機械設(shè)計制造及自動化(機電)專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(論文-預(yù)覽頁
【正文】 拋光片工藝常用配件簡介 硅單晶拋光片在使用手動貼片的有蠟拋光工藝生產(chǎn)過程中，常用到一些設(shè)備或工具，通過了解常用設(shè)備或工具的性能，能更好的了解硅片自動貼片設(shè)備對有蠟拋光工藝帶來的影響和提高。 4． 其它輔助工具：如搬高溫陶瓷盤的石棉手套，對陶瓷進行清潔的酒精和潔凈室專用無塵布，貼片中用來便于定位的強光燈。 因本自動貼片設(shè)備是針對本人所在公司的生產(chǎn)需要而設(shè)計的，且本設(shè)備所需要完成的工作，僅是替代有蠟拋光生產(chǎn)工藝中所需完成的手動操作，所以發(fā)下只介紹有蠟拋光工藝中本設(shè)計所替代的手動操作步驟。 3． 移動貼好硅片還是高溫狀態(tài)的陶瓷盤至另一操作平臺。 5． 待陶瓷盤溫 度降至適合上拋光機進行拋光的溫度時，上拋光機進行拋光工序。 4． 操作人員勞動強度大。通過一 名操作人員簡單的操作，能完成整個從放入硅片到整陶瓷盤硅片貼好全過程。 4． 要求設(shè)備運行穩(wěn)定，便于設(shè)置和控制工藝參數(shù)。 3． 人為因素的排除，在生產(chǎn)過程中改進生產(chǎn)工藝，能及時有效的得到工藝參數(shù)和控制產(chǎn)品的穩(wěn)定性。如貼片的壓力需要在200500N 可調(diào)，陶瓷盤要加熱至 120177。 3． 要有自動取片到貼至陶瓷盤上的功能。 電氣 控制設(shè)計基本 要求 根據(jù)設(shè)備自動運行控制方向的需要，電氣部分的基本要求： 1． 電氣控制簡單，易于識別，操 作方便。 C 的控制功能。 2． 局部凈化功能所需的排風(fēng)管道設(shè)計安裝方法。原有舊設(shè)備有，利用電氣控制電磁閥，壓縮空氣作為動力，氣缸執(zhí)行動作，往復(fù)動作搬運陶瓷盤往一個方向運動的功能。由于原設(shè)備較大，且可能未來還要使用，本設(shè)計部分尺寸將以舊設(shè)備來確定，以便配套使用。如圖 41，此設(shè)計能達到以下目的： 1． 機架能保證安裝所有機械電氣部件。陶瓷盤托盤的轉(zhuǎn)速控制在小于1r/min ，因為按常用的 4” 硅片為例，陶瓷轉(zhuǎn)動一圈要貼 13 片硅片，控制小于1r/min 的速度才能準(zhǔn)確有效的定位。 圖 42 陶瓷盤旋轉(zhuǎn)角度的設(shè)計 瓷盤旋轉(zhuǎn)角度的設(shè)計 ,此設(shè)計目的是為保證陶瓷盤托盤按規(guī)定角度和次數(shù)進行旋轉(zhuǎn)，以 滿足不同尺寸硅片的貼片加工需要。見圖 43 圖 43 陶瓷盤托盤及與主軸聯(lián)接設(shè)計 陶瓷盤托盤及與主軸聯(lián)接設(shè)計： 1． 陶瓷盤托盤采用 40mm 厚 鋼材制成，與陶瓷盤接觸面縱橫方向都有數(shù)條排列均勻的溝槽，溝槽深度為 10mm。 3． 主軸細(xì)牙螺紋與主軸連接件相配合，能有效減小零件配合之間的間隙，減小了由于陶瓷盤受力點不在中心而帶來的影響。 取硅片時中心定位設(shè)計 取硅片時中心定位設(shè)計，此裝置采用金屬材料加工，中心加工為一錐形設(shè)計，錐形上大下小，錐形底部直徑略大于配用硅片的直徑。此定位裝置的設(shè)計解決了： 1． 