機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)外文資料翻譯-wenkub
2023-06-14 18:14:05 本頁面
【正文】 種非線性比例積分（ PI）的算法應(yīng)用，進(jìn)一步提高收斂速度和控制過程 的 精度。本地溫度 控制的 傳統(tǒng)方法更容易引入振動(dòng)和污染， 因此研發(fā)多閉環(huán) 溫度控制系統(tǒng)來控制 PL內(nèi) 部 溫度，并隔離振動(dòng)和污染 的影響 。 湖南文理學(xué)院芙蓉學(xué)院 畢業(yè)設(shè)計(jì) (論文 )外文資料翻譯 學(xué) 院 ： 機(jī)械工程 學(xué)院 專 業(yè)： 機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化 姓 名： 鄧 斐 學(xué) 號(hào)： 07100202 指導(dǎo)老師 ： 張世安 附 件： ； 。一個(gè)新的遠(yuǎn)程間接 溫度 控制（ RITC）方 案 ，提出了 利用 冷卻水 循環(huán)完成對(duì) PL 的間接溫度控制 。不同的控制回路和算法的對(duì)比實(shí)驗(yàn) 被用來驗(yàn)證對(duì)控制性能的影響。作為最重要的制造 工藝 設(shè)備，先進(jìn)的光學(xué)光刻工具需要更 嚴(yán)格 的微控制環(huán)境 [1]， 如嚴(yán)格控制其溫度 、 潔凈度 、 氣壓 、 濕度等 。另一個(gè)原因是， PL 內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜，它 包含數(shù)十個(gè)鏡頭 ， 會(huì)導(dǎo)致幾個(gè)小時(shí)慣性，所以 PL內(nèi)部的溫度反應(yīng)相當(dāng)緩慢， 并 需要 很長(zhǎng)時(shí)間去調(diào)整適應(yīng) 。當(dāng)被控對(duì)象變得更加復(fù) 雜或 產(chǎn)生分布式干擾 時(shí)， 串級(jí)控制結(jié)構(gòu)（ CCS） 的 提出改善 了 精度和收斂 率 【 4， 5】 。 在此， 本文 提出了一種新的方法，即多 閉 環(huán)溫度控制 系統(tǒng)，含有一個(gè)內(nèi)部 CCS和一個(gè)外部 PCCS。 第三部分，一個(gè)雙進(jìn) 雙出非線性比例積分（ PI）算法 的提出用來提高控制過程的收斂速度和精度。 冷卻水通過長(zhǎng)距離管道由 TCU 輸送 至冷卻外殼。 理論上，這種方法屬于開 環(huán) 結(jié)構(gòu) 。圖 1 展示了 包括 TCU、分離器、冷卻 套 和管道 的循環(huán)系統(tǒng)。冷卻水溫度波動(dòng)是多種因素造成的，其中包括 TCU內(nèi) 部 自 勵(lì)溫度 震蕩造成的 非線性 加熱冷卻 ， 管道和周圍氣體之間的熱傳遞 ，以及光刻 工具其他地方產(chǎn)生的熱量 。 PL 與 外部介質(zhì)之間熱交換 來自兩個(gè)方面 ， 一方面來自 PL 與其相鄰零件之間的相互熱交換，另一方面來自 PL外部箱體和周圍空氣的導(dǎo)熱和對(duì)流熱交換。 上述分析表明， 僅僅通過開環(huán)結(jié)構(gòu)使 PL內(nèi)部溫度控制精度高和收斂速度快 是非常難以實(shí) 現(xiàn)的。 串 連 控制結(jié)構(gòu) PL溫度控制的內(nèi)部 CCS 如圖 2所示。如果 PL 內(nèi)部 溫度偏離 期望 值 (Ts), 嵌入 主 控制器 中的 控制算法會(huì) 通過比較溫度的測(cè)量值 Tl和期望值 Ts之間的偏差而 計(jì)算一個(gè)新的冷卻水溫度設(shè)定值 （ Tt） 。 Ti 控制回路是一個(gè)慢控制回路。 此外，還可以減少 對(duì)主回路 非線性和 遲滯的影響。 Hm(s) 表示測(cè)量設(shè)備主回路傳遞函數(shù)， Hs(s)表示測(cè)量設(shè)備二次回路傳遞函數(shù)。傳遞函數(shù) G1(s） 為 傳遞函數(shù) Gp(s)為 對(duì)于簡(jiǎn)單的閉環(huán)系統(tǒng) CCS，很容易消除它的穩(wěn)態(tài)誤差。需要幾個(gè)控制周期才達(dá)到下一個(gè)穩(wěn)定狀態(tài)。與 CCS 相比較，也有兩個(gè)控制環(huán)和兩個(gè)控制器。在這個(gè)系統(tǒng)中， 控制運(yùn)算法則是主要的控制器根據(jù) 和 之間的偏差決定一個(gè) 新的冷卻水的最佳溫度值。當(dāng) PL內(nèi)的溫度是想要的值時(shí)，結(jié)合處冷卻水的溫度就是最佳溫度。 PCCS的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它可加速主環(huán)的收斂率。 副環(huán)的輸入輸出的傳遞函數(shù)如下：
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