【正文】 炸危險環(huán)境內(nèi)（如：光刻、清洗區(qū)、擴散區(qū)、可燃氣體儲藏間等）設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn) 生的靜電電荷，不能及時消除，隨著時間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當(dāng)達到一定程度時，發(fā)生放電火花；或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。 ⑧ 觸電 各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。 ④ 高溫灼傷 高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。 BOE CDM 1 HF CDM 2 NOE CDM 1 HNO3 CDM 1 H3PO4 CDM 1 H2SO4 CDM 2 HF100:1 CDM 1 7 Base Room （堿室） NH4OH 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器， PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。 一氧化碳（ CO） 3 二氯硅烷（ SiH2Cl2） 1 二氟甲烷（ CH2F2） 1 50ppm 乙硼烷 /氫氣（ B2H6/H2） 1 氟甲烷（ CH3F） 2 100ppmB2H6/N2 1 5% B2H6/N2 2 100ppm 乙硼烷 / 氫氣（ B2H6/H2） 2 10%氨氣 /氮氣 1 C4F6 1 3 腐蝕性氣體室 Cl2 2 10%氦氣 /氮氣工藝吹掃、 TGM報警、消防水噴淋 (ClF3 無 )、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、 shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。在易燃易爆的生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)根據(jù)需要可將部分道路劃分出限制或禁止車輛通行的路段，并設(shè)置標(biāo)志。 ③ 廠區(qū)工業(yè)管路應(yīng)按 GB723187《工業(yè)管路的基本識別色和識別符號》規(guī)定，基本識別色應(yīng)涂刷在管路全長上或在管路上涂刷寬150mm 的 色環(huán)或在管路上用基本識別色膠帶纏繞寬 150mm 的色環(huán)。 ① 油罐區(qū)與鍋爐房和廠區(qū)道路的間距未達到 GB50074《石油庫設(shè)計規(guī)范》的要求。 ④ 廠區(qū)內(nèi)若道路無路標(biāo)無交通標(biāo)志，過路工業(yè)管路無限高標(biāo)志，可造成各種車輛隨意超速，任其闖越工業(yè)管路架設(shè)較低區(qū)域，易造成車輛交通事故或設(shè)備損害事故。 綜合評價分析 1） 危險危害辨識 ① 廠區(qū)建（構(gòu)）筑物如間距小，道路狹窄，路面不平整、不暢通，若人流、物流不能有效分流，車輛無回車場地或車輛剎車、音響、燈光等出 現(xiàn)問題，易引發(fā)車輛傷害事故。 廠房、動力站房的安全出口及疏散通道、 應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。必要處尚應(yīng)設(shè)置聲光、色或聲光結(jié)合的緊急警告信號。 廠區(qū)各種井、溝應(yīng)有蓋板。 GB438794 √ 完好。 GB438794 無交通標(biāo)志。 GB438794 油罐區(qū)、化學(xué)品庫道路未劃分限行路段。 GB5018793 √ 廠區(qū)道路 21m、15m、 12m、 7m。廠區(qū)盡頭端式道路應(yīng)有足夠的消防車回轉(zhuǎn)場地。 廠區(qū)應(yīng)進行綠化，應(yīng)在道路及圍墻沿線植樹，空地上種植灌木，喬木和草皮，廠前區(qū)布置花壇，水池以及廠標(biāo)、雕型等建筑小品。 SJ3000292 GB5018793 √ 條件良好。 GB5018793 GB500742020 ∽ 油罐區(qū)距鍋爐房西側(cè)外墻 ，距廠內(nèi)道路 6m。 GB5018793 SJ3000292 √ 污水處理站應(yīng)布置在廠區(qū)邊緣地帶，位于廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)。 SJ3000292 GB5018793 √ 總降變設(shè)在廠區(qū)西南角。 GB5018793 √ 符合要求。 SJ3000292 √ 布局應(yīng)滿足生產(chǎn)加工過程流程。 2 總平面布置 廠區(qū)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置。 GB5018793 √ 滿足要求 廠址應(yīng)與交通線路、車站、港口順捷合理 聯(lián)接，廠所區(qū)盡量靠近公路干道。 表 總平 面布置安全檢查表 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 1 廠址選擇 廠址選擇在全面考察，其自然和社會環(huán)境應(yīng)優(yōu)先選在工程地質(zhì)、水文、氣象條件符合安全衛(wèi)生要求，交通便利，協(xié)作方便，環(huán)境較為清潔的地區(qū)。 4 評價方法的選取和評價單元的劃分 評價方法的選取 結(jié)合本項目建設(shè)內(nèi)容及已做勞動安全預(yù)評價的實際，安全驗收評價采用以下兩種方法： 1） 安全檢查表（ SCL） 依據(jù)國家、行業(yè)、地方相關(guān)法規(guī)、規(guī)定及技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，針對本工程存在的危險、危害因素，編制安全檢查表，以查驗項目在設(shè)計、施工、交付生產(chǎn)使用時，所采取的安全防護設(shè)施及技術(shù)措施的全面性和可靠性，并據(jù)此提出改進措施及建議。 