機(jī)械設(shè)計(jì)制造及自動(dòng)化(機(jī)電)專(zhuān)業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文(完整版)
【正文】 路識(shí)別控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)旋轉(zhuǎn)到下一刻度位置，進(jìn)行下一位置的貼片工作，貼片完成由控制線路完成再次識(shí)別、旋轉(zhuǎn)、貼片的循環(huán)工作。推力角接觸軸承就是為解決軸在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中承受軸向和徑向力而設(shè)計(jì)的，此處采用推力角接觸軸承同樣很好的解決了主軸在工作中需承受不同方向力的受力問(wèn)題。此設(shè)計(jì)能達(dá)到的目的為： （ 1）兩只氣缸的配合使用，能保證機(jī)械手往上下左右四個(gè)方向運(yùn)動(dòng)的需要。 壓片氣囊設(shè)計(jì) 壓片氣囊的設(shè)計(jì)為一只金屬加工的圓形部件，圓形上部中心加工有與壓片氣缸活塞相配的內(nèi) 螺紋。壓頭往氣囊充氣的底面為均 勻網(wǎng)孔設(shè)計(jì)，這樣保證當(dāng)氣囊有壓扁的趨勢(shì)時(shí)，壓頭的排氣均勻的排出，保證與硅片接觸面各點(diǎn)的壓力相同，這樣的貼片平整度高。 ，控制線咱除主電路以外，其它控制線四季都采用 24V 控制線路，這樣人身和設(shè)備的安全有了更大的保障。 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 11 頁(yè)共 13 頁(yè) 4. 啟動(dòng)貼片機(jī)啟動(dòng)按鈕，不論取片機(jī)械手處于什么位置，些都會(huì)復(fù)位至硅片中心定位裝置上方，機(jī)械手的位置被傳感器識(shí)別。 11. 此時(shí)貼片設(shè)備部份操作以完成，按下舊陶瓷盤(pán)搬運(yùn)設(shè)備按鈕，將貼好片的陶瓷盤(pán)從貼片設(shè)備左邊搬離貼片機(jī)托盤(pán)，同時(shí)將在貼片過(guò)程中以加熱完成的陶瓷盤(pán)從貼片設(shè)備右邊搬至托盤(pán)。 這些正是我們?nèi)ジ玫难芯扛玫膭?chuàng)造的最大動(dòng)力，只 要是生產(chǎn)生活的需要就因該開(kāi)動(dòng)腦筋去解決， 并爭(zhēng)取盡快的掌握這些先進(jìn)的知識(shí)，更好的為祖國(guó)的四化服 務(wù)。再按啟動(dòng)按鈕，對(duì)陶瓷盤(pán)再次進(jìn)行貼片操作。 6. 然后機(jī)械手通過(guò)各部位傳感器完成，吸取硅片向上→保持吸住硅片向左→保持吸住硅片向下→斷開(kāi)真空閥放下硅片至陶瓷盤(pán)→機(jī)械手向上→向右到硅片中心定位裝置上方的循環(huán)動(dòng)作。防塵罩的材料選用透明 PVC 材質(zhì)，這樣營(yíng)造局部環(huán)境的同時(shí)，還能便于觀察設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。而且通過(guò)調(diào)壓閥將氣囊壓力小于壓片氣缸的壓力，氣囊內(nèi)壓力在受到氣缸壓力時(shí)，能將氣囊內(nèi)氣體壓回到管道或從固定位置漏掉，當(dāng)氣囊慢慢壓扁的同時(shí)，保證了會(huì)有一個(gè)平面與硅片接觸。進(jìn)氣使用調(diào)壓閥控制壓力，金屬加工件底部均勻加工有很多網(wǎng)孔狀壓縮空氣出氣口。 （ 3）使用吸盤(pán)和真空的設(shè)計(jì)，起到了機(jī)械手取片的目的，從而能夠自如搬運(yùn)硅片。整個(gè)定位裝置底部加工一圓周凸起設(shè)計(jì)，凸起的圓與錐形圓同心。 2． 主軸使用細(xì)牙螺紋聯(lián)接方式與中間的聯(lián)接件相聯(lián)，聯(lián)接件通過(guò)絲桿與托盤(pán)相聯(lián)接。如圖 42：此設(shè)計(jì)目的為： 利用減速電機(jī)和主從動(dòng)齒輪的變比，能控制陶瓷盤(pán)托盤(pán)的轉(zhuǎn)速。參與浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 5 頁(yè)共 13 頁(yè) 貼片全過(guò)程的部分舊設(shè)備控制也單獨(dú)控制，而不去改動(dòng)舊設(shè)備控制線路。 3． 取片時(shí)所用真空管道的設(shè)計(jì)。 2． 要有警急停止和暫停功能，及控制時(shí)的互鎖功能，保證工作和人身安全。 5176。 5． 要求操作安全，低成本，便于維修。 5． 人為操作生產(chǎn)工藝穩(wěn)定性差，工藝參數(shù)無(wú)法控制，產(chǎn)量和成品率太低。因需要在陶瓷盤(pán)未冷卻之前壓實(shí)硅片，此操作快速且要注意安全。 在使用自動(dòng)貼片 設(shè)備進(jìn)行操作中，除了陶瓷盤(pán)和拋光機(jī)必需的設(shè)備外，別的都不需要使用。本設(shè)備在自動(dòng)化設(shè)計(jì)方向，充分利用了中央廣播電視大學(xué)本科學(xué)習(xí)所掌握的機(jī)械自動(dòng)技術(shù)。 機(jī)械設(shè)計(jì)制造及自動(dòng)化（機(jī)電） 專(zhuān)業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 論文題目 硅單晶片有蠟拋光工藝自動(dòng)貼片設(shè)備設(shè)計(jì) 學(xué)生姓名 方勇華 學(xué) 號(hào) 20xx1330070981 指導(dǎo)教師 姜獻(xiàn)華 專(zhuān) 業(yè) 機(jī)械設(shè)計(jì)制造及自動(dòng)化（機(jī)電） 年 級(jí) 20xx 年 春 季 學(xué) 校 浙江電大 開(kāi)化分校 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 目 錄 第一章 硅拋光片基本概念和工藝介紹 ...................................... 1 硅單晶拋光片的定義 .............................................. 1 有蠟拋光片工藝常用配件簡(jiǎn)介 ...................................... 1 目前使用有蠟拋光片工藝簡(jiǎn)介及特點(diǎn) ................................ 2 第 2 章 本設(shè)計(jì)的任務(wù)和目的 .............................................. 3 自動(dòng)貼片的設(shè)計(jì)任務(wù)和目的 ........................................ 3 自動(dòng)與手動(dòng)貼片工藝對(duì)比 .......................................... 3 第 3 章 制定設(shè)備基本要求 ................................................ 3 完成生產(chǎn)需要的設(shè)備基本參數(shù)要求 .................................. 3 機(jī)械方向的基本要求 .............................................. 4 電氣方向的基本要求 .............................................. 4 管道設(shè)計(jì)的基本要求 .............................................. 4 第 4 章 根據(jù)設(shè)備基
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