞(編輯修改稿)
2025-06-15 19:46 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 terconnects：多重金屬內(nèi)連線，因在晶座上制造兩層以上的金屬層而所需的導通方式 Multilevel metallization process：多層金屬化制程 MTBF:mean time between failure，平均故障周期時間 MTTR:mean time to repair，平均每次修復時間 MFC： mass flow controller，質(zhì)流控制器 MEA：剝離劑，剝除 PR防止 PR再附著 Monitor：例行測試 Merge：分批 Medium vacuum 中度真空 Mechanical booster pump 機械邦浦 Operation movement：站點轉(zhuǎn)移量 Oring O型環(huán) Passivation：保護層 Physical Vapor Deposition：PVD，物理氣相沉積 Photolithography：微影制程 Poly silicon：多晶硅，由多種不同結(jié)晶方向的單晶硅晶粒所組成的純硅物質(zhì) Post bake：烘烤的預烤 Peeling rate：剝離速率 Positive：正片 Priming：涂底 Pilot：試作 Polymer 聚合物 Pumping speed 抽氣速率 Preexposure bake：曝光前的預烤 Pilo valve：專門控制氣體是否輸入氣動閥的開關(guān) Process gas：制程氣體 Pressure relief valve：舒壓閥，用于調(diào)節(jié)管件內(nèi)壓力 PVC：塑膠管 PR： photo resist 光阻 PH3：氫化磷 Pass Room：空氣緩沖室 Power Zone：設(shè)備維修間 Priority：派工級數(shù) Reliability：可靠性 Rush：快件 Route：生產(chǎn)涂程 Rework：重工 Release：解除 Recycle：內(nèi)部回收 Recipe：制程分發(fā) Radiation 輻射 Regeneration 再生 Rough vacuum 粗略真空 Sputtering deposition：濺鍍 Spike：尖峰，因硅對鋁有一定的固態(tài)溶解度而造成的 Suspector：晶座 SiH4： silane Spin dry：水洗之后，旋轉(zhuǎn)烘干的機臺或是動作 Stainless steel：不銹鋼管，用在與制程相關(guān)的制程氣體傳輸上 Stripper：剝離劑 Solvent：溶劑 Sensitivity:靈敏度 Supporting Room：生產(chǎn)支援室 SPEC. Limit：規(guī)格界限 SPC： statistic process control 統(tǒng)計制程管制 SWR：特殊工程需求 STB：投片 Scrap：報廢 Stage movement：階段轉(zhuǎn)移量 Split：分批 Scheduling：生產(chǎn)排程系統(tǒng) Stocker：保管庫 Teflon管：替代不銹鋼不便使用的制程液氮氣體傳輸場合 TLV： Threshold limit valu
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