7）機械傷害 空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動設(shè)備如無防護罩或損壞，可引發(fā)機械傷害。如出現(xiàn)短路、過載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險。 鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災(zāi)。 4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。 2 項目的基本情況 3 危險有害因素分析 物質(zhì)的危險危害 芯片生產(chǎn)過程中，使用多種化學(xué)物品，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫，化學(xué)品種類達 80 種。 2） 安全驗收評價內(nèi)容 ① 檢查建設(shè)項目中安全設(shè)施是否已與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時交付生產(chǎn)和使用；評價建設(shè)項目及與之配套的安全設(shè)施是否符合國家有關(guān)安全生產(chǎn)的法規(guī)、規(guī)定和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司 建設(shè) 項目 安全驗收評價報告 1 編制說明 評價依據(jù) 1） 中華人民共和國主席令第 70 號《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》 2） 勞動部令第 3 號《建設(shè)項目（工程）勞動安全衛(wèi)生監(jiān)察規(guī)定》 3） 勞動部勞安字 [1992]1 號《建設(shè)項目（工程）職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)施與技術(shù)措施驗收辦法》 4） 國家安管局安監(jiān)管技裝字 [2020]37 號《安全評價通則》 5） 國家安管局安監(jiān)管技裝字 [2020]79 號《安全驗收評價導(dǎo)則》 6） 天津市安管局津安監(jiān)管字 [2020]84 號《天津市安全評價管理辦法》 7） SJ3000292《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定》 8） 國家、地方、行業(yè)有關(guān)勞動安全的法規(guī)、規(guī)定、規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)（詳見附件 1） 9） 建設(shè)單位提供的《中芯國際集成電路制造（天津）有限公司項目》安全驗收的相關(guān)資料。 ② 從整體上評價建設(shè)項目的運行狀態(tài)和安全管理是否正常、安全、可靠。按照 GB1369092《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》規(guī)定中對常用危險化學(xué)品，按其主要危險特性進行分類，該項目中使用的危險化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險危害為： 1）有毒有害氣體（如 AsH PH SiH CO 等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。 這些危險有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學(xué)危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學(xué)品庫單元 . 設(shè)備設(shè)施的固有危險危害 生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。當(dāng)天然氣與空氣混合的濃度達到爆炸極限時遇點火源可引發(fā)爆炸危險。 4）靜電危害 如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。 8）灼傷 高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。 2） 專家現(xiàn)場詢問，觀察法（邀請公司專業(yè)技術(shù)人員參加、 配合）。 SJ3000292 √ 符合要求。 GB5018793 √ 交通便利。一般可分為廠前區(qū)、主要生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、倉庫區(qū)和動力區(qū)。 GB5018793 √ 流程順暢。 變配電站宜位于負荷中心，或靠近主要用戶。各 10kW變電站靠近負荷中心。應(yīng)靠近污染源，遠離水源構(gòu)筑物及空調(diào)空氣入口，四周留有必要的衛(wèi)生防護距離。 化學(xué)危險品庫，應(yīng)布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)及邊緣地區(qū)，應(yīng)遠離火源，并符合國家現(xiàn)行有關(guān)防火規(guī)范的規(guī)定，防火間距不應(yīng)少于 30m。 廠區(qū)出入口數(shù)量不宜少于 2個。 SJ3000292 √ 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 3 廠區(qū)道路 運輸線路，滿足生產(chǎn)要求，物流順暢，線 路短捷，人流、貨流組織合理。 SJ3000292 GB5018793 √ 呈環(huán)形布置。有人行道。無標(biāo)志。 路面平整、路基穩(wěn)固、邊坡整齊、排水良 好。 4 常規(guī)安全防護設(shè)施 架空平臺、走道、鋼梯應(yīng)符合國家現(xiàn)行《固定式工業(yè)平臺、工業(yè)防護欄桿、鋼直梯、鋼斜梯》等標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 SJ3000292 √ 有蓋板。 SJ3000292 ∽ 安全標(biāo)志不齊全，不醒目。 