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液態(tài)感光至抗蝕刻及圖形轉(zhuǎn)移工藝(完整版)

2025-07-30 04:44上一頁面

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【正文】 顯影效果一至,且節(jié)約工時(shí)。此工序大都與涂覆工序同一室操作。也可能是空氣中有微粒落在板面上或其它原因造成板面不干凈,應(yīng)在涂膜前仔細(xì)檢查并清潔。一般網(wǎng)印時(shí),滿版印刷采用100~300目絲網(wǎng)抗電鍍的采用150目絲網(wǎng)。無論采用機(jī)械研磨法還是化學(xué)前處理法,處理后都應(yīng)立即烘干?! ∧グ逅俣龋骸?, 間隔3~5cm?! ∫簯B(tài)感光至抗蝕劑的使用壽命(Lifespan):其使用壽命與操作環(huán)境和時(shí)間有關(guān)。2℃,相對(duì)濕度為55177。如:在曝光時(shí)間為4S/7K時(shí),干膜的解像度為75um,而濕膜可達(dá)到40um。 一.液態(tài)感光至抗蝕劑(Liquid Photoresist)  液態(tài)感光至抗蝕劑(簡稱濕膜)是由感旋光性樹脂,配合感光劑、色料、填料及溶劑等制成,經(jīng)光照射后產(chǎn)生光聚合反應(yīng)而得到圖形,屬負(fù)性感光聚合型。其工藝方法有很多,如絲網(wǎng)印刷(Screen Printing)圖形轉(zhuǎn)移工藝、干膜(Dry Film)圖形轉(zhuǎn)移工藝、液態(tài)感光至抗蝕劑(Liquid Photoresist)圖形轉(zhuǎn)移工藝、電沈積光至抗蝕劑(ED膜)制作工藝以及激光直接成像技術(shù)(Laser Drect Image)?! )濕膜涂布方式靈活、多樣,工藝操作性強(qiáng),易于掌握?! )由于是液態(tài)濕膜,可撓性強(qiáng),尤其適用于撓性板(Flexible Printed Board)制作。因此,工作場地必須通風(fēng)良好?! 2SO4:   %?! 〉湫偷幕瘜W(xué)前處理工藝:  去油→清洗→微蝕→清洗→烘干  去油:   Na3PO4   40~60g/l  Na2CO3   40~60g/l  NaOH   2%V/V  溫度:  其方法有多種,如離心涂覆、浸涂、網(wǎng)印、簾幕涂覆、滾涂等。   工作條件:無塵室黃光下操作,室溫為23~25℃,相對(duì)濕度為55177?! ?)因液態(tài)感光至抗蝕劑含有溶劑,作業(yè)場所必須換氣良好。這種一先一后預(yù)烘,使兩面濕膜預(yù)固化程度存在差異,顯影的效果也難保證完全一至?! 。?)不要使用自然干燥,且干燥必須完全,否則易粘底片而至曝光不良。定位的方法有目視定位、活動(dòng)銷釘定位,固定銷釘定位等多種方法。燈管6000W,曝光量100~300mj/cm2,密度測定采用21級(jí)光密度表(Stouffer21),以確定最佳曝光參數(shù),通常為6~8級(jí)?! 〉灼|(zhì)量的好壞,直接影響曝光質(zhì)量,因此,底片圖形線路清晰,不能有任何發(fā)暈、虛邊等現(xiàn)象,要求無針孔、沙眼,穩(wěn)定性好?! 。?)工作條件必須達(dá)到:無塵黃光操作室,清潔度為10000~100000級(jí),有空調(diào)設(shè)施。10秒  噴淋壓力   ~3kg/cm2  操作時(shí)顯像點(diǎn)(Breok Point Control)控制在1/3~1/2處?! 。?)顯影后應(yīng)充分洗凈,以免堿液帶入蝕刻液中。若頭兩道工序做得相當(dāng)好,幾乎無修版量,可省掉修版工序。我們相信,通過生產(chǎn)實(shí)踐,會(huì)使其工藝更加完善。方法有手工去膜和機(jī)器噴淋去膜?! ?.干燥  為使膜層具有優(yōu)良的抗蝕抗電鍍能力,顯影后應(yīng)再干燥,其條件為溫度100℃,時(shí)間1~2分鐘。溫度太高(35℃以上)或顯影時(shí)間太長(超過90秒以上),會(huì)造成皮膜質(zhì)量、硬度和耐化學(xué)腐蝕性降低。 ?。?)曝光時(shí)底片藥膜面務(wù)必朝下,使其緊貼感光膜面,以提高解像力。  一般來說,底片制作完后,從一個(gè)工序(工廠)傳送到另
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