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正文內(nèi)容

中芯國(guó)際集成電路制造天津有限公司驗(yàn)收評(píng)價(jià)報(bào)告-文庫(kù)吧

2025-07-17 13:59 本頁(yè)面


【正文】 。 廠區(qū)各種井、溝應(yīng)有蓋板。 SJ3000292 √ 有蓋板。 道路上部管架和棧橋等障礙物,在干道上 的凈高不得小于 5m。 SJ3000292 √ 凡容易發(fā)生事故危及安全的場(chǎng)所,應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志。必要處尚應(yīng)設(shè)置聲光、色或聲光結(jié)合的緊急警告信號(hào)。 SJ3000292 ∽ 安全標(biāo)志不齊全,不醒目。 各種輸送氣體、液體及其它物料的管道, 均應(yīng)按國(guó)家及電子工業(yè)有關(guān)規(guī)定涂色。 SJ3000292 未按規(guī)定涂色。 廠房、動(dòng)力站房的安全出口及疏散通道、 應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。 SJ3000292 ∽ 不齊全。 安全標(biāo)志的涂色,應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行《安全 SJ3000292 ∽ 不規(guī)范。 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 綜合評(píng)價(jià)分析 1) 危險(xiǎn)危害辨識(shí) ① 廠區(qū)建(構(gòu))筑物如間距小,道路狹窄,路面不平整、不暢通,若人流、物流不能有效分流,車輛無(wú)回車場(chǎng)地或車輛剎車、音響、燈光等出 現(xiàn)問題,易引發(fā)車輛傷害事故。 ② 廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學(xué)品庫(kù)(室),油罐區(qū)、 110KV 變電站等易燃、易爆、易中毒,及要害部位無(wú)安全標(biāo)志,無(wú)限行、禁行等交通標(biāo)志。易造成誤入及違章等,引發(fā)中毒、燃爆、觸電等傷害。 ③ 廠區(qū)內(nèi)若坑、孔、井及走臺(tái)、平臺(tái)無(wú)防護(hù)圍欄或蓋板,直梯、斜梯不符合有關(guān)規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。 ④ 廠區(qū)內(nèi)若道路無(wú)路標(biāo)無(wú)交通標(biāo)志,過路工業(yè)管路無(wú)限高標(biāo)志,可造成各種車輛隨意超速,任其闖越工業(yè)管路架設(shè)較低區(qū)域,易造成車輛交通事故或設(shè)備損害事故。 2) 問題與建議 廠區(qū)總平面布置根據(jù) 生產(chǎn)、工藝特點(diǎn)按功能分區(qū)布置,能夠滿足生產(chǎn)加工過程流程要求,建(構(gòu))筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要求,廠區(qū)道路與主要建筑物軸線平行或垂直,主要生產(chǎn)區(qū)、庫(kù)區(qū)、動(dòng)力區(qū)的道路呈環(huán)形布置,能滿足消防車暢通和回轉(zhuǎn)的要求,廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺(tái)、走臺(tái)、鋼梯基本符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。但仍有一些問題應(yīng)引起注意。需采取相應(yīng)措施以消除可能導(dǎo)致事故發(fā)生的隱患。 ① 油罐區(qū)與鍋爐房和廠區(qū)道路的間距未達(dá)到 GB50074《石油庫(kù)設(shè)計(jì)規(guī)范》的要求。應(yīng)按油罐區(qū)評(píng)價(jià)單元的建議完善其防火防爆措施并控制儲(chǔ)油量。 ② 凡容易發(fā)生事故危及安全的 場(chǎng)所,安全出入口,應(yīng)設(shè)置齊全醒目的安全警示標(biāo)志。安全標(biāo)志的涂色應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行的《安全標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 ③ 廠區(qū)工業(yè)管路應(yīng)按 GB723187《工業(yè)管路的基本識(shí)別色和識(shí)別符號(hào)》規(guī)定,基本識(shí)別色應(yīng)涂刷在管路全長(zhǎng)上或在管路上涂刷寬150mm 的 色環(huán)或在管路上用基本識(shí)別色膠帶纏繞寬 150mm 的色環(huán)。 基本識(shí)別色色環(huán)應(yīng)涂刷在所有管路交叉、閥門和穿孔西側(cè)等的管路上以及其他需要識(shí)別的部位。在管路上用識(shí)別符號(hào)標(biāo)識(shí)管內(nèi)流體性質(zhì)、名稱和流向。 ④ 廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標(biāo)志 。在易燃易爆的生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)根據(jù)需要可將部分道路劃分出限制或禁止車輛通行的路段,并設(shè)置標(biāo)志。 評(píng)價(jià)結(jié)論 廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn),方便工作的要求,各建(構(gòu))筑物按功能分區(qū),生產(chǎn)工藝流程短捷便利,整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置,消防通道暢通、照明完好,人、物分流,并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間,基本符合 GB50187《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》的要求,只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補(bǔ)充完善,可為實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。 生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元 1)支援車間危險(xiǎn)化學(xué)品 使用、儲(chǔ)存、安全措施情況如表 所示: 表 危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存及安全措施表 序號(hào) 儲(chǔ)存場(chǎng) 所名稱 儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱 氣柜數(shù)量(個(gè)) 安全設(shè)施 1 毒性氣 體室 砷化氫混合氣( AsH3/H2) 1 10%氦氣 /氮?dú)夤に嚧祾摺?TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜、雙套管輸送,內(nèi)套管為真空,設(shè)偵測(cè)器,介質(zhì)泄漏時(shí),報(bào)警。 %鍺烷 /氫氣( GeH4/H2) 1 1% 磷化氫 / 氮?dú)饣旌蠚猓?PH3/N2) 1 5% 磷 化氫 / 氮?dú)饣旌蠚猓?PH3/N2) 2 2 易燃?xì)?