【正文】 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計（ 論文 ） 第 1 頁共 13 頁 硅單晶片有蠟拋光工藝自動貼片設(shè)備設(shè)計 [摘要 ]： 當(dāng)今社會以進入了電子信息的時代，微處 理芯片的發(fā)明徹底改變了世界，微電子、信息技術(shù)的水平己被視為一個國家現(xiàn)代化水平的重要標(biāo)志。 在使用自動貼片 設(shè)備進行操作中，除了陶瓷盤和拋光機必需的設(shè)備外，別的都不需要使用。 5． 人為操作生產(chǎn)工藝穩(wěn)定性差，工藝參數(shù)無法控制，產(chǎn)量和成品率太低。 5176。 3． 取片時所用真空管道的設(shè)計。如圖 42：此設(shè)計目的為： 利用減速電機和主從動齒輪的變比，能控制陶瓷盤托盤的轉(zhuǎn)速。整個定位裝置底部加工一圓周凸起設(shè)計，凸起的圓與錐形圓同心。進氣使用調(diào)壓閥控制壓力，金屬加工件底部均勻加工有很多網(wǎng)孔狀壓縮空氣出氣口。防塵罩的材料選用透明 PVC 材質(zhì)，這樣營造局部環(huán)境的同時，還能便于觀察設(shè)備運行狀態(tài)。再按啟動按鈕，對陶瓷盤再次進行貼片操作。 11. 此時貼片設(shè)備部份操作以完成，按下舊陶瓷盤搬運設(shè)備按鈕，將貼好片的陶瓷盤從貼片設(shè)備左邊搬離貼片機托盤，同時將在貼片過程中以加熱完成的陶瓷盤從貼片設(shè)備右邊搬至托盤。 ，控制線咱除主電路以外，其它控制線四季都采用 24V 控制線路，這樣人身和設(shè)備的安全有了更大的保障。 壓片氣囊設(shè)計 壓片氣囊的設(shè)計為一只金屬加工的圓形部件，圓形上部中心加工有與壓片氣缸活塞相配的內(nèi) 螺紋。推力角接觸軸承就是為解決軸在運動過程中承受軸向和徑向力而設(shè)計的，此處采用推力角接觸軸承同樣很好的解決了主軸在工作中需承受不同方向力的受力問題。 圖 41 陶瓷盤旋轉(zhuǎn)托盤轉(zhuǎn)速和傳動的設(shè)計 陶瓷盤旋轉(zhuǎn)托盤的傳動設(shè)計，使用減速電機、主動齒輪和從動齒輪，利用金屬鏈條傳遞扭力，軸中心以外球面調(diào)心軸承固定。 管道設(shè)計基本要求 管道設(shè)計的基本要求有： 1． 局部環(huán)境凈化所需的排風(fēng)管徑和排風(fēng)量的計算。 第 3 章 設(shè)備 設(shè)計 要求 完成生產(chǎn)需要的設(shè)備基本參數(shù)要求 在硅單晶片有蠟拋光生產(chǎn)工藝過程中，有一些需要必需保證的參數(shù)，以保證不同規(guī)格的硅片貼片至拋光各工序工作的順利完成。 3． 兩名操作人員同時做下壓動作，難免出現(xiàn)配合不默契或用力不均，使硅浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計（ 論文 ） 第 3 頁共 13 頁 片表面與陶瓷盤表面的 平行度差。 3． 拋光機是拋光生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備：作用是固定并帶動貼有硅片的陶瓷旋轉(zhuǎn)，并能進行對陶瓷盤加壓、水、拋光液、拋光時間等一系列控制。 IC級硅單晶拋光片是半導(dǎo)體芯片和功率集成電路的主體功能材料，也是多種高能探測器和特殊功率器件等的主體功能材料。 目前使用有蠟拋光片工藝簡介及特點 硅單晶拋光工藝：是通過化學(xué)腐蝕和機械磨擦，從而獲得表面平整，無損傷的鏡面，以顯露出完美的晶體原子排列面，改善硅片如 TTV、 TAR、 STAR 等重要參數(shù)。 第 2 章 設(shè)計任務(wù)和目的 設(shè)計任務(wù)和目的 本設(shè)計目的和任務(wù)，就是使用一臺自動化機電設(shè)備，完成整個單晶硅片在陶瓷盤上的貼片工作，并且執(zhí)行的結(jié)果要比人工操作方法在操作和工藝方面要有所提高。 C，因不同直徑的硅片在陶瓷盤上貼的數(shù)量不同，要求每盤貼片數(shù)量可調(diào)， 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計（ 論文 ） 第 4 頁共 13 頁 機械 設(shè)計 基本 要求 根據(jù)機械整個運動過程，機械方面基本要求有： 1． 根據(jù)陶瓷盤上硅片需要承受最大 500N 左右的壓力，固定機架需要設(shè)計牢固和穩(wěn)定。 4． 機械運動所需空氣動力管道設(shè)計。 使用金屬鏈條的設(shè)計，能降低安裝精度，以便于零件的加工和安裝。如需生產(chǎn)不同直徑 規(guī)格的硅片時，需同時更換配用的此定位裝置，因目前生產(chǎn)常用硅片直徑為 4”、 5”和 6”，所以更換和加工并不會很麻煩。氣囊采用耐高溫硬橡膠類材料制做，氣囊整個包住圓形金屬件的地底，在金屬加工件外圓一周使用抱箍將橡膠固定。防塵罩的設(shè)計目的就是為了防塵，這樣能有效的減少環(huán)境內(nèi)顆粒進入到硅片與陶瓷盤之間的接觸面內(nèi)。 貼片設(shè)備部份自動運行過程框圖，如圖 51 所示： 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計（ 論文 ） 第 12 頁共 13 頁 機自動 運 行過程框圖 圖 51 接通電源 貼片計數(shù) 器信號 陶瓷盤信號 取片計數(shù) 器信號 啟動 取片氣缸 往右 真空信號 Yes 取片氣缸 往下 取片氣缸 往上 取片氣缸 往左 取片氣缸 往下 電機轉(zhuǎn)動 1／ 13 圈 貼片氣缸 往下 貼片計數(shù)器 計數(shù) 貼片氣缸 往上 取片計數(shù)器 計數(shù) 真空信號NO 取片氣缸 往上 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計（ 論文 ） 第 13 頁共 13 頁