機(jī)械設(shè)計(jì)制造及自動(dòng)化(機(jī)電)專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文(存儲(chǔ)版)
【正文】 而且通過(guò)對(duì)整體的掌控，對(duì)局部的取舍，以及對(duì)細(xì)節(jié)的斟酌處理，都使我的能力得到了鍛煉，經(jīng)驗(yàn)得到了豐富，并且意志品質(zhì)力，抗壓能力及耐力也都得 到了不同程度的提升。 7. 在機(jī)械手取片的往復(fù)動(dòng)作的同時(shí)，陶瓷盤(pán)接收到每放下一片硅片的信號(hào)，就旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度，等待下一次接收硅片的信號(hào)。 第 5 章 自動(dòng)運(yùn)行過(guò)程詳解 根據(jù)設(shè)計(jì)構(gòu)想，自動(dòng)運(yùn)行操作過(guò)程如下： 1. 檢查設(shè)備無(wú)異常，打開(kāi)設(shè)備電源、真空開(kāi)關(guān)、壓縮空氣閥門(mén)。 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 10 頁(yè)共 13 頁(yè) 圖 47 電氣 控制設(shè)計(jì) 電氣設(shè)計(jì)的原則為利用資源降低成本，操作簡(jiǎn)單，維修方便，安全第一。當(dāng)接入壓縮空氣氣囊會(huì)向外鼓起，關(guān)閉壓縮空氣橡膠的彈性，會(huì)使氣囊慢慢排出氣體，恢復(fù)原狀。 圖 46 壓硅片氣缸設(shè)計(jì) 壓硅片氣缸的設(shè)計(jì)，根據(jù)工藝參數(shù)壓片壓力要在 200500N 范圍內(nèi)可調(diào)和 設(shè)浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 9 頁(yè)共 13 頁(yè) 備使用單位 內(nèi)壓縮空氣動(dòng)力源 的實(shí)際情況，計(jì)算應(yīng)采用氣缸活塞的直徑 .A:氣缸面積 m2 。見(jiàn)圖 45。 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 7 頁(yè)共 13 頁(yè) 2． 使用絲桿連接，零件可以分別加工，單一零件使用加工材料相對(duì)小，有效降低加工成本。 采用外球面調(diào)心軸承便于軸中心定位的自行調(diào)節(jié)，且外球面調(diào)心軸承的軸承座在市場(chǎng)上方便購(gòu)買(mǎi)，這樣能保證軸承的安裝方便和不用另外加工軸承座而降低浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 6 頁(yè)共 13 頁(yè) 了成本。因?yàn)?機(jī)架需要與舊設(shè)備相聯(lián)接，機(jī)架的具體尺寸以舊設(shè)備尺寸為準(zhǔn)。 第 4 章 根據(jù)設(shè)備基本要求制定具體設(shè)計(jì)方案 陶瓷盤(pán)自動(dòng)搬運(yùn)和加熱控制的利用 陶瓷盤(pán)的自動(dòng)搬動(dòng)和加熱的溫度控制的機(jī)構(gòu)，是利用公司內(nèi)原有一臺(tái)舊設(shè)備的裝置 進(jìn)行改造。 5176。 2． 有自動(dòng)搬動(dòng)陶瓷盤(pán)從加熱位置到貼片位置，再到人工取陶瓷盤(pán)位置的功能。 2． 因?yàn)椴慌c人體接觸和有局部?jī)艋芰?，其顆粒沾污大大減少，有效提高產(chǎn)品質(zhì) 量和成品率。能通過(guò)一名操作人員簡(jiǎn)單的操作就能完成整個(gè)貼片過(guò)程，整個(gè)貼片操作過(guò)程可以做到硅片不與人體接觸，從放入硅片后到所有硅片有效的貼在陶瓷盤(pán)上出來(lái)完全自動(dòng)完成，這樣就對(duì)自動(dòng)貼片設(shè)備提出了基本的要求： 1． 要求操作方便。這是手動(dòng)貼片過(guò)程最關(guān)鍵環(huán)節(jié)，如果操作不當(dāng)，前面的操作要全部重來(lái)，還需重新清洗硅片和陶瓷盤(pán)。硅單晶拋光片的拋光工藝可分為： 有蠟 貼片拋光和無(wú)蠟貼片拋光兩種。 