體室 氨氣( NH3) 8 10%氦氣 /氮?dú)夤に嚧祾摺?TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)(酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開)、火災(zāi)聲光報(bào)警、 shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。 一氧化碳( CO) 3 二氯硅烷( SiH2Cl2) 1 二氟甲烷( CH2F2) 1 50ppm 乙硼烷 /氫氣( B2H6/H2) 1 氟甲烷( CH3F) 2 100ppmB2H6/N2 1 5% B2H6/N2 2 100ppm 乙硼烷 / 氫氣( B2H6/H2) 2 10%氨氣 /氮?dú)? 1 C4F6 1 3 腐蝕性氣體室 Cl2 2 10%氦氣 /氮?dú)夤に嚧祾摺?TGM報(bào)警、消防水噴淋 (ClF3 無(wú) )、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、 shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。 ClF3 2 HBr 2 HCl 11 SiF4 1 4 氧化氣 體室 NF3 9 10%氦氣 /氮?dú)夤に嚧祾摺?TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、 shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。 N2O 7 30%O2/He 6 %He+N2 1 10%氦氣 /氮?dú)夤に嚧祾摺?TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專C4F8 2 CHF3 1 序號(hào) 儲(chǔ)存場(chǎng) 所名稱 儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱 氣柜數(shù)量(個(gè)) 安全設(shè)施 5 惰性氣體室 C2F6 1 柜。 CO2 1 CF4 2 CHF3 2 SF6 2 He 1 4%H2/N2 1 6 酸室 HCl CDM 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH 在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置。 BOE CDM 1 HF CDM 2 NOE CDM 1 HNO3 CDM 1 H3PO4 CDM 1 H2SO4 CDM 2 HF100:1 CDM 1 7 Base Room (堿室) NH4OH 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器, PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。 H2O2 2 SD1 1 8 溶劑室 ACT940 CDM 1 設(shè) 溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH 在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。 EG01 1 EBR10A 1 1PA01CDM 1 2)危險(xiǎn)危害辨識(shí)與分析 ① 火災(zāi)、爆炸 各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲(chǔ)存、輸送過程中,一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機(jī)械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作,造成物料泄漏,如作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)通風(fēng)不良,與空氣混和達(dá)到爆炸極限,遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸; ② 腐蝕、中毒、化學(xué) 灼傷 清洗、擴(kuò)散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、 Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存、使用場(chǎng)所內(nèi),盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷,制造質(zhì)量差,搬運(yùn)、使用過程機(jī)械損壞、傾翻,造成物料泄漏,如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會(huì)引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷;同時(shí)各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏,人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體,均會(huì)造成人員中毒。 ③ 物理爆炸 各類壓力容器(包括氣瓶)、管道,如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計(jì) 不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等,可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計(jì)壓力而發(fā)生爆炸,造成人員傷亡,設(shè)備損壞。 ④ 高溫灼傷 高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面,保溫、隔熱效果不好,易形成燙傷事故。 ⑤ 激光、紅外線輻射灼傷 在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上,如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng),致使光源直射觀察者眼睛,將會(huì)造成眼灼傷。 ⑥ 高頻、噪聲傷害 在離子植入?yún)^(qū),使用離子植入機(jī)等高頻設(shè)備;清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機(jī)、蝕刻機(jī)、微影機(jī)等產(chǎn)生噪聲 的設(shè)備,如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護(hù)措施不當(dāng)或損壞都會(huì)對(duì)人員造成物理因素傷害。 ⑦ 高處墜落 當(dāng)去廢溶劑儲(chǔ)罐等相對(duì)基準(zhǔn)面標(biāo)高超過 2m 設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時(shí),若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺(tái)或設(shè)置不完善,作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時(shí),稍不慎會(huì)發(fā)生高處墜落事故。 ⑧ 觸電 各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護(hù)接零未接或失效,線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。 ⑨ 電氣火災(zāi) 電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過電壓保護(hù)等裝置或失效,線路絕緣損壞、短路,以及防爆場(chǎng)所電 氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會(huì)發(fā)生電氣火災(zāi)。 ⑩ 雷電危害 建筑物防雷設(shè)計(jì)不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求,當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時(shí),會(huì)產(chǎn)生雷電過電壓,在雷電波及的范圍內(nèi)會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸,造成嚴(yán)重的生命、財(cái)產(chǎn)損失。 ○ 11 靜電危害 如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)(如:光刻、清洗區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、可燃?xì)怏w儲(chǔ)藏間等)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范,在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn) 生的靜電電荷,不能及時(shí)消除,隨著時(shí)間延續(xù),靜電荷將越聚越多,靜電電壓逐漸升高,當(dāng)達(dá)到一定程度時(shí),發(fā)生放電火花;或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等,均可能引燃易燃易爆物質(zhì),造成火災(zāi)、爆炸。 3) 安全檢查表 依據(jù) GBJ1687《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》( 2020 版)、 GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》、 SJ3000292《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》、 GBJ1987《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》( 2020 年版)、GB500732020《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、 GB508399《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)總則》、 GB1280191《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》、GB28932020《安全色》、 GB289496《安全標(biāo)志》、 GB1560395《常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則》、國(guó)務(wù)院令第 344 號(hào)《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范編制安全檢查表,查驗(yàn)結(jié)果詳見表 。 表 生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用單元安全檢查表 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 1 建筑結(jié)構(gòu)及平面布置 生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。 GBJ1687 √ 均為二級(jí)。 若多層生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)為二級(jí),其防火分區(qū)最大允許占地面積為 4000m2。(因有自動(dòng)水噴淋系統(tǒng),防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍) GBJ1687 √ 占地面積 4000m2。 有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房(生產(chǎn)車間、易 燃?xì)怏w室、硅烷室等)宜獨(dú)立設(shè)置。 GBJ1687 √ 單獨(dú)設(shè)置。 有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房(生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等)應(yīng)設(shè)置必要的泄壓設(shè)施,泄壓設(shè)施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。 GBJ1687 ∽ 硅烷 室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室無(wú)泄壓。 硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值( m2/m3)宜采用 ~ ,體積超過 GBJ1687 √ 約 。 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 1000m3 的建筑,不宜小于 。 生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等可能散發(fā)可燃?xì)怏w、可燃蒸氣的廠房應(yīng)采用不發(fā)火地面。 GBJ1687 √ 環(huán)氧地面。 有爆炸危險(xiǎn)的該甲乙類廠房不應(yīng)設(shè)置辦公室、休息室如必須貼鄰布置,應(yīng)采用一、二級(jí)耐火等級(jí)建筑物并應(yīng)采用耐火極限不低于 3h 的非燃燒體防護(hù)墻隔開并設(shè)置直通室 外或疏散樓梯的安全出口。 GBJ1687 √ 廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度 7 度設(shè)防要求,框架抗震等級(jí)二級(jí)要求。 GB5018793 √ 7 度設(shè)防。 芯片光刻等對(duì)潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房,宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè),并在四周留有綠化場(chǎng)地。 SJ3000292 √ 易燃易爆工作間宜設(shè)置在單層廠房?jī)?nèi), 或設(shè)在多層廠房的頂層端部。 SJ3000292 除硅烷室單獨(dú)設(shè)置外,均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。 2 潔凈廠房 潔凈室應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化室和 設(shè)施。 GB500732020 √ 分別設(shè)置人員、物 料凈化室。 潔凈室內(nèi)噪聲值不應(yīng)大于 70db( A)。 GB500732020
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