【正文】 12. 按下貼片設(shè)備停止按鈕，復(fù)位。 局部環(huán)境設(shè)計 局部環(huán)境的設(shè)計，根據(jù)自動貼片設(shè)備的外型尺寸，設(shè)計一只防塵罩，防塵罩側(cè)邊不防礙操作部位開孔，設(shè)計排風(fēng)管道接口，接入公司動力排風(fēng)系統(tǒng)。圓形側(cè)面加工有進壓縮空氣的進氣口。 取硅片時中心定位設(shè)計 取硅片時中心定位設(shè)計，此裝置采用金屬材料加工，中心加工為一錐形設(shè)計，錐形上大下小，錐形底部直徑略大于配用硅片的直徑。陶瓷盤托盤的轉(zhuǎn)速控制在小于1r/min ，因為按常用的 4” 硅片為例，陶瓷轉(zhuǎn)動一圈要貼 13 片硅片，控制小于1r/min 的速度才能準確有效的定位。 2． 局部凈化功能所需的排風(fēng)管道設(shè)計安裝方法。如貼片的壓力需要在200500N 可調(diào)，陶瓷盤要加熱至 120177。 4． 操作人員勞動強度大。 4． 其它輔助工具：如搬高溫陶瓷盤的石棉手套，對陶瓷進行清潔的酒精和潔凈室專用無塵布，貼片中用來便于定位的強光燈。 機械設(shè)計制造及自動化（機電） 專業(yè)畢業(yè)設(shè)計（論文） 論文題目 硅單晶片有蠟拋光工藝自動貼片設(shè)備設(shè)計 學(xué)生姓名 方勇華 學(xué) 號 20xx1330070981 指導(dǎo)教師 姜獻華 專 業(yè) 機械設(shè)計制造及自動化（機電） 年 級 20xx 年 春 季 學(xué) 校 浙江電大 開化分校 浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè) 設(shè)計（ 論文 ） 目 錄 第一章 硅拋光片基本概念和工藝介紹 ...................................... 1 硅單晶拋光片的定義 .............................................. 1 有蠟拋光片工藝常用配件簡介 ...................................... 1 目前使用有蠟拋光片工藝簡介及特點 ................................ 2 第 2 章 本設(shè)計的任務(wù)和目的 .............................................. 3 自動貼片的設(shè)計任務(wù)和目的 ........................................ 3 自動與手動貼片工藝對比 .......................................... 3 第 3 章 制定設(shè)備基本要求 ................................................ 3 完成生產(chǎn)需要的設(shè)備基本參數(shù)要求 .................................. 3 機械方向的基本要求 .............................................. 4 電氣方向的基本要求 .............................................. 4 管道設(shè)計的基本要求 .............................................. 4 第 4 章 根據(jù)設(shè)備基本要求制定具體設(shè)計方案 ................................ 4 陶瓷盤自動搬運和加熱控制的利用 .................................. 4 整機機架的設(shè)計 .................................................. 5 陶瓷盤旋 轉(zhuǎn)托盤轉(zhuǎn)速和傳動的設(shè)計 .................................. 5 陶瓷盤旋轉(zhuǎn)角度的設(shè)計 ............................................ 6 陶瓷盤托盤及與主軸聯(lián)接設(shè)計 ...................................... 6 托盤主軸承受壓力的設(shè)計 .......................................... 7 取硅片時中心定位設(shè)計 ............................................ 7 取硅片部分設(shè)計 .................................................. 8 壓硅片氣缸設(shè)計 .................................................. 8 壓片氣囊設(shè)計 ................................................... 9 電氣控制設(shè)計 .................................................. 10 局部環(huán)境設(shè)計 .................................................. 10 第 5 章自動運行過程詳解 ................................................ 10 結(jié)論 .................................................................. 13 參考文獻 ........................................................... 13