vacuum機(jī)臺專用名詞-文庫吧
2025-04-20 19:46 本頁面
【正文】 DIW：去離子水，純水，阻抗達(dá) 16M ohm Desum：電漿預(yù)處理 Defect density：缺點(diǎn)密度 Down：設(shè)備故障 DIPC：站點(diǎn)周期時(shí)間 Discharge valve：排氣閥 Displacer：置換器 Direction detection sensor 方向檢測感應(yīng)器 Exposure 曝光 Ellipsometer 橢圓測量儀（ T, n) Epitaxy：磊晶 Exhaust：抽氣裝置 Electromigrate：電致遷移，因高電場流通下造成金屬原子沿材質(zhì)本身邊界向電子流方向移動造成斷路。 Electromigration resistance：抗電移能力 ESD：靜電放電 EDC：工程資料分析系統(tǒng) Effective pumping speed 有效抽氣速率 ELB Electric Breaker EMO Emergency Mechanical Off Switch Fab 晶圓廠 FTIR:Fourier Transform 紅外線光譜儀，測量鍵結(jié)強(qiáng)度 Facility Down：公用系統(tǒng)故障 Facility：公用系統(tǒng) FT：封裝后測試 Future Hold：預(yù)先扣留 FA：工廠自動化系統(tǒng) Forepump 前級邦浦 Freeze drying 冷凍干燥 Filament 燈絲 Gate valve：閘閥 Gowning Room：更衣室 Gas flow 氣流 Gauge 真空計(jì) Hook Up： hardware連結(jié)， gasamp。cable tray 組立 Homogeneous nucleation：均勻成核 Heterogeneous nucleation：非均勻成核 Hot alumium：熱鋁制程，在高于 400oC以上利用沉積鋁在高溫下所具備的較佳的表面遷移的特性，使濺鍍鋁對晶片表面幾何結(jié)構(gòu)的階梯覆蓋能力提升的多重金屬化制程方式。 HF：氫氟酸 HEPA：高效過濾器 Hot：急件 Halogen lamp 鹵素?zé)? High vacuum 高真空 Hot cathode 熱陰極 Inter lock：連鎖裝置 ITO：透光導(dǎo)電膜 InO 90%+SnO 10% 燒結(jié)而成的靶材電極 Idle：閑置 Interbay：工程間搬運(yùn)系統(tǒng) Intrabay：工程內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng) Ionization 電離 Isolation valve 隔離閥 Ion voltage 離子加速電壓 Ion source 離子源 Ion desorption 離子逸出 Ion detector 離子偵測器 Indium 銦 LD： loading Lend：借機(jī) Lot ID. ：料號 Liquid nitrogen 液態(tài)氮 Mercury Probe 水銀測量儀，測臨界電壓 Mos： MetalOxideSemiconductor，金屬氧化半導(dǎo)體 Metallization：金屬化制程 Multilevel in
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