硅單晶拋光片有許多定性的參數(shù)如 TTV、 TIR、 STIR、 TAPER 等，因?yàn)橄掠萎a(chǎn)品的要求不同，沒(méi)有一個(gè)確定的數(shù)值。在目前國(guó)內(nèi)剛開(kāi)始研發(fā)硅單晶拋光片的初期，需要硅行業(yè)產(chǎn)家自己開(kāi)發(fā)一些簡(jiǎn)單實(shí)用的設(shè)備，對(duì)生產(chǎn)工藝進(jìn)行初步的研究和探索，以便為將來(lái)批量生產(chǎn)提供確實(shí)可行的生產(chǎn)依據(jù)。本設(shè)計(jì)設(shè)備所需完成的生產(chǎn)工作，是基于有蠟拋光生產(chǎn)工藝手工操作全過(guò)程演變而來(lái)。 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 2 頁(yè)共 13 頁(yè) 2． 自制帶有耐高溫橡膠墊的金屬桿：長(zhǎng)約 徑比與配用硅片的直徑略大，配合金屬桿用來(lái)壓需要固定在陶瓷盤(pán)上的硅片。 C 左右。 2． 人身體部位過(guò)多的與硅片接觸或身體過(guò)多的在陶瓷盤(pán)上方操作，都使硅片或陶瓷盤(pán)沾污過(guò)多的顆粒，使壓緊硅片后，出現(xiàn)硅片局部的向上凸起。操作人員在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中不能與硅片有直接接觸。有效提高產(chǎn)量，明顯降低生產(chǎn)成本。 5． 要求固定在陶瓷盤(pán)上的硅片，平整度要明顯好于手工貼片。 5． 其它機(jī)械運(yùn)動(dòng)過(guò)程所需的電氣控制支持 6． 操作安全考慮，電氣控制電力電源電壓采用人體安全電壓及以下等級(jí)。 5176。 3． 設(shè)計(jì)機(jī)架尺寸能保證與舊的陶瓷盤(pán)加熱裝置相匹配，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化運(yùn)行。本設(shè)計(jì)利用槽型光電傳感器配合金屬加工的刻度盤(pán)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)運(yùn)行的驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制。此主軸上部的中心固定采用推力角接觸軸承，如圖 44。 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 8 頁(yè)共 13 頁(yè) 圖 45 取硅片部分設(shè)計(jì) 取硅片部分設(shè)計(jì) ，取片部分采用了兩只行程能滿足要求的氣缸，并在兩只氣缸上安裝用于采集自動(dòng)控制信號(hào)的行程開(kāi)關(guān)，在上下運(yùn)動(dòng)氣缸最底部安裝一只由耐高溫橡膠制成的吸盤(pán)，如圖 46。此設(shè)計(jì)保證了使用不同壓力在不同位置對(duì)不同直徑硅片進(jìn)行貼片操作的需要。 2． 壓頭側(cè)面有壓縮空氣進(jìn)氣孔，用來(lái)鼓起氣囊。 ，這樣能保證維修的方便。 3. 操作舊設(shè)備搬運(yùn)陶瓷盤(pán)動(dòng)作的按鈕，機(jī)械手將陶瓷盤(pán)從貼片設(shè)備右邊搬運(yùn)至貼片機(jī)托盤(pán)位置，貼片機(jī)測(cè)陶瓷盤(pán)位置傳感器測(cè)得信號(hào)。 10. 當(dāng)參與壓片氣缸 動(dòng)作計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)器達(dá)到規(guī)定數(shù)量時(shí)，會(huì)切斷控制線路的主電源。 機(jī)械自動(dòng)化設(shè)備的出現(xiàn)，大大加快了設(shè)會(huì)經(jīng)濟(jì)前進(jìn)的步伐，改善了人民的生活水平。 貼片設(shè)備部份自動(dòng)運(yùn)行過(guò)程框圖，如圖 51 所示： 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計(jì)（ 論文 ） 第 12 頁(yè)共 13 頁(yè) 機(jī)自動(dòng) 運(yùn) 行過(guò)程框圖
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