vacuum機(jī)臺(tái)專用名詞-wenkub
2023-05-21 19:46:35 本頁面
【正文】 eexposure bake：曝光前的預(yù)烤 Pilo valve：專門控制氣體是否輸入氣動(dòng)閥的開關(guān) Process gas：制程氣體 Pressure relief valve：舒壓閥，用于調(diào)節(jié)管件內(nèi)壓力 PVC：塑膠管 PR： photo resist 光阻 PH3：氫化磷 Pass Room：空氣緩沖室 Power Zone：設(shè)備維修間 Priority：派工級數(shù) Reliability：可靠性 Rush：快件 Route：生產(chǎn)涂程 Rework：重工 Release：解除 Recycle：內(nèi)部回收 Recipe：制程分發(fā) Radiation 輻射 Regeneration 再生 Rough vacuum 粗略真空 Sputtering deposition：濺鍍 Spike：尖峰，因硅對鋁有一定的固態(tài)溶解度而造成的 Suspector：晶座 SiH4： silane Spin dry：水洗之后，旋轉(zhuǎn)烘干的機(jī)臺(tái)或是動(dòng)作 Stainless steel：不銹鋼管，用在與制程相關(guān)的制程氣體傳輸上 Stripper：剝離劑 Solvent：溶劑 Sensitivity:靈敏度 Supporting Room：生產(chǎn)支援室 SPEC. Limit：規(guī)格界限 SPC： statistic process control 統(tǒng)計(jì)制程管制 SWR：特殊工程需求 STB：投片 Scrap：報(bào)廢 Stage movement：階段轉(zhuǎn)移量 Split：分批 Scheduling：生產(chǎn)排程系統(tǒng) Stocker：保管庫 Teflon管：替代不銹鋼不便使用的制程液氮?dú)怏w傳輸場合 TLV： Threshold limit value，啟時(shí)限值 silane只需 能爆炸 Trouble shooting：故障排除 Turn Ratio：周轉(zhuǎn)率 Tour corridor：無塵室安全走道 Throughout：產(chǎn)速 TECN：短期工程變更通知 TAT：累計(jì)生產(chǎn)時(shí)間 Thermal conductivity gauge 熱導(dǎo)真空計(jì) Throughput 抽氣量，排氣量，氣流通量 UPW：超純水，阻抗達(dá) 18M ohm Uniformity：（ maxmin)/(max+min) Utilization：動(dòng)用率 Uptime：可供利用的時(shí)間 Ultrahigh vacuum 超高真空 Vacuum 真空 Vacuum stage 真空級 Vacuum system 真空系統(tǒng) Valve 閥門 roughing 粗抽閥 high vacuum 高真空閥 Vent 破真空 Waive：規(guī)格外放行品 Wait：待修 WIP：在制品 WAT：晶片接受測試 Window ： 視窗 Yield：良率 Vacuum Class 粗略真空（ rough vacuum）
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