定位裝置底部圓形凸起設(shè)計，解決了定位裝置自身在主機架上的定位，在更換不同規(guī)格定位裝置時，保證了使用不同直徑硅片還能處在同一個中心位置，便于設(shè)備取片。 （ 2）由于陶瓷盤是經(jīng)過加熱處理的，使用耐高溫橡膠吸盤的設(shè)計，保證了與高溫接觸部件自身的安全穩(wěn)定的運行要求。 p:壓縮空氣氣體壓力 Mpa. 1. 氣缸活塞所需最小面積 計算 氣缸推力計算公式 ： F=A P 式中： F—— 氣缸推力， F=500 （ N） A—— 活塞面積，單位： mm2 P—— 壓縮空氣壓力， P= (MPa) A=F/P=500/= mm2 2. 氣缸活塞所需最小直徑 根據(jù) A=π D2/4 計算 氣缸活塞所需最小直徑 D= (mm) 壓片工作需采用至少為 。圓形側(cè)面加工有進壓縮空氣的進氣口。如圖所示 47。 3． 氣囊的壓縮空氣通過調(diào)壓閥調(diào)節(jié)，可以保證不同壓力的使用需要。以此原則設(shè)計的電氣控制線路有以下特點： ，先收集查看現(xiàn)有資料情況，決定做用以繼電器、接觸器為主的控制元器進行設(shè)計。 局部環(huán)境設(shè)計 局部環(huán)境的設(shè)計，根據(jù)自動貼片設(shè)備的外型尺寸，設(shè)計一只防塵罩，防塵罩側(cè)邊不防礙操作部位開孔，設(shè)計排風(fēng)管道接口，接入公司動力排風(fēng)系統(tǒng)。 2. 將陶瓷盤搬至舊陶瓷盤搬運設(shè)備上加熱，至 120176。 5. 操作人員檢查硅片放入硅片中心定位錐形裝置內(nèi)，錐形裝置底部傳感器測得信號，取片機械手向下取片。 8. 壓片氣缸接收陶瓷盤旋轉(zhuǎn)后信號，做出一次向下壓片的動作，移動到氣缸下限位位置傳感器時返回，等待下一次的旋轉(zhuǎn)結(jié)束的信號。 12. 按下貼片設(shè)備停止按鈕，復(fù)位。 順利如期的完成本次畢業(yè)設(shè)計給了我很大的信心，讓我了解專業(yè)知識的同時也對本專業(yè)的發(fā)展前景充滿信心 。 參考文獻 [1] 張厥宗 . 硅單晶拋光片的加工技術(shù) .[M]北京： 化學(xué)工業(yè)出版社 ， 20xx [2] 王以倫 . 液壓氣動技術(shù) .[M]北京：中央廣播電視大學(xué)出版社， 20xx [3] 李海副 . 機械制圖 .[M]北京：中國勞動出版社出版， 1992 [4] 趙仁良 . 電力拖動控制線路 . [M] 北京：中國勞動出版社出版， 1998 [5] 李建勇 . 機電控制工程基礎(chǔ) . [M]北京：中央廣播電視大學(xué)出版社， 20xx [6] 傅亞平 . 輕工業(yè)機械設(shè)備安裝與修理 . [M] 北京：中國輕工業(yè)出版社，1998 [7] 王棟梁 . 機械基礎(chǔ) . [M] 北京：中國勞動出版社出版， 1999 [8] 譚定忠 . 傳感器與測量技術(shù) . [M]北京：中央廣播電視大學(xué)出版社， 20xx [9] 黃先逵 . 機械制造工藝 . [M]北京 :清華大學(xué)出版社， 1989 [10] 高建 . 機械優(yōu)化設(shè)計基礎(chǔ) . [M]北京：科學(xué)出版社， 20xx
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