SJ3000292 ∽ 不齊全。 ② 廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學(xué)品庫（室），油罐區(qū)、 110KV 變電站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位無安全標(biāo)志，無限行、禁行等交通標(biāo)志。 2） 問題與建議 廠區(qū)總平面布置根據(jù) 生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置，能夠滿足生產(chǎn)加工過程流程要求，建（構(gòu)）筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要求，廠區(qū)道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)區(qū)、庫區(qū)、動力區(qū)的道路呈環(huán)形布置，能滿足消防車暢通和回轉(zhuǎn)的要求，廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺、走臺、鋼梯基本符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。應(yīng)按油罐區(qū)評價單元的建議完善其防火防爆措施并控制儲油量。 基本識別色色環(huán)應(yīng)涂刷在所有管路交叉、閥門和穿孔西側(cè)等的管路上以及其他需要識別的部位。 評價結(jié)論 廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建（構(gòu)）筑物按功能分區(qū)，生產(chǎn)工藝流程短捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好，人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合 GB50187《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補充完善，可為實現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。 ClF3 2 HBr 2 HCl 11 SiF4 1 4 氧化氣 體室 NF3 9 10%氦氣 /氮氣工藝吹掃、 TGM報警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、 shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。 H2O2 2 SD1 1 8 溶劑室 ACT940 CDM 1 設(shè) 溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH 在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。 ⑤ 激光、紅外線輻射灼傷 在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。 ⑨ 電氣火災(zāi) 電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護器、過電壓保護等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電 氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會發(fā)生電氣火災(zāi)。 3） 安全檢查表 依據(jù) GBJ1687《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（ 2020 版）、 GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》、 SJ3000292《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定》、 GBJ1987《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》（ 2020 年版）、GB500732020《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》、 GB508399《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計總則》、 GB1280191《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》、GB28932020《安全色》、 GB289496《安全標(biāo)志》、 GB1560395《常用化學(xué)危險品貯存通則》、國務(wù)院令第 344 號《危險化學(xué)品安全管理條例》等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范編制安全檢查表，查驗結(jié)果詳見表 。（因有自動水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍） GBJ1687 √ 占地面積 4000m2。 GBJ1687 ∽ 硅烷 室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃氣體室無泄壓。 GBJ1687 √ 環(huán)氧地面。 芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，并在四周留有綠化場地。 GB500732020 √ 分別設(shè)置人員、物 料凈化室。 GB500732020 √ 二級。 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。 SJ3000292 √ 設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、 檢修空間、巡回檢查及安全通道。 易燃易爆廠房的人員疏散，通道應(yīng)保持暢通，并應(yīng)設(shè)置