機械設(shè)計制造及自動化(機電)專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(論文(已修改)
2025-08-08 20:01 本頁面
【正文】 機械設(shè)計制造及自動化（機電） 專業(yè)畢業(yè)設(shè)計（論文） 論文題目 硅單晶片有蠟拋光工藝自動貼片設(shè)備設(shè)計 學(xué)生姓名 方勇華 學(xué) 號 20xx1330070981 指導(dǎo)教師 姜獻(xiàn)華 專 業(yè) 機械設(shè)計制造及自動化（機電） 年 級 20xx 年 春 季 學(xué) 校 浙江電大 開化分校 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計（ 論文 ） 目 錄 第一章 硅拋光片基本概念和工藝介紹 ...................................... 1 硅單晶拋光片的定義 .............................................. 1 有蠟拋光片工藝常用配件簡介 ...................................... 1 目前使用有蠟拋光片工藝簡介及特點 ................................ 2 第 2 章 本設(shè)計的任務(wù)和目的 .............................................. 3 自動貼片的設(shè)計任務(wù)和目的 ........................................ 3 自動與手動貼片工藝對比 .......................................... 3 第 3 章 制定設(shè)備基本要求 ................................................ 3 完成生產(chǎn)需要的設(shè)備基本參數(shù)要求 .................................. 3 機械方向的基本要求 .............................................. 4 電氣方向的基本要求 .............................................. 4 管道設(shè)計的基本要求 .............................................. 4 第 4 章 根據(jù)設(shè)備基本要求制定具體設(shè)計方案 ................................ 4 陶瓷盤自動搬運和加熱控制的利用 .................................. 4 整機機架的設(shè)計 .................................................. 5 陶瓷盤旋 轉(zhuǎn)托盤轉(zhuǎn)速和傳動的設(shè)計 .................................. 5 陶瓷盤旋轉(zhuǎn)角度的設(shè)計 ............................................ 6 陶瓷盤托盤及與主軸聯(lián)接設(shè)計 ...................................... 6 托盤主軸承受壓力的設(shè)計 .......................................... 7 取硅片時中心定位設(shè)計 ............................................ 7 取硅片部分設(shè)計 .................................................. 8 壓硅片氣缸設(shè)計 .................................................. 8 壓片氣囊設(shè)計 ................................................... 9 電氣控制設(shè)計 .................................................. 10 局部環(huán)境設(shè)計 .................................................. 10 第 5 章自動運行過程詳解 ................................................ 10 結(jié)論 .................................................................. 13 參考文獻(xiàn) ........................................................... 13 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計（ 論文 ） 第 1 頁共 13 頁 硅單晶片有蠟拋光工藝自動貼片設(shè)備設(shè)計 [摘要 ]： 當(dāng)今社會以進(jìn)入了電子信息的時代，微處 理芯片的發(fā)明徹底改變了世界，微電子、信息技術(shù)的水平己被視為一個國家現(xiàn)代化水平的重要標(biāo)志。 IC級硅單晶拋光片是半導(dǎo)體芯片和功率集成電路的主體功能材料，也是多種高能探測器和特殊功率器件等的主體功能材料。在目前國內(nèi)剛開始研發(fā)硅單晶拋光片的初期，需要硅行業(yè)產(chǎn)家自己開發(fā)一些簡單實用的設(shè)備，對生產(chǎn)工藝進(jìn)行初步的研究和探索，以便為將來批量生產(chǎn)提供確實可行的生產(chǎn)依據(jù)。硅單晶片拋光工藝是IC 級半導(dǎo)體晶片加工中最關(guān)鍵的生產(chǎn)環(huán)節(jié)，本自動貼片設(shè)備就是針對解決硅片拋光生產(chǎn)中，有蠟拋光生產(chǎn)工藝出現(xiàn)問題。 [關(guān)鍵詞 ]： 硅單晶片 有蠟拋光 自動貼片 緒論 本設(shè)計為硅單晶片拋光片無蠟拋光工藝生產(chǎn)設(shè)備，設(shè)計的目是為了改善
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